Pela primeira vez, o IEDM realizou uma sessão de sustentabilidade na conferência de 2023. Fui um dos autores que apresentou um artigo convidado, a seguir está um resumo da minha apresentação.
Chamada para Ação
Das Nações Unidas [1]:
“As alterações climáticas são a questão definidora do nosso tempo e estamos num momento decisivo.”
“Sem medidas drásticas hoje, a adaptação a estes impactos no futuro será mais difícil e dispendiosa.”
Existem alguns links científicos básicos bem estabelecidos:
- A concentração de Gases de Efeito Estufa (GEE) na atmosfera terrestre está diretamente ligada à temperatura média global na Terra.
- A concentração tem aumentado continuamente, e junto com ela as temperaturas médias globais, desde a época da Revolução Industrial.
Problema de duas partes
Vemos a redução das emissões de GEE como um problema de duas partes:
- Projetar processos e tecnologias futuras para reduzir as emissões de carbono.
- Mas… também precisamos de reduzir as emissões de carbono das instalações e processos existentes.
É necessária uma modelização detalhada das emissões de carbono para compreender os desafios futuros dos processos e como abordar os processos/instalações existentes.
Modelo de Carbono
O Modelo de Carbono descrito aqui é baseado no antigo Modelo Estratégico de Custo e Preço do Conhecimento da IC, que tem sido amplamente utilizado na indústria desde 2010. O Modelo Estratégico está bem avaliado neste ponto. A TechInsights adquiriu a IC Knowledge em novembro de 2022.
O Modelo Estratégico – modela 3D NAND, DRAM e Lógica com cobertura dos primeiros processos em 300 mm até processos futuros. Atualmente, o modelo abrange fábricas de 167 a 300 mm e 220 fluxos de processos específicos da empresa.
O modelo calcula conjuntos detalhados de equipamentos com necessidades de eletricidade, água e gás natural. Os consumos detalhados de materiais por tipo de material também são calculados.
O modelo é fabuloso! Este é um ponto chave quando se trata de calibração e validação. Há uma variedade de dados de emissões de GEE disponíveis, em alguns casos por site da empresa, em alguns casos por país para uma empresa e em alguns casos para toda a empresa. A capacidade de modelar as fábricas que compõem um site, ou todas as fábricas que uma empresa possui em um país, ou todas as fábricas que uma empresa possui permite calibração e validação.
O modelo de carbono atualmente tem apenas 300 mm, embora estejamos investigando a adição de tamanhos de wafer adicionais. De acordo com SEMI – 300 mm representa cerca de 70% dos milhões de polegadas quadradas de silício enviadas em todo o mundo em 2023.
O modelo de carbono abrange: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC e YMTC. Essas oito empresas representam aproximadamente 77% da capacidade mundial de fabricação de wafer de 300 mm [2]. Estamos investigando a expansão da cobertura do modelo para todas as fábricas de 300 mm.
Em termos de emissões de GEE, o Modelo de Carbono cobre as emissões de âmbito 1 provenientes da combustão local de combustíveis fósseis e produtos químicos de processamento, e as emissões de âmbito 2 provenientes da eletricidade adquirida (em alguns casos a eletricidade é gerada no local tornando-se uma emissão de âmbito 1).
Modelagem de Eletricidade
Algumas empresas de semicondutores afirmam que não têm emissões eléctricas de âmbito 2 porque utilizam “energia 100% renovável”. Existem dois problemas com isso.
- A energia renovável inclui a queima de biomassa que, embora considerada renovável, não é isenta de carbono. Esta não é uma parte significativa da produção de electricidade nos países em que estamos interessados neste momento, mas em 2015 a Irlanda produzia >12% do seu fornecimento eléctrico a partir da queima de turfa [3].
- O problema muito maior é que, de acordo com o Greenpeace, em 2021, 84% da “Energia Renovável” na indústria de semicondutores provinha de Certificados de Energia Renovável (RECs) [4]. As REC são instrumentos financeiros que representam projectos de energias renováveis existentes. A compra de RECs não adiciona nenhuma nova energia renovável à rede. Por esta razão, as CER são uma das formas menos impactantes de aquisição de energias renováveis.
É política de modelagem da TechInsights não considerar RECs e modelar as emissões de carbono com base na intensidade de carbono do fornecimento elétrico. Isso é estimado por país, exceto para fábricas baseadas nos EUA, onde estimamos por estado. Contabilizamos a eletricidade livre de carbono se gerada no local ou através de um contrato de compra de energia, se pudermos identificá-la. Essa é uma área de pesquisa contínua para nós.
A intensidade de carbono passada, presente e projetada por país que utilizamos na nossa modelagem é ilustrada na figura 1.
Figura 1. Intensidade de carbono da eletricidade por país.
As linhas sólidas são do Our World in Data e as projeções das linhas pontilhadas são da aplicação de uma projeção da IEA por região que não está mais disponível em seu site.
Para aplicar a intensidade de carbono, precisamos primeiro estimar a quantidade de eletricidade utilizada pela fábrica. Como o Modelo de Carbono faz modelagem detalhada do conjunto de equipamentos, começamos aplicando o uso elétrico por equipamento [5],[6],[7],[8]. O equipamento EUV recebe atenção especial devido ao grande efeito que a dose tem no rendimento e, portanto, no uso elétrico. O uso elétrico da instalação é estimado com base nas características do processo e da instalação. A Figura 2 ilustra o uso de eletricidade por nó lógico.
Figura 2. Consumo de eletricidade por nó lógico.
Na figura 2, as barras cinza são o uso elétrico da instalação, as barras azuis são o uso elétrico do equipamento, não incluindo EUV, as barras laranja são sistemas EUV de 0.33NA e as barras amarelo-laranja são uso elétrico do sistema EUV de 0.55NA (NA alto). A linha pontilhada é a porcentagem de consumo elétrico devido ao equipamento.
Há três aspectos interessantes da figura que quero destacar:
- Os nós lógicos da figura 2 são baseados no TSMC. Em 7nm, a TSMC introduziu um processo baseado em óptica (7nm) e depois um processo baseado em EUV (7nm+). Embora os equipamentos EUV utilizem consideravelmente mais eletricidade do que os sistemas DUV, o EUV substitui etapas complexas de padrões múltiplos por uma única exposição e resulta em uma redução líquida no uso de eletricidade.
- No nó 14A, comparamos 0.33NA EUV que exigirá multipadronização EUV com 14A+ com High NA EUV eliminando multipadronização e mais uma vez há uma redução líquida no uso de eletricidade.
- A linha pontilhada mostra que de 130nm a 40nm o equipamento representou aproximadamente 43% do consumo elétrico total, consistente com estudo da SEMATECH. Antes da entrada do EUV em uso, descobrimos que os equipamentos representavam 40% a 50% e, depois que o EUV entrou em uso, os equipamentos representavam entre 50% e 55% do consumo total de eletricidade.
Comparamos nosso modelo de uso de eletricidade com dados de uso de eletricidade de duas empresas – em toda a empresa (GF e SK Hynix), TSMC para Taiwan e Intel para 4 locais e a correspondência é excelente, exceto para Intel Oregon, onde acreditamos que estamos subestimando a atividade do local nível. A Intel Oregon é um local de desenvolvimento e recentemente recebemos novos dados que são consistentes com mais atividade lá do que usamos nesses cálculos. No geral, isso nos dá confiança no cálculo.
Combustão
A combustão local de combustíveis fósseis é para cinco aplicações:
- Geração elétrica no local (algumas fábricas fazem isso com gás natural).
- Calor das instalações.
- Pré-aqueça a água antes da osmose reversa. A osmose reversa é uma etapa fundamental na geração de água ultrapura e a porcentagem de água boa em comparação com a água rejeitada da osmose reversa é maior se a água estiver quente.
- Alguns sistemas de redução – o gás natural é utilizado em alguns sistemas para queimar compostos perfluorados e destruí-los.
- Aquecer e reaquecer, de ar de reposição. As fábricas de wafer possuem ar de exaustão para remover vapores químicos do equipamento e o ar deve ser trazido de fora da instalação para “compensar” o ar de exaustão. Durante o tempo frio, o ar deve ser aquecido até a temperatura ambiente e umidificado para controle estático e desempenho fotorresistente. Durante o tempo quente, o ar de reposição é resfriado abaixo da temperatura ambiente para desumidificar o ar e depois reaquecido até a temperatura ambiente.
Produtos Químicos de Processo
A Figura 3 ilustra o fluxo de gases de processo através do equipamento de processo e para a atmosfera com a conversão para valores de carbono equivalentes.
Figura 3. Emissões Químicas do Processo.
Da figura 3:
- Os produtos químicos do processo entram na câmara do processo, onde algumas porcentagens são utilizadas, seja sendo quebradas em uma reação de corrosão ou tornando-se parte de um filme em uma reação de deposição. O volume de entrada inicial multiplicado por 1 utilização é a quantidade de produtos químicos do processo na exaustão.
- A exaustão da câmara de processo pode entrar em um sistema de redução onde alguma porção do produto químico do processo é decomposta em produtos químicos que não são gases de efeito estufa ou é absorvida por algum meio. Os produtos químicos que saem do sistema de redução são a entrada da exaustão da câmara multiplicada por 1 redução.
- Finalmente, o Potencial de Aquecimento Global (GWP) é aplicado para converter o produto químico do processo em equivalentes de dióxido de carbono. Basicamente, a vida útil do produto químico e a quantidade de calor que o produto químico reflete são combinadas para comparar o efeito de um grama do produto químico com um grama de dióxido de carbono.
A Figura 4 apresenta valores de utilização, redução e GWP para os produtos químicos de interesse para fábricas de wafer.
Figura 4. Fatores de emissões químicas de processo.
Os fatores de utilização e redução na figura 4 provêm principalmente do Refinamento de 2019 do IPCC [9]. Os valores de GWP são principalmente do IPCC AR5 [10].
A coluna de impacto global na figura 4 são os valores de 1 utilização multiplicados pelos valores de 1 redução multiplicados pelo GWP. Isto dá uma visão geral do impacto de um produto químico. Os produtos químicos que têm um impacto global elevado são geralmente aqueles com valores de GWP elevados, no entanto, o N2O tem um impacto relativamente alto, apesar de um PAG relativamente baixo. A maioria N2O é usado para deposição de filmes à base de óxido em baixa temperatura com utilização muito baixa [8] e a redução também é relativamente baixa.
Curiosamente, embora os valores de redução do IPCC sejam geralmente superiores a noventa por cento, nos Estados Unidos os grandes emissores de gases com efeito de estufa devem comunicar a sua eficiência de redução à EPA e os valores de redução comunicados são muito mais baixos. A Figura 5 ilustra as eficiências de redução relatadas para fábricas nos EUA cobertas pelo modelo de carbono.
Figura 5. Valores de redução relatados para fábricas de ponta de 300 mm baseadas nos EUA.
Deve-se notar que as regras de relatório da EPA podem resultar em valores de redução relatados que são menores do que a redução real, mas eu também observaria que quando modelamos essas fábricas usando os valores de redução relatados, obtemos emissões consistentes com o que eles relatam para as emissões, então Não creio que os valores de abatimento estejam muito distantes. Gostaria também de observar que acredito que os valores de redução são mais elevados para fábricas em alguns outros países e em todo o mundo para as fábricas abrangidas pelo modelo de carbono. Acredito que a redução média é de cerca de 70%.
Validação do modelo
Conforme discutido na seção Modelo de Carbono, a capacidade de modelar fábricas individuais pode ser usada para comparar as emissões calculadas pelo modelo com as emissões reais relatadas.
Na figura 6, os dados de emissões de locais da EPA de 4 locais representando 3 empresas e 15 fábricas no total foram somados e comparados com dados modelados para essas mesmas fábricas.
Figura 6. Validação de modelo com base em dados da EPA para unidades dos EUA.
Como pode ser visto na figura 6, a correspondência por categoria é excelente. Deve-se notar que a correspondência entre os 4 sites no total é melhor do que a correspondência entre sites individuais.
Os locais na figura 6 representam processos lógicos de 28 nm a 4 nm.
Na figura 7 o modelo é validado em relação às emissões totais de GEE por local, país ou empresa.
Figura 7. Validação do modelo em relação aos relatórios da empresa.
Na figura 7, Micron Singapore representa 3D NAND Fabs, Micron Japan e Taiwan são fábricas DRAM, TSMC Taiwan é fábricas lógicas, SK Hynix Company é fábricas 3D NAND e DRAM e Kioxia Yokkaichi é 3D NAND. Os dados relatados neste gráfico vêm de relatórios ESG da empresa.
Mais uma vez, a partida é excelente.
Resultados do modelo
A densidade do transistor lógico continua a aumentar, embora a uma taxa mais lenta no passado, isto é conseguido por processos cada vez mais complexos em termos de número de etapas do processo e camadas de máscara. A densidade de bits 3D NAND está aumentando, impulsionada pelo aumento da contagem de camadas, resultando em uma pilha de memória mais alta, exigindo mais produtos químicos de deposição e gravação. A densidade de bits DRAM também está aumentando, embora mais uma vez mais lentamente do que no passado, impulsionada pelo aumento das etapas do processo e das camadas de máscara.
A Figura 8 apresenta emissões modeladas para lógica, NAND 3D e DRAM por “nó”.
Figura 8. Emissões Modeladas.
Na figura 8, as emissões lógicas são apresentadas para processos lógicos do tipo TSMC executados em Taiwan com pegada de carbono elétrica em Taiwan em 2023 e eficiência de redução de 70%. Os valores 3D NAND e DRAM apresentados são para processos Samsung executados na Coreia do Sul com pegada de carbono elétrica na Coreia do Sul em 2023 e redução de 70%.
Pela lógica, o maior contribuinte são as emissões de carbono elétrico de escopo 2. Deve-se notar que Taiwan tem a maior pegada de carbono de eletricidade de qualquer país onde estão localizadas fábricas de ponta de 300 mm. Para NAND 3D, a crescente contagem de camadas/altura da pilha impulsiona o aumento do uso de produtos químicos de processo do escopo 1 e do uso elétrico do escopo 2. Para DRAM escopo 2, as emissões elétricas são a maior fonte de emissões de carbono até que um processo DRAM 3D projetado seja introduzido. O processo DRAM 3D tem uma pilha de memória muito alta que exige muita deposição e uso de produtos químicos de gravação.
Existem múltiplas oportunidades para reduzir drasticamente as emissões de carbono:
- As emissões elétricas de Escopo 2 podem ser reduzidas com a mudança para fontes de eletricidade com baixas emissões de carbono, como eólica, nuclear, hidrelétrica ou solar.
- Estão disponíveis sistemas de redução com eficiência de redução de até 99% [11].
- Os produtos químicos de processo com menor emissão de carbono podem substituir os produtos químicos existentes com maior emissão. Na conferência de tecnologia VLSI deste ano, a Tokyo Electron divulgou um gravador criogênico que pode gravar pilhas NAND 3D com produtos químicos não GEE e taxas de gravação mais altas. Além disso, a limpeza da câmara normalmente é feita com SF6 ou NF3 atuando como veículos de entrega de flúor. Ambos os gases têm valores elevados de GWP de GEE. No lugar de SF6 e NF3F2 com um GWP de 0 ou COF2 com um GWP de 1 pode ser substituído. Deve-se notar que mesmo que estes gases tenham 0 ou 1 para um GWP, eles podem combinar-se com outras espécies na câmara para produzir uma molécula de alto GWP.
A Figura 9 apresenta as emissões em 2030 com base em três cenários, cada um para um processo lógico de 10A, um processo NAND 1,000D de 3 camadas e um processo DRAM 80D de 3 camadas.
Figura 9. Pegada de Carbono 2030.
Em cada caso, o valor de 2023 pressupõe a pegada de carbono da eletricidade para 2023 e uma redução de 70% com os atuais processos químicos. O cenário provável para 2023 baseia-se nas pegadas de carbono da eletricidade projetadas para 2030 da figura 1, redução de 90% e um novo sistema/química de gravação de memória. Finalmente, 2030 – possível baseia-se em 24g de equivalente de CO2 por quilowatt-hora de electricidade (a energia solar é 48, a hidroeléctrica 24, a eólica e a nuclear são 12 [5]).
Conclusão
O modelo TechInsights Carbon foi desenvolvido com base no antigo modelo estratégico de custos e preços do IC Knowledge. O modelo de carbono permite uma comparação detalhada da fabricação de 300 mm para empresas de ponta. Fontes elétricas, combustão e produtos químicos de processo com utilização, redução e GWP são todos modelados. O modelo de carbono inclui extensos dados específicos da empresa. O modelo de carbono está atualmente disponível na TechInsights.
Referências
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] Banco de dados de relógios TechInsights 300 mm.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Emissões invisíveis: uma previsão das emissões da cadeia de fornecimento de tecnologia e do consumo de eletricidade até 2030”, Greenpeace.
[5] Bardon, et.al., “DTCO incluindo Sustentabilidade: Análise de pontuação de energia-desempenho-área-custo-ambiental (PPACE) para tecnologias lógicas”, IEDM (2020).
[6] Relatório anual ASML 2022, página 83.
[7] Smeets, et.al., “0.33 NA EUV sistemas para fabricação de alto volume”, SPIE (2022)
[8] TechInsights
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
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- PlatoHealth. Inteligência em Biotecnologia e Ensaios Clínicos. Acesse aqui.
- Fonte: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
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