Lần đầu tiên, IEDM tổ chức một phiên họp về tính bền vững tại hội nghị năm 2023. Tôi là một trong những tác giả đã trình bày bài báo được mời, sau đây là phần tóm tắt bài trình bày của tôi.
Kêu gọi hành động
Từ Liên hợp quốc [1]:
“Biến đổi khí hậu là vấn đề mang tính quyết định của thời đại chúng ta và chúng ta đang ở thời điểm quyết định.”
“Nếu không có hành động quyết liệt ngay hôm nay, việc thích ứng với những tác động này trong tương lai sẽ khó khăn và tốn kém hơn”.
Có một số liên kết khoa học cơ bản được thiết lập tốt:
- Nồng độ khí nhà kính (GHG) trong bầu khí quyển trái đất có liên quan trực tiếp đến nhiệt độ trung bình toàn cầu trên Trái đất.
- Sự tập trung đã tăng lên đều đặn và kéo theo đó là nhiệt độ toàn cầu tăng lên kể từ thời Cách mạng Công nghiệp.
Vấn đề hai phần
Chúng tôi coi việc giảm phát thải khí nhà kính là một vấn đề gồm hai phần:
- Thiết kế các quy trình và công nghệ trong tương lai để giảm lượng khí thải carbon.
- Nhưng… chúng ta cũng cần giảm lượng khí thải carbon từ các cơ sở và quy trình hiện có.
Cần có mô hình chi tiết về lượng khí thải carbon để hiểu cả những thách thức trong quá trình trong tương lai và cách giải quyết các quy trình/cơ sở hiện có.
Mô hình cacbon
Mô hình Carbon được mô tả ở đây dựa trên Mô hình giá và chi phí chiến lược kiến thức vi mạch trước đây đã được sử dụng rộng rãi trong ngành kể từ năm 2010. Mô hình chiến lược đã được hiệu đính kỹ lưỡng vào thời điểm này. TechInsights mua lại IC Knowledge vào tháng 2022 năm XNUMX.
Mô hình chiến lược – mô hình 3D NAND, DRAM và Logic bao phủ các quy trình sớm nhất trên 300mm cho đến các quy trình trong tương lai. Hiện tại, mô hình này bao gồm 167 – 300 mm và 220 quy trình cụ thể của công ty.
Mô hình tính toán chi tiết các bộ thiết bị có yêu cầu về điện, nước và khí tự nhiên. Mức tiêu thụ vật liệu chi tiết theo loại vật liệu cũng được tính toán.
Mô hình này dựa trên fab! Đây là điểm mấu chốt khi nói đến hiệu chuẩn và xác nhận. Có sẵn nhiều loại dữ liệu về phát thải khí nhà kính, trong một số trường hợp là theo cơ sở sản xuất của công ty, trong một số trường hợp là theo quốc gia đối với một công ty và trong một số trường hợp là đối với toàn bộ công ty. Khả năng lập mô hình các cơ sở tạo nên một trang web hoặc tất cả các cơ sở mà một công ty có ở một quốc gia hoặc tất cả các cơ sở mà một công ty có cho phép hiệu chỉnh và xác nhận.
Mẫu Carbon hiện chỉ có kích thước 300mm mặc dù chúng tôi đang nghiên cứu bổ sung thêm các kích thước tấm bán dẫn bổ sung. Theo SEMI - 300mm đại diện cho khoảng 70% trong số hàng triệu inch vuông silicon được vận chuyển trên toàn thế giới vào năm 2023.
Mô hình Carbon bao gồm: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC và YMTC. Tám công ty này đại diện cho khoảng 77% công suất sản xuất tấm wafer 300mm trên toàn thế giới [2]. Chúng tôi đang nghiên cứu việc mở rộng phạm vi phủ sóng mô hình tới tất cả các nhà máy 300mm.
Về phát thải khí nhà kính, Mô hình Carbon bao gồm phát thải phạm vi 1 từ quá trình đốt nhiên liệu hóa thạch và hóa chất xử lý tại chỗ, và phát thải phạm vi 2 từ điện mua (trong một số trường hợp, điện được tạo ra tại chỗ trở thành phát thải phạm vi 1).
Mô hình điện
Một số công ty bán dẫn tuyên bố họ không phát thải điện ở phạm vi 2 vì họ đang sử dụng “100% năng lượng tái tạo”. Có hai vấn đề này.
- Năng lượng tái tạo bao gồm việc đốt sinh khối mà mặc dù được coi là năng lượng tái tạo nhưng không có carbon. Đây không phải là một phần quan trọng trong sản xuất điện ở các quốc gia mà chúng tôi quan tâm vào thời điểm này, nhưng vào năm 2015, Ireland sản xuất >12% nguồn cung cấp điện từ đốt than bùn [3].
- Vấn đề lớn hơn nhiều là theo Greenpeace, vào năm 2021, 84% “Năng lượng tái tạo” trong ngành bán dẫn là từ Chứng chỉ Năng lượng tái tạo (REC) [4]. REC là công cụ tài chính đại diện cho các dự án năng lượng tái tạo hiện có. Việc mua REC không bổ sung thêm bất kỳ năng lượng tái tạo mới nào vào lưới điện. Vì lý do này, REC là một trong những hình thức mua sắm năng lượng tái tạo ít có tác động nhất.
Chính sách lập mô hình của TechInsights là không xem xét REC và lập mô hình lượng khí thải carbon dựa trên cường độ carbon của nguồn điện. Điều này được ước tính theo quốc gia ngoại trừ các nhà máy có trụ sở tại Hoa Kỳ nơi chúng tôi ước tính theo tiểu bang. Chúng tôi tính đến điện không có carbon nếu được tạo ra tại chỗ hoặc thông qua thỏa thuận mua điện nếu chúng tôi có thể xác định được. Đó là một lĩnh vực nghiên cứu đang diễn ra đối với chúng tôi.
Cường độ carbon trong quá khứ, hiện tại và dự kiến theo quốc gia mà chúng tôi sử dụng trong mô hình của mình được minh họa trong Hình 1.
Hình 1. Cường độ carbon của điện theo quốc gia.
Các đường liền nét là từ Thế giới dữ liệu của chúng ta và các đường chấm chấm là bằng cách áp dụng phép chiếu IEA theo khu vực không còn có sẵn trên trang web của họ.
Để áp dụng cường độ carbon, trước tiên chúng ta cần ước tính lượng điện mà nhà máy sử dụng. Bởi vì Mô hình Carbon thực hiện mô hình hóa bộ thiết bị chi tiết nên chúng tôi bắt đầu bằng cách áp dụng việc sử dụng điện theo từng thiết bị [5],[6],[7],[8]. Thiết bị EUV được chú ý đặc biệt do liều lượng ảnh hưởng lớn đến thông lượng và do đó sử dụng điện. Việc sử dụng điện của cơ sở được ước tính dựa trên đặc điểm quy trình và cơ sở. Hình 2 minh họa việc sử dụng điện theo nút logic.
Hình 2. Mức sử dụng điện của nút logic.
Trong hình 2, các thanh màu xám là mức sử dụng điện của cơ sở, các thanh màu xanh là mức sử dụng điện của thiết bị không bao gồm EUV, các thanh màu cam là hệ thống EUV 0.33NA và các thanh màu vàng cam là mức sử dụng điện của hệ thống EUV 0.55NA (NA cao). Đường chấm chấm là tỷ lệ phần trăm sử dụng điện do thiết bị sử dụng.
Có ba khía cạnh thú vị của hình tôi muốn nêu bật:
- Các nút logic trong hình 2 dựa trên TSMC. Ở quy trình 7nm, TSMC đã giới thiệu quy trình dựa trên quang học (7nm) và sau đó là quy trình dựa trên EUV (7nm+). Mặc dù thiết bị EUV sử dụng nhiều điện hơn đáng kể so với hệ thống DUV, EUV thay thế các bước đa mẫu phức tạp bằng một lần phơi sáng duy nhất và dẫn đến giảm mức sử dụng điện thực.
- Tại nút 14A, chúng tôi đã so sánh 0.33NA EUV sẽ yêu cầu đa mẫu EUV với 14A+ với EUV NA cao loại bỏ đa mẫu và một lần nữa, mức sử dụng điện thực sự giảm.
- Đường chấm chấm cho thấy rằng từ 130nm đến 40nm, thiết bị chiếm khoảng 43% tổng lượng điện sử dụng theo nghiên cứu của SEMATECH. Trước khi EUV được đưa vào sử dụng, chúng tôi nhận thấy thiết bị chiếm từ 40% đến 50% và sau đó khi EUV được đưa vào sử dụng, thiết bị chiếm từ 50% đến 55% tổng lượng điện tiêu thụ.
Chúng tôi đã so sánh mức sử dụng điện theo mô hình của mình với dữ liệu sử dụng điện của hai công ty – toàn công ty (GF và SK Hynix), TSMC cho Đài Loan và Intel cho 4 địa điểm và kết quả rất phù hợp ngoại trừ Intel Oregon nơi chúng tôi tin rằng chúng tôi đang đánh giá thấp hoạt động của địa điểm mức độ. Intel Oregon là một địa điểm phát triển và gần đây chúng tôi đã nhận được dữ liệu mới phù hợp với nhiều hoạt động ở đó hơn mức chúng tôi đã sử dụng trong các tính toán này. Nhìn chung, nó mang lại cho chúng tôi sự tự tin trong tính toán.
sự cháy
Đốt nhiên liệu hóa thạch tại chỗ có năm ứng dụng:
- Sản xuất điện tại chỗ (một số nhà máy thực hiện việc này bằng khí đốt tự nhiên).
- Cơ sở nhiệt.
- Làm nóng nước trước khi thẩm thấu ngược. Thẩm thấu ngược là một bước quan trọng trong quá trình tạo nước siêu tinh khiết và tỷ lệ nước tốt so với nước bị loại bỏ do thẩm thấu ngược sẽ cao hơn nếu nước ấm.
- Một số hệ thống khử khí – khí tự nhiên được sử dụng trong một số hệ thống để đốt các hợp chất perfluorin hóa nhằm phá hủy chúng.
- Làm nóng và hâm nóng lại không khí trang điểm. Nhà máy sản xuất tấm bán dẫn có khí thải để loại bỏ khói hóa chất khỏi thiết bị và không khí phải được đưa vào từ bên ngoài cơ sở để “bù đắp” cho khí thải. Trong thời tiết lạnh, không khí phải được làm nóng đến nhiệt độ phòng và được làm ẩm để kiểm soát tĩnh điện và hiệu suất quang điện. Trong thời tiết nóng, không khí bổ sung được làm mát dưới nhiệt độ phòng để hút ẩm không khí và sau đó hâm nóng lại nhiệt độ phòng.
Hóa chất xử lý
Hình 3 minh họa dòng khí xử lý qua thiết bị xử lý và vào khí quyển với sự chuyển đổi thành giá trị cacbon tương đương.
Hình 3. Xử lý phát thải hóa học.
Từ hình 3:
- Hóa chất xử lý đi vào buồng xử lý nơi một số phần trăm được sử dụng bằng cách tách ra trong phản ứng ăn mòn hoặc trở thành một phần của màng trong phản ứng lắng đọng. Khối lượng đầu vào ban đầu nhân với lần sử dụng 1 là lượng hóa chất xử lý trong khí thải.
- Khí thải của buồng xử lý có thể đi vào hệ thống xử lý trong đó một phần hóa chất xử lý được phân hủy thành các hóa chất không gây hiệu ứng nhà kính hoặc được hấp thụ vào môi trường nào đó. Các hóa chất thoát ra khỏi hệ thống xử lý là đầu vào từ ống xả buồng nhân với 1 lần xử lý.
- Cuối cùng, Tiềm năng nóng lên toàn cầu (GWP) được áp dụng để chuyển đổi hóa chất của quá trình thành lượng carbon dioxide tương đương. Về cơ bản, thời gian tồn tại của hóa chất và lượng nhiệt mà hóa chất phản xạ lại được kết hợp để so sánh tác động của một gam hóa chất với một gam carbon dioxide.
Hình 4 trình bày các giá trị sử dụng, giảm thiểu và GWP đối với các hóa chất được quan tâm trong sản xuất tấm bán dẫn.
Hình 4. Hệ số phát thải hóa học của quá trình.
Các hệ số sử dụng và giảm thiểu trong Hình 4 chủ yếu đến từ Sàng lọc IPCC 2019 [9]. Các giá trị GWP chủ yếu lấy từ IPCC AR5 [10].
Cột tác động tổng thể trong Hình 4 là giá trị 1 lần sử dụng nhân với giá trị 1 lần giảm thiểu nhân với GWP. Điều này đưa ra một bức tranh tổng thể về tác động của một hóa chất. Các hóa chất có tác động tổng thể cao thường là những hóa chất có giá trị GWP cao, tuy nhiên N2O có tác động tương đối cao mặc dù GWP tương đối thấp. Hầu hết N2O được sử dụng để lắng đọng màng oxit ở nhiệt độ thấp với hiệu suất sử dụng rất thấp [8] và khả năng giảm thiểu cũng tương đối thấp.
Điều thú vị là mặc dù các giá trị giảm thiểu của IPCC nhìn chung là trên 5%, nhưng ở Hoa Kỳ các nguồn phát thải khí nhà kính lớn phải báo cáo hiệu quả giảm nhẹ của họ cho EPA và các giá trị giảm nhẹ được báo cáo thấp hơn nhiều. Hình XNUMX minh họa hiệu quả giảm ô nhiễm được báo cáo đối với các cơ sở sản xuất ở Hoa Kỳ được áp dụng mô hình carbon.
Hình 5. Giá trị giảm thiểu được báo cáo cho Fab 300mm có cạnh hàng đầu có trụ sở tại Hoa Kỳ.
Cần lưu ý rằng các quy định báo cáo của EPA có thể dẫn đến giá trị giảm thiểu được báo cáo thấp hơn mức giảm thải thực tế, nhưng tôi cũng lưu ý rằng khi chúng tôi lập mô hình các nhà máy này bằng cách sử dụng các giá trị giảm thiểu được báo cáo, chúng tôi nhận được lượng phát thải phù hợp với những gì chúng báo cáo về lượng phát thải, vì vậy Tôi không nghĩ rằng giá trị giảm thải còn quá xa. Tôi cũng lưu ý rằng tôi tin rằng giá trị giảm thải đối với các nhà máy ở một số quốc gia khác và trên toàn thế giới đối với các nhà máy được áp dụng mô hình carbon. Tôi tin rằng mức giảm thải trung bình là khoảng 70%.
Mẫu chính thức
Như đã thảo luận trong phần Mô hình Carbon, khả năng lập mô hình từng nhà máy có thể được sử dụng để so sánh lượng khí thải được tính toán theo mô hình với lượng khí thải được báo cáo thực tế.
Trong hình 6, dữ liệu phát thải của cơ sở EPA từ 4 cơ sở đại diện cho 3 công ty và tổng số 15 nhà máy đã được cộng lại với nhau và so sánh với dữ liệu được mô hình hóa cho cùng những nhà máy đó.
Hình 6. Xác thực mô hình dựa trên Dữ liệu EPA cho các địa điểm ở Hoa Kỳ.
Như có thể thấy từ hình 6, sự phù hợp theo từng hạng mục là rất xuất sắc. Cần lưu ý rằng trận đấu của 4 trang tổng thể tốt hơn so với trận đấu của từng trang riêng lẻ.
Các vị trí trong hình 6 biểu thị các quy trình logic từ 28nm xuống 4nm.
Trong hình 7, mô hình được xác nhận dựa trên tổng lượng phát thải khí nhà kính theo địa điểm, quốc gia hoặc công ty.
Hình 7. Xác thực mô hình dựa trên báo cáo của công ty.
Trong hình 7, Micron Singapore đại diện cho 3D NAND Fab, Micron Nhật Bản và Đài Loan là các nhà máy DRAM, TSMC Đài Loan là nhà máy logic, Công ty SK Hynix là nhà máy 3D NAND và DRAM, còn Kioxia Yokkaichi là nhà máy 3D NAND. Dữ liệu được báo cáo trong biểu đồ này đến từ báo cáo ESG của công ty.
Một lần nữa, trận đấu thật tuyệt vời.
Kết quả mô hình
Mật độ bóng bán dẫn logic tiếp tục tăng mặc dù với tốc độ chậm hơn trước đây, điều này đạt được nhờ các quy trình ngày càng phức tạp về số bước quy trình và các lớp mặt nạ. Mật độ bit 3D NAND ngày càng tăng do số lượng lớp tăng lên dẫn đến ngăn xếp bộ nhớ cao hơn đòi hỏi nhiều hóa chất lắng đọng và ăn mòn hơn. Mật độ bit DRAM cũng đang tăng lên mặc dù chậm hơn so với trước đây do tăng các bước xử lý và lớp mặt nạ.
Hình 8 trình bày mức phát thải được mô hình hóa cho logic, 3D NAND và DRAM theo “nút”.
Hình 8. Phát thải được mô hình hóa.
Trong hình 8, lượng phát thải logic được trình bày cho các quy trình logic loại TSMC chạy ở Đài Loan với lượng khí thải carbon điện ở Đài Loan năm 2023 và hiệu suất giảm thiểu 70%. Các giá trị 3D NAND và DRAM được trình bày là dành cho các quy trình của Samsung chạy ở Hàn Quốc với lượng khí thải carbon điện ở Hàn Quốc vào năm 2023 và giảm 70%.
Về mặt logic, yếu tố đóng góp lớn nhất là lượng khí thải carbon điện ở phạm vi 2, cần lưu ý rằng Đài Loan có lượng điện tạo ra lượng khí thải carbon cao nhất so với bất kỳ quốc gia nào có nhà máy 300mm hàng đầu. Đối với 3D NAND, số lượng lớp/chiều cao ngăn xếp ngày càng tăng sẽ thúc đẩy việc tăng mức sử dụng hóa chất xử lý ở phạm vi 1 và mức sử dụng điện ở phạm vi 2. Đối với DRAM phạm vi 2, lượng phát thải điện là nguồn phát thải carbon lớn nhất cho đến khi quy trình DRAM 3D dự kiến được đưa ra. Quy trình 3D DRAM có ngăn xếp bộ nhớ rất cao đòi hỏi phải sử dụng nhiều hóa chất lắng đọng và khắc.
Có nhiều cơ hội để giảm đáng kể lượng khí thải carbon:
- Có thể giảm phát thải điện Phạm vi 2 bằng cách chuyển sang các nguồn điện phát thải carbon thấp như gió, hạt nhân, thủy điện hoặc năng lượng mặt trời.
- Hiện đã có sẵn các hệ thống xử lý với hiệu suất xử lý lên tới 99% [11].
- Các hóa chất xử lý phát thải carbon thấp hơn có thể được thay thế cho các hóa chất phát thải cao hơn hiện có. Tại hội nghị Công nghệ VLSI năm nay, Tokyo Electron đã tiết lộ một máy khắc nhiệt đông lạnh có thể khắc các ngăn xếp 3D NAND bằng các hóa chất không gây hiệu ứng nhà kính và tốc độ ăn mòn cao hơn. Ngoài ra, việc làm sạch buồng thường được thực hiện bằng SF6 hoặc NF3 đóng vai trò là phương tiện vận chuyển flo. Cả hai loại khí đều có giá trị GHG GWP cao. Thay cho SF6 và NF3, NS2 với GWP bằng 0 hoặc COF2 với GWP bằng 1 có thể được thay thế. Cần lưu ý rằng mặc dù các loại khí này có GWP là 0 hoặc 1 nhưng chúng có thể kết hợp với các loại khác trong buồng để tạo ra phân tử GWP cao.
Hình 9 trình bày lượng phát thải vào năm 2030 dựa trên ba kịch bản, mỗi kịch bản cho quy trình logic 10A, quy trình 1,000D NAND 3 lớp và quy trình DRAM 80D 3 lớp.
Hình 9. Dấu chân carbon năm 2030.
Trong mỗi trường hợp, giá trị năm 2023 giả định lượng khí thải carbon của điện năm 2023 và giảm 70% với các quy trình hóa học hiện tại. Kịch bản có khả năng xảy ra vào năm 2023 dựa trên lượng khí thải carbon điện dự kiến vào năm 2030 từ hình 1, giảm 90% và hệ thống/hóa học khắc bộ nhớ mới. Cuối cùng, năm 2030 – có thể dựa trên 24g CO2 tương đương trên mỗi kilowatt giờ điện (năng lượng mặt trời là 48, Hydro 24, gió và hạt nhân là 12 [5]).
Kết luận
Mô hình TechInsights Carbon đã được phát triển dựa trên Mô hình giá và chi phí chiến lược kiến thức về IC trước đây. Mô hình carbon cho phép so sánh chi tiết quá trình chế tạo 300mm của các công ty hàng đầu. Các nguồn điện, quá trình đốt cháy và xử lý hóa chất với việc sử dụng, giảm thiểu và GWP đều được mô hình hóa. Mô hình carbon bao gồm dữ liệu cụ thể của công ty. Mẫu carbon hiện có sẵn từ TechInsights.
dự án
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] Cơ sở dữ liệu đồng hồ TechInsights 300mm.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Phát thải vô hình: Dự báo lượng phát thải của chuỗi cung ứng công nghệ và mức tiêu thụ điện vào năm 2030,” Greenpeace.
[5] Bardon, et.al., “DTCO bao gồm Tính bền vững: Phân tích điểm điện-hiệu suất-khu vực-chi phí-môi trường (PPACE) cho công nghệ logic,” IEDM (2020).
[6] Báo cáo thường niên ASML 2022, trang 83.
[7] Smeets, et.al., “Hệ thống EUV 0.33 NA dành cho sản xuất khối lượng lớn,” SPIE (2022)
[8] Thông tin công nghệ
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
Cũng đọc:
Bảy công ty chất xúc tác silicon sẽ trưng bày tại CES, sự kiện công nghệ mạnh mẽ nhất thế giới
Hội nghị thượng đỉnh RISC-V Buzz – Buổi giới thiệu Launchpad nêu bật sự đổi mới của công ty nhỏ hơn
Chia sẻ bài đăng này qua:
- Phân phối nội dung và PR được hỗ trợ bởi SEO. Được khuếch đại ngay hôm nay.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Trao quyền cho chính mình. Truy cập Tại đây.
- PlatoAiStream. Thông minh Web3. Kiến thức khuếch đại. Truy cập Tại đây.
- Trung tâmESG. Than đá, công nghệ sạch, Năng lượng, Môi trường Hệ mặt trời, Quản lý chất thải. Truy cập Tại đây.
- PlatoSức khỏe. Tình báo thử nghiệm lâm sàng và công nghệ sinh học. Truy cập Tại đây.
- nguồn: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- : có
- :là
- :không phải
- :Ở đâu
- $ LÊN
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- 15%
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- có khả năng
- hấp thụ
- Theo
- Tài khoản
- đạt được
- mua lại
- diễn xuất
- Hoạt động
- hoạt động
- thực tế
- thêm vào
- thêm
- thêm
- thêm vào
- địa chỉ
- một lần nữa
- chống lại
- Hiệp định
- Mục tiêu
- KHÔNG KHÍ
- AL
- Tất cả
- dọc theo
- Ngoài ra
- Mặc dù
- số lượng
- an
- phân tích
- và
- hàng năm
- bất kì
- ngoài
- các ứng dụng
- áp dụng
- Đăng Nhập
- Nộp đơn
- khoảng
- LÀ
- KHU VỰC
- xung quanh
- AS
- các khía cạnh
- At
- Bầu không khí
- sự chú ý
- tác giả
- có sẵn
- Trung bình cộng
- trở lại
- rào cản
- thanh
- dựa
- cơ bản
- Về cơ bản
- BE
- bởi vì
- trở thành
- được
- bắt đầu
- được
- Tin
- phía dưới
- Hơn
- giữa
- lớn nhất
- sinh khối
- Một chút
- Màu xanh da trời
- cả hai
- Nghỉ giải lao
- Bị phá vỡ
- Mang lại
- ghi
- đốt cháy
- nhưng
- by
- tính
- tính toán
- phép tính
- CAN
- Sức chứa
- carbon
- cạc-bon đi-ô-xít
- lượng khí thải carbon
- dấu chân carbon
- trường hợp
- trường hợp
- Chất xúc tác
- Phân loại
- Giấy chứng nhận
- những
- chuỗi
- thách thức
- phòng
- thay đổi
- đặc điểm
- hóa chất
- hóa chất
- tuyên bố
- Làm sạch
- CO
- co2
- lạnh
- Cột
- kết hợp
- kết hợp
- Đến
- đến
- Các công ty
- công ty
- so sánh
- so
- sự so sánh
- phức tạp
- tập trung
- Hội nghị
- sự tự tin
- Hãy xem xét
- xem xét
- thích hợp
- tiêu thụ
- liên tiếp
- người đóng góp
- điều khiển
- Chuyển đổi
- chuyển đổi
- Phí Tổn
- tốn kém
- nước
- đất nước
- bảo hiểm
- phủ
- bìa
- đông lạnh
- Current
- Hiện nay
- dữ liệu
- Cơ sở dữ liệu
- xác định
- giao hàng
- mật độ
- mô tả
- Thiết kế
- Mặc dù
- phá hủy
- chi tiết
- phát triển
- Phát triển
- khó khăn
- trực tiếp
- thảo luận
- do
- làm
- thực hiện
- dont
- liều
- xuống
- đột ngột
- điều khiển
- ổ đĩa
- hai
- suốt trong
- E&T
- mỗi
- sớm nhất
- trái đất
- Cạnh
- hiệu lực
- hiệu quả
- hiệu quả
- hay
- Điện
- điện
- Tiêu thụ điện
- sử dụng điện
- loại bỏ
- phát thải
- Phát thải
- cho phép
- năng lượng
- dự án năng lượng
- đăng ký hạng mục thi
- vào
- vào
- EPA
- Trang thiết bị
- Tương đương
- tương đương
- ESG
- ước tính
- ước tính
- Ngay cả
- Sự kiện
- BAO GIỜ
- tuyệt vời
- Trừ
- triển lãm
- hiện tại
- Thoát
- mở rộng
- Tiếp xúc
- mở rộng
- mở rộng
- cơ sở
- Cơ sở
- các yếu tố
- xa
- vài
- Hình
- Phim ảnh
- Cuối cùng
- tài chính
- Công cụ tài chính
- Tên
- lần đầu tiên
- năm
- dòng chảy
- Chảy
- tiếp theo
- Dấu chân
- Trong
- Dự báo
- Cựu
- các hình thức
- hóa thạch
- nhiên liệu hóa thạch
- tìm thấy
- Miễn phí
- từ
- nhiên liệu
- tương lai
- GAS
- nói chung
- tạo ra
- thế hệ
- được
- nhà kính
- khí thải nhà kính
- cho
- Toàn cầu
- sự nóng lên toàn cầu
- tốt
- Gram
- khí gây hiệu ứng nhà kính
- Greenpeace
- lưới
- Phát triển
- Có
- cao
- Được tổ chức
- tại đây
- Cao
- cao hơn
- cao nhất
- Đánh dấu
- nổi bật
- NÓNG BỨC
- giờ
- Độ đáng tin của
- Hướng dẫn
- Tuy nhiên
- HTML
- HTTPS
- i
- xác định
- IEA
- if
- minh họa
- Va chạm
- ảnh hưởng lớn
- Tác động
- in
- inch
- bao gồm
- Bao gồm
- Tăng lên
- tăng
- lên
- hệ thống riêng biệt,
- các cá nhân
- công nghiệp
- Cuộc cách mạng công nghiệp
- ngành công nghiệp
- ban đầu
- sự đổi mới
- đầu vào
- cụ
- Intel
- quan tâm
- quan tâm
- thú vị
- trong
- giới thiệu
- vô hình
- mời
- ireland
- vấn đề
- IT
- Nhật Bản
- jpg
- Key
- kilowatt
- kiến thức
- korea
- lớn
- lớn hơn
- lớn nhất
- Launchpad
- lớp
- lớp
- hàng đầu
- ít nhất
- ít
- Cấp
- đời
- Có khả năng
- Dòng
- dòng
- liên kết
- liên kết
- nằm
- logic
- còn
- Rất nhiều
- Thấp
- thấp hơn
- làm cho
- trang điểm
- sản xuất
- mặt nạ
- Trận đấu
- vật liệu
- nguyên vật liệu
- max-width
- Có thể..
- nghĩa là
- trung bình
- Bộ nhớ
- micron
- hàng triệu
- kiểu mẫu
- người mẫu
- mô hình
- phân tử
- thời điểm
- chi tiết
- hầu hết
- nhiều
- nhiều
- nhân
- phải
- my
- Quốc
- Tự nhiên
- Natural Gas
- Cần
- cần thiết
- net
- Mới
- Không
- nút
- các nút
- ghi
- lưu ý
- Tháng mười một
- hạt nhân
- con số
- of
- off
- on
- hàng loạt
- ONE
- những
- đang diễn ra
- có thể
- Cơ hội
- or
- trái cam
- gọi món
- Oregon
- thẩm thấu
- Nền tảng khác
- vfoXNUMXfipXNUMXhfpiXNUMXufhpiXNUMXuf
- ra
- bên ngoài
- kết thúc
- tổng thể
- trang
- Giấy
- một phần
- riêng
- qua
- mỗi
- phần trăm
- tỷ lệ phần trăm
- hiệu suất
- hình ảnh
- mảnh
- Nơi
- plato
- Thông tin dữ liệu Plato
- PlatoDữ liệu
- Điểm
- điều luật
- phần
- có thể
- Bài đăng
- tiềm năng
- quyền lực
- mạnh mẽ
- trình bày
- trình bày
- trình bày
- quà
- giá
- chủ yếu
- Trước khi
- Vấn đề
- vấn đề
- quá trình
- Quy trình
- mua sắm
- sản xuất
- Sản lượng
- dự
- Chiếu
- dự
- dự án
- mua
- đã mua
- Tỷ lệ
- Giá
- phản ứng
- Đọc
- lý do
- nhận
- gần đây
- giảm
- Giảm
- giảm
- giảm
- phản ánh
- khu
- tương đối
- tẩy
- Tái tạo
- năng lượng tái tạo
- báo cáo
- Báo cáo
- Báo cáo
- Báo cáo
- đại diện
- đại diện
- đại diện
- đại diện cho
- yêu cầu
- Yêu cầu
- nghiên cứu
- kết quả
- kết quả
- Kết quả
- đảo ngược
- Cuộc cách mạng
- tăng
- Phòng
- khoảng
- quy tắc
- chạy
- tương tự
- Samsung
- kịch bản
- kịch bản
- khoa học
- phạm vi
- Điểm số
- Phần
- đã xem
- bán
- bán dẫn
- Phiên
- định
- bộ
- vận chuyển
- nên
- giới thiệu
- Chương trình
- Siemens
- có ý nghĩa
- Silicon
- kể từ khi
- Singapore
- duy nhất
- website
- Các trang web
- kích thước
- chậm rãi
- nhỏ hơn
- So
- hệ mặt trời
- rắn
- một số
- nguồn
- nguồn
- miền Nam
- Hàn Quốc
- riêng
- hình vuông
- ngăn xếp
- Stacks
- Tiểu bang
- Bang
- ổn định
- Bước
- Các bước
- Chiến lược
- Học tập
- như vậy
- TÓM TẮT
- Hội nghị thượng đỉnh
- cung cấp
- chuỗi cung ứng
- Tính bền vững
- hệ thống
- hệ thống
- Đài Loan
- công nghệ cao
- Công nghệ
- Công nghệ
- về
- hơn
- việc này
- Sản phẩm
- Tương lai
- cung cấp their dịch
- Them
- sau đó
- Đó
- vì thế
- Kia là
- họ
- nghĩ
- điều này
- năm nay
- những
- Tuy nhiên?
- số ba
- Thông qua
- thông lượng
- thời gian
- đến
- bây giờ
- bên nhau
- tokyo
- Tổng số:
- tsmc
- hai
- kiểu
- thường
- UN
- hiểu
- Kỳ
- liên Hiệp Quốc
- Hoa Kỳ
- cho đến khi
- us
- Sử dụng
- sử dụng
- đã sử dụng
- sử dụng
- sử dụng
- tận dụng
- xác nhận
- xác nhận
- giá trị
- Các giá trị
- nhiều
- Xe cộ
- rất
- đã hiệu đính
- thông qua
- Xem
- khối lượng
- muốn
- ấm
- là
- Đồng hồ đeo tay
- Nước
- we
- Thời tiết
- web
- TỐT
- Điều gì
- khi nào
- trong khi
- CHÚNG TÔI LÀ
- toàn bộ
- rộng rãi
- sẽ
- gió
- với
- thế giới
- khắp thế giới
- sẽ
- năm
- zephyrnet