ダイヤモンドファウンドリが初の100mm単結晶ダイヤモンドウェーハを製造

ニュース： サプライヤー

２０２０年１１月１２日

米国カリフォルニア州サンフランシスコのDiamond Foundry Inc（DF）は、世界初の100mm単結晶ダイヤモンドウェーハを作成したと発表した。

DF チームのメンバーが 30 年前に始めた作業の集大成である最初のダイヤモンド ウェーハの作成には、スケーラブルな基板上の単結晶格子、大面積ダイヤモンド インゴットの成長、ダイヤモンド個片化技術、精密表面処理などの技術の開発が必要でした。

ウェーハサイズのダイヤモンドは存在しないため、DF は「すべてのダイヤモンドウェーハの母」を作成し、それを使用してさらに生産する必要がありました。同社は、スケーラブルな基板上に単結晶ダイヤモンドを作成するダイヤモンド ヘテロエピタキシーを採用し、それを他の技術と組み合わせることで、史上初のダイヤモンド単結晶ウェーハを作成しました。以前の模倣物はダイヤモンドの圧縮粉末の形で事実上存在していたが、その特性は単結晶に匹敵しなかった、と同社は付け加えた。

天然資源と比較すると、これまで地球上で採掘された最大のダイヤモンド原石（カリナン ダイヤモンド）の最大寸法は 5.89 cm で、DF のダイヤモンドよりも 4 cm 以上小さいです。

DF社は、次の目標はダイヤモンドウェーハの欠陥密度をさらに低減すること、つまりシリコンより17,200倍、炭化ケイ素より60倍優れているという教科書的な半導体性能指数を実現することであると述べている。

タグ： ダイヤモンド

参照してください。 www.DF.com

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• 情報源： https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/nov/diamond-foundry-061123.shtml