Tích hợp van der Waals có khả năng tái sản xuất cao của thiết bị điện tử hai chiều trên quy mô wafer

Tích hợp van der Waals có khả năng tái sản xuất cao của thiết bị điện tử hai chiều trên quy mô wafer

Nút nguồn: 2023942
  • Sangwan, VK và cộng sự. Hiện tượng ghi nhớ có thể điều chỉnh cổng qua trung gian bởi các ranh giới hạt trong MoS một lớp2. Nat. Công nghệ nano. 10, 403 tầm 406 (2015).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Sangwan, VK và cộng sự. Transistor mem đa cực từ molybdenum disulfide đơn lớp đa tinh thể. Thiên nhiên 554, 500 tầm 504 (2018).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, Y. và cộng sự. Những hứa hẹn và triển vọng của bóng bán dẫn hai chiều. Thiên nhiên 591, 43 tầm 53 (2021).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Chhowalla, M., Jena, D. & Zhang, H. Chất bán dẫn hai chiều cho bóng bán dẫn. Nat. Mục sư 1, 16052 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, CS và cộng sự. Vật liệu hai chiều cho các công nghệ điện toán thế hệ tiếp theo. Nat. Công nghệ nano. 15, 545 tầm 557 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Desai, SB và cộng sự. MoS2 bóng bán dẫn với chiều dài cổng 1 nanomet. Khoa học 354, 99 tầm 102 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Zhou, JD và cộng sự. Một thư viện các chalcogenua kim loại mỏng nguyên tử. Thiên nhiên 556, 355 tầm 359 (2018).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Li, WS và cộng sự. Đồng nhất và siêu mỏng caoκ cổng điện môi cho các thiết bị điện tử hai chiều. Nat. Điện tử. 2, 563 tầm 571 (2019).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Duan, XD, Wang, C., Pan, AL, Yu, RQ & Duan, XF Dichalcogenua kim loại chuyển tiếp hai chiều như chất bán dẫn nguyên tử mỏng: cơ hội và thách thức. Hóa. Sóc. Rev 44, 8859 tầm 8876 (2015).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Shim, J. và cộng sự. Sự lan truyền vết nứt có kiểm soát để xử lý chính xác nguyên tử vật liệu hai chiều ở quy mô wafer. Khoa học 362, 665 tầm 670 (2018).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Yu, H. và cộng sự. Tăng trưởng ở quy mô wafer và chuyển giao MoS đơn lớp có định hướng cao2 phim liên tục. ACS Nano 11, 12001 tầm 12007 (2017).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Li, N. và cộng sự. Các thiết bị điện tử trong suốt và linh hoạt quy mô lớn dựa trên các bóng bán dẫn hiệu ứng trường molybdenum disulfide đơn lớp. Nat. Điện tử. 3, 711 tầm 717 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Kang, K. và cộng sự. Màng bán dẫn dày ba nguyên tử có độ linh động cao với độ đồng nhất ở quy mô wafer. Thiên nhiên 520, 656 tầm 660 (2015).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Asselberghs, I. et al. Tích hợp quy mô wafer của WS cổng kép2-bóng bán dẫn trong 300 mm Si CMOS fab. TRONG Hội nghị thiết bị điện tử quốc tế IEEE 2020 893 Chân896 (IEEE, 2020).

  • Jung, Y. và cộng sự. Được truyền qua các tiếp điểm như một nền tảng cho các bóng bán dẫn hai chiều lý tưởng. Nat. Điện tử. 2, 187 tầm 194 (2019).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Trịnh, XR và cộng sự. Tạo mẫu tiếp xúc kim loại trên MoS đơn lớp2 với các rào cản Schottky biến mất bằng cách sử dụng kỹ thuật in khắc nano nhiệt. Nat. Điện tử. 2, 17 tầm 25 (2019).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wang, Y. và cộng sự. Van der Waals tiếp xúc giữa kim loại ba chiều và chất bán dẫn hai chiều. Thiên nhiên 568, 70 tầm 74 (2019).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Shen, P.-C. et al. Điện trở tiếp xúc cực thấp giữa bán dẫn bán kim loại và bán dẫn đơn lớp. Thiên nhiên 593, 211 tầm 217 (2021).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, Y. và cộng sự. Tiếp cận giới hạn Schottky–Mott trong các mối nối bán dẫn kim loại van der Waals. Thiên nhiên 557, 696 tầm 700 (2018).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Sự tích hợp của Liu, Y., Huang, Y. & Duan, XF Van der Waals trước và ngoài vật liệu hai chiều. Thiên nhiên 567, 323 tầm 333 (2019).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, GY và cộng sự. In chuyển kim loại có hỗ trợ graphene để tích hợp ở quy mô wafer của các điện cực kim loại và vật liệu hai chiều. Nat. Điện tử. 5, 275 tầm 280 (2022).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Cui, X. et al. Các phép đo vận chuyển đa thiết bị đầu cuối của MoS2 sử dụng nền tảng thiết bị dị cấu trúc van der Waals. Nat. Công nghệ nano. 10, 534 tầm 540 (2015).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Chuang, HJ và cộng sự. Các tiếp điểm điện trở 2D/2D có điện trở thấp: một cách tiếp cận phổ quát đối với WSe hiệu suất cao2, MoS2, và MoSe2 Linh kiện bán dẫn. Lá thư Nano. 16, 1896 tầm 1902 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wu, RX và cộng sự. Van der Waals tăng trưởng epiticular của các kim loại 2D mỏng nguyên tử trên WSe không liên kết lơ lửng2 và WS2. Tư vấn. Func. Vật chất. 29, 1806611 (2019).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Leong, WS và cộng sự. Các tiếp điểm kim loại có điện trở thấp với MoS2 các thiết bị có điện cực niken-khắc-graphene. ACS Nano 9, 869 tầm 877 (2015).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, Y. và cộng sự. Đẩy mạnh giới hạn hiệu suất của bóng bán dẫn molybdenum disulfide dưới 100 nm. Lá thư Nano. 16, 6337 tầm 6342 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wang, YL và cộng sự. Thăm dò sự vận chuyển quang điện trong perulfit chì halogen với các tiếp điểm van der Waals. Nat. Công nghệ nano. 15, 768 tầm 775 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wang, JL và cộng sự. Biến tần bổ sung công suất thấp với bóng bán dẫn bán dẫn 2D điện dung âm. Tư vấn. Func. Vật chất. 30, 2003859 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Ngô, TD et al. Biến tần 2D CMOS hiệu suất cao không ghim cấp Fermi được chế tạo với các tiếp điểm đáy van der Waals. Tư vấn. Điện tử. Vật chất. 7, 2001212 (2021).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Purdie, DG và cộng sự. Làm sạch các giao diện trong các cấu trúc dị vật liệu nhiều lớp. Nat. Cộng đồng. 9, 5387 (2018).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Guo, T. và cộng sự. Tích hợp Van der Waals của AZO/MoS2 mối nối điện trở đối với thiết bị điện tử 2D trong suốt hiệu suất cao. J. Mater. hóa học. C 8, 9960 tầm 9967 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Li, J. và cộng sự. Tổng hợp chung các mảng dị cấu trúc van der Waals hai chiều. Thiên nhiên 579, 368 tầm 374 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Kông, LA và cộng sự. WSe bổ sung không pha tạp2 mạch thông qua tích hợp kim loại van der Waals. Nat. Cộng đồng. 11, 1866 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Liu, LT và cộng sự. Các điện cực kim loại van der Waals được chuyển giao cho MoS dưới 1nm2 tranzito dọc. Nat. Điện tử. 4, 342 tầm 347 (2021).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Carlson, A., Bowen, AM, Huang, YG, Nuzzo, RG & Rogers, JA Kỹ thuật in chuyển để lắp ráp vật liệu và chế tạo thiết bị vi mô/nano. Tư vấn. Vật chất. 24, 5284 tầm 5318 (2012).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Linghu, CH, Zhang, S., Wang, CJ & Song, JZ Kỹ thuật in chuyển cho các thiết bị điện tử vô cơ mềm dẻo và co giãn được. npj linh hoạt. điện tử. 2, 26 (2018).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Mannix, AJ và cộng sự. Robot lắp ráp pixel bốn chiều của chất rắn van der Waals. Nat. Công nghệ nano. 17, 361 tầm 366 (2022).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Hoàng, JK và cộng sự. Màng perovskite κ cao làm chất cách điện cho bóng bán dẫn hai chiều. Thiên nhiên 605, 262 tầm 267 (2022).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Popov, I., Seifert, G. & Tomanek, D. Thiết kế các tiếp điểm điện cho MoS2 đơn lớp: một nghiên cứu tính toán. Vật lý. Mục sư Lett. 108, 156802 (2012).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Chuang, S. và cộng sự. MoS2 bóng bán dẫn và điốt loại p được kích hoạt bởi chức năng làm việc cao MoOx danh bạ. Lá thư Nano. 14, 1337 tầm 1342 (2014).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Li, N. và cộng sự. Lắng đọng lớp nguyên tử của Al2O3 Trực tiếp trên vật liệu 2D cho thiết bị điện tử hiệu suất cao. quảng cáo mẹ. giao diện 6, 1802055 (2019).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Wang, H. và cộng sự. Điện tử 2D quy mô lớn dựa trên MoS một lớp2 phát triển bằng cách lắng đọng hơi hóa học. TRONG Hội nghị thiết bị điện tử quốc tế IEEE 2012 88 Chân91 (IEEE, 2012).

  • Yu, L. và cộng sự. CVD MoS một lớp ở chế độ nâng cao2 Công nghệ FET cho thiết bị điện tử kỹ thuật số. TRONG Hội nghị thiết bị điện tử quốc tế IEEE 2015 835 Chân838 (IEEE, 2015).

  • Wachter, S., Polyushkin, DK, Bethge, O. & Mueller, T. Bộ vi xử lý dựa trên chất bán dẫn hai chiều. Nat. Cộng đồng. 8, 14948 (2017).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wang, L. và cộng sự. Các thiết bị và mạch điện tử dựa trên MoS đơn lớp đa tinh thể ở quy mô wafer2 bằng lắng đọng hơi hóa học. Tư vấn. Điện tử. Vật chất. 5, 1900393 (2019).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Radisavljevic, B., Whitwick, MB & Kis, A. Các mạch tích hợp và hoạt động logic dựa trên MoS một lớp2. ACS Nano 5, 9934 tầm 9938 (2011).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Amani, M., Burke, RA, Proie, RM & Dubey, M. Mạch tích hợp linh hoạt và thiết bị điện tử đa chức năng dựa trên các lớp nguyên tử đơn lẻ của MoS2 và graphen. Công nghệ nano 26, 115202 (2015).

    Bài báo  Google Scholar 

  • Hoàng, J.-K. et al. Tổng hợp diện tích lớn của WSe kết tinh cao2 lớp đơn và ứng dụng thiết bị. ACS Nano 8, 923 tầm 930 (2014).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Bài hát, HS et al. SnS đơn lớp cổng trên cùng hiệu suất cao2 bóng bán dẫn hiệu ứng trường và các mạch logic tích hợp của chúng. Nanoscale 5, 9666 tầm 9670 (2013).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Zhao, MV và cộng sự. Lắp ráp hóa học quy mô lớn các bóng bán dẫn và mạch nguyên tử mỏng. Nat. Công nghệ nano. 11, 954 tầm 959 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Yu, LL và cộng sự. Graphen/MoS2 công nghệ lai cho thiết bị điện tử hai chiều quy mô lớn. Lá thư Nano. 14, 3055 tầm 3063 (2014).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Pu, J. và cộng sự. Biến tần bổ sung hiệu suất cao và linh hoạt cao của đơn lớp dichalcogenide kim loại chuyển tiếp diện tích lớn. Tư vấn. Vật chất. 28, 4111 tầm 4119 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Das, T. và cộng sự. Biến tần CMOS lai linh hoạt cao dựa trên màng nano Si và molybdenum disulfide. Nhỏ 12, 5720 tầm 5727 (2016).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Vâng, CH và cộng sự. Các dị thể dichalcogenide kim loại chuyển tiếp graphene cho các mạch tích hợp bổ sung năng lượng thấp và có thể mở rộng. ACS Nano 14, 985 tầm 992 (2020).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Duẩn, XD et al. Sự tăng trưởng epiticular bên của các dị thể bán dẫn phân lớp hai chiều. Nat. Công nghệ nano. 9, 1024 tầm 1030 (2014).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Wang, H. và cộng sự. Mạch tích hợp dựa trên MoS hai lớp2 Linh kiện bán dẫn. Lá thư Nano. 12, 4674 tầm 4680 (2012).

    Bài báo  CAS  Google Scholar 

  • Dấu thời gian:

    Thêm từ Công nghệ nano tự nhiên