IEDM, 2023 konferansında ilk kez bir sürdürülebilirlik oturumu düzenledi. Davet edilen bildiriyi sunan yazarlardan biri de bendim, sunumumun özeti aşağıdadır.
Eyleme Çağrı
Birleşmiş Milletler'den [1]:
“İklim Değişikliği çağımızın belirleyici sorunudur ve belirleyici bir andayız.”
"Bugün sert bir eyleme geçilmezse, gelecekte bu etkilere uyum sağlamak daha zor ve maliyetli olacaktır."
İyi kurulmuş bazı temel bilimsel bağlantılar vardır:
- Sera Gazlarının (GHG'ler) dünya atmosferindeki konsantrasyonu, Dünya üzerindeki ortalama küresel sıcaklıkla doğrudan bağlantılıdır.
- Konsantrasyon, Sanayi Devrimi'nden bu yana istikrarlı bir şekilde artıyor ve bununla birlikte küresel sıcaklıklar da artıyor.
İki Parçalı Problem
Sera gazı emisyonlarının azaltılmasını iki parçalı bir sorun olarak görüyoruz:
- Karbon emisyonlarını azaltmak için gelecekteki süreçleri ve teknolojileri tasarlayın.
- Ancak… aynı zamanda mevcut tesis ve süreçlerden kaynaklanan karbon emisyonlarını da azaltmamız gerekiyor.
Hem gelecekteki süreç zorluklarını hem de mevcut süreçlerin/tesislerin nasıl ele alınacağını anlamak için karbon emisyonlarının ayrıntılı modellemesine ihtiyaç vardır.
Karbon Modeli
Burada açıklanan Karbon Modeli, sektörde 2010'dan bu yana yaygın olarak kullanılan eski IC Bilgi Stratejik Maliyet ve Fiyat Modeline dayanmaktadır. Stratejik Model bu noktada iyice incelenmiştir. TechInsights, Kasım 2022'de IC Knowledge'ı satın aldı.
Stratejik Model – 3D NAND, DRAM ve Logic'i, en erken süreçlerin 300 mm'lik kısmını gelecekteki süreçlere kadar kapsayacak şekilde modeller. Şu anda model 167 – 300 mm fabrikaları ve 220 şirkete özel süreç akışını kapsıyor.
Model, elektrik, su ve doğal gaz gereksinimlerine göre ayrıntılı ekipman setlerini hesaplamaktadır. Malzeme türüne göre detaylı malzeme tüketimleri de hesaplanır.
Model muhteşem tabanlı! Kalibrasyon ve doğrulama söz konusu olduğunda bu önemli bir noktadır. Bazı durumlarda şirketin fabrika sitesine göre, bazı durumlarda bir şirket için ülkeye göre ve bazı durumlarda tüm şirket için çeşitli sera gazı emisyon verileri mevcuttur. Bir siteyi oluşturan fabrikaları veya bir şirketin bir ülkede sahip olduğu tüm fabrikaları veya bir şirketin sahip olduğu tüm fabrikaları modelleme yeteneği, kalibrasyon ve doğrulamaya olanak tanır.
Karbon Modeli şu anda yalnızca 300 mm'dir, ancak ek levha boyutları eklemeyi araştırıyoruz. SEMI'ye göre - 300 mm, 70'te sevk edilen dünya çapındaki milyonlarca inç kare silikonun kabaca %2023'ini temsil ediyor.
Karbon Modeli şunları kapsar: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC ve YMTC. Bu sekiz şirket dünya çapındaki 77 mm levha fabrikası kapasitesinin yaklaşık %300'sini temsil etmektedir [2]. Model kapsamını tüm 300 mm fabrikalara genişletmeyi araştırıyoruz.
Sera gazı emisyonları açısından Karbon Modeli, fosil yakıtların ve proses kimyasallarının yerinde yakılmasından kaynaklanan Kapsam 1 emisyonlarını ve satın alınan elektrikten kaynaklanan Kapsam 2 emisyonlarını kapsar (bazı durumlarda elektrik yerinde üretilir ve kapsam 1 emisyonu haline gelir).
Elektrik Modelleme
Bazı yarı iletken şirketleri “%2 yenilenebilir enerji” kullandıkları için kapsam 100 elektrik emisyonlarına sahip olmadıklarını iddia ediyor. Bununla birlikte iki tane sorun var.
- Yenilenebilir enerji, yenilenebilir olarak kabul edilmesine rağmen karbonsuz olmayan biyokütlenin yakılmasını içerir. Bu, şu anda ilgilendiğimiz ülkelerdeki elektrik üretiminin önemli bir kısmı değil, ancak 2015 yılında İrlanda elektrik tedarikinin %12'sinden fazlasını turba yakarak üretiyordu [3].
- Greenpeace'e göre çok daha büyük sorun, 2021'de yarı iletken endüstrisindeki "Yenilenebilir Enerjinin" %84'ünün Yenilenebilir Enerji Sertifikalarından (REC'ler) gelmesiydi [4]. REC'ler mevcut yenilenebilir enerji projelerini temsil eden finansal araçlardır. REC'lerin satın alınması şebekeye herhangi bir yeni yenilenebilir enerji eklemiyor. Bu nedenle REC'ler yenilenebilir enerji tedarikinin en az etkili biçimlerinden biridir.
REC'leri dikkate almamak ve karbon emisyonlarını elektrik tedarikinin karbon yoğunluğuna göre modellemek TechInsights'ın modelleme politikasıdır. Bu, eyalete göre tahmin ettiğimiz ABD merkezli fabrikalar dışında ülkeye göre tahmin edilmektedir. Eğer yerinde üretiliyorsa veya tanımlayabiliyorsak, bir satın alma gücü anlaşması yoluyla üretiliyorsa, karbonsuz elektriği hesaba katıyoruz. Bu bizim için devam eden bir araştırma alanıdır.
Modellememizde kullandığımız ülkeye göre geçmiş, şimdiki ve öngörülen karbon yoğunluğu şekil 1'de gösterilmektedir.
Şekil 1. Ülkelere Göre Elektriğin Karbon Yoğunluğu.
Kesintisiz çizgiler Our World in Data'dan alınmıştır ve noktalı çizgi projeksiyonları, artık web sitelerinde bulunmayan IEA projeksiyonunun bölgeye göre uygulanmasıyla yapılmıştır.
Karbon yoğunluğunu uygulamak için öncelikle fabrikanın kullandığı elektrik miktarını tahmin etmemiz gerekiyor. Karbon Modeli ayrıntılı ekipman seti modellemesi yaptığından, elektrik kullanımını ekipman bazında uygulayarak başlıyoruz [5],[6],[7],[8]. EUV ekipmanı, dozun verim ve dolayısıyla elektrik kullanımı üzerindeki büyük etkisi nedeniyle özellikle dikkat çekmektedir. Tesisin elektrik kullanımı, proses ve tesis özelliklerine göre tahmin edilir. Şekil 2, mantık düğümüne göre elektrik kullanımını göstermektedir.
Şekil 2. Mantık Düğümüne Göre Elektrik Kullanımı.
Şekil 2'de gri çubuklar tesis elektrik kullanımını, mavi çubuklar EUV içermeyen ekipman elektrik kullanımını, turuncu çubuklar 0.33NA EUV sistemlerini ve sarı-turuncu çubuklar 0.55NA (yüksek NA) EUV sistemi elektrik kullanımını göstermektedir. Noktalı çizgi, ekipmandan kaynaklanan elektrik kullanımının yüzdesidir.
Şeklin vurgulamak istediğim üç ilginç yönü var:
- Şekil 2'deki mantık düğümleri TSMC'yi temel almaktadır. 7nm'de TSMC, optik tabanlı bir işlemi (7nm) ve ardından EUV tabanlı bir işlemi (7nm+) tanıttı. EUV ekipmanı DUV sistemlerinden çok daha fazla elektrik kullansa da EUV, karmaşık çok desenli adımları tek bir pozlamayla değiştirir ve elektrik kullanımında net bir azalmaya neden olur.
- 14A düğümünde, EUV çoklu desenleme gerektiren 0.33NA EUV'yi, çoklu desenlemeyi ortadan kaldıran Yüksek NA EUV ile 14A+ ile karşılaştırdık ve bir kez daha elektrik kullanımında net bir azalma oldu.
- Noktalı çizgi, SEMATECH çalışmasına uygun olarak 130 nm'den 40 nm'ye kadar ekipmanın toplam elektrik kullanımının yaklaşık %43'ünü temsil ettiğini göstermektedir. EUV kullanıma girmeden önce, ekipmanın %40 ila %50'sini temsil ettiğini ve EUV'ye girdikten sonra ekipmanın toplam elektrik tüketiminin %50 ila %55'ini temsil ettiğini gördük.
Modellenen elektrik kullanımımızı iki şirkete ait elektrik kullanım verileriyle karşılaştırdık: şirket genelinde (GF ve SK Hynix), Tayvan için TSMC ve 4 tesis için Intel ve site etkinliğini hafife aldığımıza inandığımız Intel Oregon dışında eşleşme mükemmel. seviye. Intel Oregon bir geliştirme sitesidir ve yakın zamanda bu hesaplamalarda kullandığımızdan daha fazla etkinlikle tutarlı yeni veriler aldık. Genel olarak hesaplama konusunda bize güven veriyor.
Yanma
Fosil yakıtların yerinde yakılması beş uygulama içindir:
- Yerinde elektrik üretimi (birkaç fabrika bunu doğal gazla yapıyor).
- Tesis ısısı.
- Ters ozmos öncesinde suyu önceden ısıtın. Ters ozmoz, ultra saf su üretiminde önemli bir adımdır ve eğer su sıcaksa, ters ozmozdan gelen reddedilen suya kıyasla iyi su yüzdesi daha yüksektir.
- Bazı azaltma sistemleri – bazı sistemlerde perflorlu bileşikleri yakıp yok etmek için doğal gaz kullanılır.
- İlave havanın ısıtılması ve yeniden ısıtılması. Gofret fabrikalarında ekipmandan kimyasal dumanları çıkarmak için egzoz havası bulunur ve egzoz havasını "telafi etmek" için tesisin dışından hava getirilmesi gerekir. Soğuk havalarda, statik kontrol ve fotodirenç performansı için havanın oda sıcaklığına kadar ısıtılması ve nemlendirilmesi gerekir. Sıcak havalarda, havanın nemini almak için takviye havası oda sıcaklığının altına soğutulur ve ardından tekrar oda sıcaklığına ısıtılır.
Proses Kimyasalları
Şekil 3, proses gazlarının proses ekipmanı boyunca ve eşdeğer karbon değerlerine dönüştürülerek atmosfere akışını göstermektedir.
Şekil 3. Proses Kimyasal Emisyonları.
Şekil 3'ten:
- Proses kimyasalları, bir aşındırma reaksiyonunda parçalanarak veya bir biriktirme reaksiyonunda bir filmin parçası haline gelerek bazı yüzdelerin kullanıldığı işlem odasına girer. Başlangıç girdi hacminin 1-kullanımla çarpımı egzozdaki proses kimyasallarının miktarıdır.
- Proses odası egzozu, proses kimyasalının bir kısmının sera gazı olmayan kimyasallara parçalandığı veya bir ortam tarafından absorbe edildiği bir azaltma sistemine girebilir. Azaltma sisteminden çıkan kimyasallar, oda egzozundan gelen girdinin 1 azaltımla çarpımıdır.
- Son olarak, proses kimyasalını karbondioksit eşdeğerlerine dönüştürmek için Küresel Isınma Potansiyeli (GWP) uygulanır. Temel olarak, kimyasalın ömrü ve kimyasalın ne kadar ısıyı geri yansıttığı, bir gram kimyasalın etkisini bir gram karbondioksit ile karşılaştırmak için birleştirilir.
Şekil 4, gofret fabrikaları için ilgi konusu kimyasalların kullanım, azaltma ve GWP değerlerini sunmaktadır.
Şekil 4. Proses Kimyasal Emisyon Faktörleri.
Şekil 4'teki kullanım ve azaltma faktörleri öncelikle IPCC 2019 İyileştirmesinden gelmektedir [9]. GWP değerleri öncelikle IPCC AR5'ten alınmıştır [10].
Şekil 4'teki genel etki sütunu, 1-kullanım değerlerinin 1-azaltma değerleri ile GWP ile çarpımıdır. Bu, bir kimyasalın etkisinin genel bir resmini verir. Genel etkisi yüksek olan kimyasallar genellikle yüksek GWP değerlerine sahip olanlardır ancak N2O nispeten düşük bir GWP'ye rağmen nispeten yüksek bir etkiye sahiptir. Çoğu N2O, çok düşük kullanımla [8] düşük sıcaklıkta oksit bazlı film biriktirme için kullanılır ve azaltma da nispeten düşüktür.
İlginç bir şekilde, IPCC azaltım değerleri genel olarak yüzde doksanın üzerinde olmasına rağmen, Amerika Birleşik Devletleri'nde büyük sera gazı salımı yapan ülkelerin, azaltım verimliliklerini EPA'ya bildirmeleri gerekmektedir ve rapor edilen azaltım değerleri çok daha düşüktür. Şekil 5, karbon modelinde yer alan ABD'deki fabrika sahaları için rapor edilen azaltım verimliliklerini göstermektedir.
Şekil 5. ABD Tabanlı Öncü Kenar 300mm Fabrikalar için Rapor Edilen Azalma Değerleri.
EPA raporlama kurallarının, gerçek azaltımlardan daha düşük rapor edilen azaltım değerleri ile sonuçlanabileceği dikkate alınmalıdır; ancak aynı zamanda, bu fabrikaları rapor edilen azaltım değerlerini kullanarak modellediğimizde, emisyonlar için rapor ettikleri değerlerle tutarlı emisyonlar elde ettiğimizi de belirtmek isterim. Azaltım değerlerinin çok uzakta olduğunu düşünmüyorum. Ayrıca, diğer bazı ülkelerdeki fabrikalar için azaltım değerlerinin daha yüksek olduğuna ve karbon modeli kapsamındaki fabrikalar için dünya çapında ortalama azaltımın %70 civarında olduğuna inandığımı belirtmek isterim.
Model geçerliliği
Karbon Modeli bölümünde tartışıldığı gibi, bireysel fabrikaları modelleme yeteneği, model tarafından hesaplanan emisyonları gerçek rapor edilen emisyonlarla karşılaştırmak için kullanılabilir.
Şekil 6'da, 4 şirketi temsil eden 3 tesisten ve toplam 15 fabrikadan alınan EPA tesisi emisyon verileri toplanmış ve aynı fabrikalar için modellenmiş verilerle karşılaştırılmıştır.
Şekil 6. ABD Siteleri için EPA Verilerine dayalı Model Doğrulaması.
Şekil 6'dan görülebileceği gibi kategori bazında maç mükemmel. Toplamda 4 sitenin eşleşmesinin, bireysel sitelerin eşleşmesinden daha iyi olduğunu belirtmek gerekir.
Şekil 6'daki alanlar 28nm'den 4nm'ye kadar olan mantıksal süreçleri temsil etmektedir.
Şekil 7'de model saha, ülke veya şirket bazında toplam sera gazı emisyonuna göre doğrulanmıştır.
Şekil 7. Şirket Raporlarına Göre Model Doğrulaması.
Şekil 7'de, Micron Singapur 3D NAND Fabrikalarını, Micron Japonya ve Tayvan DRAM fabrikalarını, TSMC Tayvan mantık fabrikalarını, SK Hynix Company 3D NAND ve DRAM fabrikalarını ve Kioxia Yokkaichi 3D NAND fabrikalarını temsil etmektedir. Bu grafikte rapor edilen veriler şirketin ESG raporlarından gelmektedir.
Maç yine mükemmel.
Model Sonuçları
Lojik transistör yoğunluğu, geçmişte daha yavaş bir hızda olsa da artmaya devam ediyor; bu, işlem adımlarının sayısı ve maske katmanları açısından giderek daha karmaşık hale gelen işlemlerle elde ediliyor. 3D NAND bit yoğunluğu, katman sayısının artmasıyla artıyor ve bu da daha fazla biriktirme ve kazıma kimyasalları gerektiren daha uzun bellek yığınına yol açıyor. DRAM bit yoğunluğu da artıyor, ancak artan işlem adımları ve maske katmanları nedeniyle bir kez daha geçmişe göre daha yavaş.
Şekil 8'de mantık, 3D NAND ve DRAM için modellenmiş emisyonlar "düğüm" bazında sunulmaktadır.
Şekil 8. Modellenmiş Emisyonlar.
Şekil 8'de, 2023 Tayvan elektrik karbon ayak izi ve %70 azaltma verimliliği ile Tayvan'da yürütülen TSMC tipi mantık süreçleri için mantık emisyonları sunulmaktadır. Sunulan 3D NAND ve DRAM değerleri, 2023 Güney Kore elektrik karbon ayak izi ve %70 azaltımla Güney Kore'de yürütülen Samsung işlemlerine yöneliktir.
Mantık açısından en büyük katkı Kapsam 2 elektrik karbon emisyonlarıdır; Tayvan'ın öncü 300 mm fabrikaların bulunduğu herhangi bir ülke arasında en yüksek karbon ayak izine sahip olduğu unutulmamalıdır. 3D NAND için artan katman sayısı/yığın yüksekliği, kapsam 1 proses kimyasallarının ve kapsam 2 elektrik kullanımının artmasına neden olur. DRAM kapsam 2 için, öngörülen bir 3D DRAM işlemi uygulamaya koyuluncaya kadar elektrik emisyonları en büyük karbon emisyon kaynağıdır. 3D DRAM işlemi, çok fazla biriktirme ve dağlama kimyasalı kullanımı gerektiren çok yüksek bir bellek yığınına sahiptir.
Karbon emisyonlarını önemli ölçüde azaltmak için birçok fırsat vardır:
- Kapsam 2 elektrik emisyonları, rüzgar, nükleer, hidroelektrik veya güneş gibi düşük karbon emisyonlu elektrik kaynaklarına geçilerek azaltılabilir.
- %99'a kadar azaltma verimliliğine sahip azaltma sistemleri mevcuttur [11].
- Daha düşük karbon emisyonlu proses kimyaları, mevcut yüksek emisyonlu kimyaların yerine kullanılabilir. Bu yılki VLSI Teknoloji konferansında Tokyo Electron, 3D NAND yığınlarını sera gazı olmayan kimyasallarla ve daha yüksek aşındırma hızlarıyla aşındırabilen kriyojenik bir dağlayıcıyı açıkladı. Ayrıca oda temizliği tipik olarak SF ile yapılır.6 veya NF3 flor dağıtım aracı olarak görev yapıyor. Her iki gaz da yüksek sera gazı GWP değerlerine sahiptir. SF'nin yerine6 ve NF3,F2 GWP'si 0 veya COF olan2 GWP'si 1 olan bir şey ikame edilebilir. Bu gazların GWP'si 0 veya 1 olmasına rağmen, yüksek GWP'li bir molekül üretmek için odadaki diğer türlerle birleşebileceklerine dikkat edilmelidir.
Şekil 9, her biri 2030A mantık süreci, 10 katmanlı 1,000D NAND süreci ve 3 katmanlı 80D DRAM süreci için üç senaryoya dayalı olarak 3'daki emisyonları göstermektedir.
Şekil 9. Karbon Ayak İzi 2030.
Her durumda 2023 değeri, 2023 elektrik karbon ayak izini ve mevcut proses kimyalarıyla %70 azalmayı varsaymaktadır. 2023 – muhtemel senaryo, şekil 2030'de öngörülen 1 elektrik karbon ayak izine, %90 azalmaya ve yeni bir hafıza aşındırma sistemine/kimyasına dayanmaktadır. Son olarak, 2030 – mümkün, kilowatt saat elektrik başına 24g CO2 eşdeğerine dayanmaktadır (güneş enerjisi 48, Hidroelektrik 24, rüzgar ve nükleer ise 12 [5]).
Sonuç
TechInsights Carbon modeli, eski IC Bilgi Stratejik Maliyet ve Fiyat Modeli temel alınarak geliştirilmiştir. Karbon modeli, öncü şirketler için 300 mm fabrikasyonun ayrıntılı karşılaştırmasını sağlar. Elektrik kaynakları, yanma ve kullanım, azaltma ve GWP ile proses kimyasallarının tümü modellenmiştir. Karbon modeli, şirkete özel kapsamlı veriler içerir. Karbon modeli şu anda TechInsights'ta mevcuttur.
Referanslar
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] TechInsights 300mm Saat Veritabanı.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Görünmez Emisyonlar: 2030 yılına kadar teknoloji tedarik zinciri emisyonları ve elektrik tüketimi tahmini,” Greenpeace.
[5] Bardon, vd., "Sürdürülebilirlik dahil DTCO: Mantık Teknolojileri için Güç-Performans-Alan-Maliyet-Çevre puanı (PPACE) Analizi", IEDM (2020).
[6] ASML 2022 yıllık raporu, sayfa 83.
[7] Smeets ve diğerleri, "Yüksek Hacimli Üretim için 0.33 NA EUV sistemleri", SPIE (2022)
[8] TechInsights
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
Ayrıca Oku:
Dünyanın En Güçlü Teknoloji Etkinliği CES'te Yedi Silikon Katalizörü Firması Sergilenecek
RISC-V Zirvesi Buzz – Launchpad Vitrini Küçük Şirket Yeniliklerini Öne Çıkarıyor
Bu gönderiyi şu yolla paylaş:
- SEO Destekli İçerik ve Halkla İlişkiler Dağıtımı. Bugün Gücünüzü Artırın.
- PlatoData.Network Dikey Üretken Yapay Zeka. Kendine güç ver. Buradan Erişin.
- PlatoAiStream. Web3 Zekası. Bilgi Genişletildi. Buradan Erişin.
- PlatoESG. karbon, temiz teknoloji, Enerji, Çevre, Güneş, Atık Yönetimi. Buradan Erişin.
- PlatoSağlık. Biyoteknoloji ve Klinik Araştırmalar Zekası. Buradan Erişin.
- Kaynak: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :vardır
- :dır-dir
- :olumsuzluk
- :Neresi
- $UP
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- %15
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- kabiliyet
- emilir
- Göre
- Hesap
- elde
- edinilen
- oyunculuk
- Action
- etkinlik
- gerçek
- eklemek
- katma
- ekleme
- Ek
- adres
- tekrar
- karşı
- Bireysel Üyelik Sözleşmesi
- Amaçları
- HAVA
- AL
- Türkiye
- boyunca
- Ayrıca
- Rağmen
- miktar
- an
- analiz
- ve
- yıllık
- herhangi
- ayrı
- uygulamaları
- uygulamalı
- Tamam
- Uygulanması
- yaklaşık olarak
- ARE
- ALAN
- etrafında
- AS
- yönleri
- At
- Atmosfer
- Dikkat
- Yazarlar
- mevcut
- ortalama
- Arka
- engelleri
- Barlar
- merkezli
- temel
- temel olarak
- BE
- Çünkü
- olma
- olmuştur
- başlamak
- olmak
- Inanmak
- altında
- Daha iyi
- arasında
- Biggest
- biyokütle
- Bit
- Mavi
- her ikisi de
- mola
- Kırık
- getirdi
- yanmak
- yanan
- fakat
- by
- hesaplanmış
- hesaplar
- hesaplama
- CAN
- Kapasite
- karbon
- karbon dioksit
- karbon emisyonu
- karbon Ayakizi
- dava
- durumlarda
- katalizatör
- Kategoriler
- sertifikalar
- bunlar
- zincir
- zorluklar
- Bölme
- değişiklik
- özellikleri
- kimyasal
- kimyasallar
- iddia
- Temizlik
- CO
- co2
- soğuk
- Sütun
- birleştirmek
- kombine
- nasıl
- geliyor
- Şirketler
- şirket
- karşılaştırmak
- karşılaştırıldığında
- karşılaştırma
- karmaşık
- konsantrasyon
- Konferans
- güven
- Düşünmek
- kabul
- tutarlı
- tüketim
- devam ediyor
- iştirakçi
- kontrol
- Dönüştürme
- dönüştürmek
- Ücret
- pahalı
- ülkeler
- ülke
- kapsama
- kaplı
- kapaklar
- kriyojenik
- akım
- Şu anda
- veri
- veritabanı
- tanımlarken
- teslim
- yoğunluk
- tarif edilen
- Dizayn
- Rağmen
- yıkmak
- detaylı
- gelişmiş
- gelişme
- zor
- direkt olarak
- tartışılan
- do
- yok
- yapılmış
- Dont
- doz
- aşağı
- dramatik
- tahrik
- sürücüler
- gereken
- sırasında
- E&T
- her
- en erken
- toprak
- kenar
- Efekt
- verimlilikleri
- verim
- ya
- Elektrik
- elektrik
- elektrik tüketimi
- elektrik kullanımı
- ortadan
- emisyon
- emisyon
- sağlar
- enerji
- enerji projeleri
- Keşfet
- girdi
- girme
- EPA
- ekipman
- Eşdeğer
- eşdeğerleri
- Bilişim G
- tahmin
- tahmini
- Hatta
- Etkinlikler
- hİÇ
- mükemmel
- Dışında
- sergi
- mevcut
- Çıkma
- genişleyen
- Maruz kalma
- uzatma
- kapsamlı, geniş
- tesisler
- Tesis
- faktörler
- uzak
- az
- şekil
- Film
- Nihayet
- mali
- Finansal araçlar
- Ad
- ilk kez
- beş
- akış
- Akışları
- takip etme
- ayak izi
- İçin
- Tahmin
- Eski
- formlar
- fosil
- fosil yakıtlar
- bulundu
- Ücretsiz
- itibaren
- yakıtlar
- gelecek
- GAZ
- genellikle
- oluşturulan
- nesil
- almak
- sera gazı
- sera gazı emisyonları
- verir
- Küresel
- küresel ısınma
- Tercih Etmenizin
- Gram
- Sera gazı
- Greenpeace
- Grid
- Büyüyen
- Var
- yükseklik
- Held
- okuyun
- Yüksek
- daha yüksek
- en yüksek
- Vurgulamak
- özeti
- SICAK
- saat
- Ne kadar
- Nasıl Yapılır
- Ancak
- HTML
- HTTPS
- i
- belirlemek
- IEA
- if
- göstermektedir
- darbe
- etkili
- Etkiler
- in
- inç
- içerir
- Dahil olmak üzere
- Artırmak
- artan
- giderek
- bireysel
- bireyler
- Sanayi
- Sanayi devrimi
- sanayi
- ilk
- Yenilikçilik
- giriş
- enstrümanlar
- Intel
- faiz
- ilgili
- ilginç
- içine
- tanıttı
- görünmez
- davet
- İrlanda
- konu
- IT
- Japonya
- jpg
- anahtar
- Kilovat
- bilgi
- Kore
- büyük
- büyük
- büyük
- launchpad
- tabaka
- katmanları
- önemli
- en az
- az
- seviye
- ömür
- Muhtemelen
- çizgi
- hatları
- bağlantılı
- bağlantılar
- bulunan
- mantık
- uzun
- Çok
- Düşük
- alt
- yapmak
- makyaj
- üretim
- maske
- Maç
- malzeme
- malzemeler
- maksimum genişlik
- Mayıs..
- ortalama
- orta
- Bellek
- mikron
- milyonlarca
- model
- Modelleme
- modelleri
- molekül
- an
- Daha
- çoğu
- çok
- çoklu
- çarpılır
- şart
- my
- Milletler
- Doğal (Madenden)
- Doğalgaz
- gerek
- gerekli
- net
- yeni
- yok hayır
- düğüm
- düğümler
- notlar
- ünlü
- Kasım
- nükleer
- numara
- of
- kapalı
- on
- bir Zamanlar
- ONE
- olanlar
- devam
- bir tek
- Fırsatlar
- or
- Portakal
- sipariş
- Oregon
- ozmos
- Diğer
- bizim
- dışarı
- dışında
- tekrar
- tüm
- Kanal
- kâğıt
- Bölüm
- belirli
- geçmiş
- başına
- yüzde
- yüzde
- performans
- resim
- parça
- yer
- Platon
- Plato Veri Zekası
- PlatoVeri
- Nokta
- politika
- kısım
- mümkün
- Çivi
- potansiyel
- güç kelimesini seçerim
- güçlü
- mevcut
- sunum
- sundu
- hediyeler
- fiyat
- öncelikle
- Önceki
- Sorun
- sorunlar
- süreç
- Süreçler
- tedarik
- üretmek
- üretim
- tahmin
- Projeksiyon
- projeksiyonları
- Projeler
- satın alma
- satın alındı
- oran
- oranlar
- tepki
- Okumak
- neden
- Alınan
- geçenlerde
- azaltmak
- Indirimli
- azaltarak
- azalma
- yansıtır
- bölge
- Nispeten
- Kaldır
- Yenilenebilir
- yenilenebilir enerji
- rapor
- Bildirilen
- Raporlama
- Raporlar
- temsil etmek
- temsil
- temsil
- temsil
- gerektirir
- Yer Alan Kurallar
- araştırma
- sonuç
- Ortaya çıkan
- Sonuçlar
- ters
- Devrim
- yükselen
- oda
- kabaca
- kurallar
- koşmak
- aynı
- Samsung
- senaryo
- senaryolar
- bilimsel
- kapsam
- Gol
- Bölüm
- görüldü
- Yarı
- yarıiletken
- Oturum
- set
- Setleri
- sevk
- meli
- vitrin
- Gösteriler
- iletkenlik birimi
- önemli
- Silikon
- beri
- Singapur
- tek
- yer
- Yer
- boyutları
- Yavaş yavaş
- daha küçük
- So
- güneş
- katı
- biraz
- Kaynak
- kaynaklar
- güney
- Güney Kore
- özel
- kareler
- yığın
- Yığınları
- Eyalet
- Devletler
- sürekli
- adım
- Basamaklar
- Stratejik
- Ders çalışma
- böyle
- ÖZET
- Zirve
- arz
- tedarik zinciri
- Sürdürülebilirlik
- sistem
- Sistemler
- Tayvan
- teknoloji
- Teknolojileri
- Teknoloji
- şartlar
- göre
- o
- The
- Gelecek
- ve bazı Asya
- Onları
- sonra
- Orada.
- bu nedenle
- Bunlar
- onlar
- düşünmek
- Re-Tweet
- Bu yıl
- Bu
- gerçi?
- üç
- İçinden
- verim
- zaman
- için
- bugün
- birlikte
- Tokyo
- Toplam
- TSMC
- iki
- tip
- tipik
- UN
- anlamak
- Birleşik
- Birleşmiş Milletler
- USA
- kadar
- us
- kullanım
- kullanım
- Kullanılmış
- kullanım
- kullanma
- kullanılan
- valide
- onaylama
- değer
- Değerler
- çeşitlilik
- Araçlar
- çok
- incelenmiş
- üzerinden
- Görüntüle
- hacim
- istemek
- sıcak
- oldu
- İzle
- Su
- we
- hava
- ağ
- İYİ
- Ne
- ne zaman
- süre
- DSÖ
- bütün
- geniş ölçüde
- irade
- rüzgar
- ile
- Dünya
- Dünya çapında
- olur
- yıl
- zefirnet