Oxford Instruments leverer ALD-system til britisk mikro-LED-produsent

Oxford Instruments leverer ALD-system til britisk mikro-LED-produsent

Kilde node: 3082708

24 januar 2024

UK-baserte Oxford Instruments sier at utstyret for atomlagavsetning (ALD) har blitt installert hos en "prisvinnende britisk mikro-LED-leverandør" for å støtte de siste forbrukeroppslukende virkelighetsproduktene og skjermenheter. Systemet brukes til å deponere høy-K dielektriske ultratynne filmer for høy tetthet, svært høy lysstyrke, laveffekt og høy bildehastighet RGB-pikselmatriser for forbrukerenheter med utvidet, virtuell og blandet virkelighet og smart klokker.

Økningen i etterspørselen etter bærbare enheter med mindre formfaktor, med høyoppløsningsskjermer, gir næring til betydelig vekst i forskning for denne sektoren. Mikro-LED-er er i stand til å levere pitchstørrelser på <10 µm og muliggjør derfor miniatyrisering av forbrukerbare skjermenheter, samtidig som den opprettholder høy bildeoppløsning. Når tonehøydestørrelsen avtar, øker forholdet mellom omkrets og areal proporsjonalt, og skaden som introduseres under mesadannelsen og isolasjonstrinnet blir en ytelsesbegrensende faktor.

På den 14. internasjonale konferansen om nitride halvledere (ICNS 2023) i Fukuoka, Japan i midten av november, ble det gitt en rekke presentasjoner som fremhevet fordelene med plasma ALD for å motvirke skade. Plasma-ALD ble også vist å øke ekstern kvanteeffektivitet betydelig, med ALD beskrevet som kritisk for miniatyrlysemittere.

"Vår lavskade plasma ALD-teknologi får markedsfeste på vår 200 mm-kompatible plattform," sier Oxford Instruments' strategiske forretningsutviklingsdirektør Klaas Wisniewski. "Vår plasma ALD high-K passiveringsløsning er optimalisert for mindre dyser med mindre aktive områder, og ble i noen tilfeller vist av våre kunder hos ICNS å doble ekstern kvanteeffektivitet," legger han til. "Små-formfaktor høyytelses mikro-LED er en kritisk komponent i hodemonterte skjermer for virtuell virkelighet og andre avanserte enheter som smartklokker, og teknologien vår muliggjør noen av de mest ettertraktede og avanserte forbrukerenhetene."

Oxford Instruments deltar på SPIE Photonics West 2024-arrangementet i San Francisco (30. januar–1. februar), hvor det vil dele sine nyeste optoelektronikkprosesser for utvidet, virtuell og blandet virkelighet og kvante, samt dataoverføringsapplikasjoner for kunstig intelligens og maskin læring.

Se relaterte varer:

Oxford Instruments lanserer høyhastighets ALD-forskningssystem

Tags: OIPT

Besøk: plasma.oxinst.com

Tidstempel:

Mer fra Halvleder i dag