पहली बार, IEDM ने 2023 सम्मेलन में एक स्थिरता सत्र आयोजित किया। मैं उन लेखकों में से एक था जिन्होंने आमंत्रित पेपर प्रस्तुत किया था, निम्नलिखित मेरी प्रस्तुति का सारांश है।
कार्रवाई के लिए कॉल
संयुक्त राष्ट्र से [1]:
"जलवायु परिवर्तन हमारे समय का निर्णायक मुद्दा है, और हम एक निर्णायक क्षण में हैं।"
"आज कठोर कार्रवाई के बिना, भविष्य में इन प्रभावों को अपनाना अधिक कठिन और महंगा होगा।"
कुछ बुनियादी सुस्थापित वैज्ञानिक लिंक हैं:
- पृथ्वी के वायुमंडल में ग्रीनहाउस गैसों (जीएचजी) की सांद्रता सीधे पृथ्वी पर औसत वैश्विक तापमान से जुड़ी हुई है।
- औद्योगिक क्रांति के समय से, सांद्रता लगातार बढ़ रही है, और इसके साथ-साथ औसत वैश्विक तापमान भी बढ़ रहा है।
दो भाग की समस्या
हम जीएचजी उत्सर्जन को कम करने को दो-भागीय समस्या के रूप में देखते हैं:
- कार्बन उत्सर्जन को कम करने के लिए भविष्य की प्रक्रियाओं और प्रौद्योगिकियों को डिज़ाइन करें।
- लेकिन... हमें मौजूदा सुविधाओं और प्रक्रियाओं से कार्बन उत्सर्जन को भी कम करने की आवश्यकता है।
भविष्य की प्रक्रिया चुनौतियों और मौजूदा प्रक्रियाओं/सुविधाओं को कैसे संबोधित किया जाए, दोनों को समझने के लिए कार्बन उत्सर्जन के विस्तृत मॉडलिंग की आवश्यकता है।
कार्बन मॉडल
यहां वर्णित कार्बन मॉडल पूर्व आईसी ज्ञान रणनीतिक लागत और मूल्य मॉडल पर आधारित है जिसका 2010 से उद्योग में व्यापक रूप से उपयोग किया गया है। इस बिंदु पर रणनीतिक मॉडल की अच्छी तरह से जांच की गई है। TechInsights ने नवंबर 2022 में IC नॉलेज हासिल किया।
रणनीतिक मॉडल - भविष्य की प्रक्रियाओं के लिए 3 मिमी पर शुरुआती प्रक्रियाओं के कवरेज के साथ 300डी नंद, डीआरएएम और लॉजिक मॉडल। वर्तमान में मॉडल 167 - 300 मिमी फैब और 220 कंपनी विशिष्ट प्रक्रिया प्रवाह को कवर करता है।
मॉडल बिजली, पानी और प्राकृतिक गैस आवश्यकताओं के साथ विस्तृत उपकरण सेट की गणना करता है। सामग्री प्रकार के आधार पर विस्तृत सामग्री खपत की भी गणना की जाती है।
मॉडल फैब आधारित है! जब अंशांकन और सत्यापन की बात आती है तो यह एक महत्वपूर्ण बिंदु है। विभिन्न प्रकार के जीएचजी उत्सर्जन डेटा उपलब्ध हैं, कुछ मामलों में कंपनी फैब साइट द्वारा, कुछ मामलों में एक कंपनी के लिए देश के अनुसार, और कुछ मामलों में पूरी कंपनी के लिए। किसी साइट को बनाने वाले फैब, या किसी कंपनी के किसी देश में मौजूद सभी फैब, या किसी कंपनी के सभी फैब को मॉडल करने की क्षमता अंशांकन और सत्यापन को सक्षम बनाती है।
कार्बन मॉडल वर्तमान में केवल 300 मिमी है, हालांकि हम अतिरिक्त वेफर आकार जोड़ने की जांच कर रहे हैं। SEMI के अनुसार - 300 मिमी 70 में दुनिया भर में भेजे गए लाखों वर्ग इंच सिलिकॉन का लगभग 2023% प्रतिनिधित्व करता है।
कार्बन मॉडल में शामिल हैं: ग्लोबलफाउंड्रीज, इंटेल, कियॉक्सिया, माइक्रोन टेक्नोलॉजी, एसके हाइनिक्स, सैमसंग, टीएसएमसी और वाईएमटीसी। ये आठ कंपनियां दुनिया भर में 77 मिमी वेफर फैब क्षमता का लगभग 300% प्रतिनिधित्व करती हैं [2]। हम मॉडल कवरेज को सभी 300 मिमी फैब्स तक विस्तारित करने की जांच कर रहे हैं।
जीएचजी उत्सर्जन के संदर्भ में कार्बन मॉडल जीवाश्म ईंधन और प्रक्रिया रसायनों के ऑन-साइट दहन से स्कोप 1 उत्सर्जन और खरीदी गई बिजली से स्कोप 2 उत्सर्जन को कवर करता है (कुछ मामलों में बिजली साइट पर उत्पन्न होती है जो स्कोप 1 उत्सर्जन बन जाती है)।
विद्युत मॉडलिंग
कुछ सेमीकंडक्टर कंपनियाँ दावा कर रही हैं कि उनके पास कोई स्कोप 2 विद्युत उत्सर्जन नहीं है क्योंकि वे "100% नवीकरणीय ऊर्जा" का उपयोग कर रहे हैं। इसके साथ दो मुश्किलें हैं।
- नवीकरणीय ऊर्जा में बायोमास जलाना शामिल है जिसे नवीकरणीय माना जाता है लेकिन यह कार्बन मुक्त नहीं है। यह उन देशों में बिजली उत्पादन का एक महत्वपूर्ण हिस्सा नहीं है जिनमें हम इस समय रुचि रखते हैं, लेकिन 2015 में आयरलैंड अपनी बिजली आपूर्ति का 12% से अधिक पीट जलाने से पैदा करता था [3]।
- इससे भी बड़ी समस्या यह है कि ग्रीनपीस के अनुसार, 2021 में, सेमीकंडक्टर उद्योग में "नवीकरणीय ऊर्जा" का 84% नवीकरणीय ऊर्जा प्रमाणपत्र (आरईसी) [4] से था। आरईसी वित्तीय उपकरण हैं जो मौजूदा नवीकरणीय ऊर्जा परियोजनाओं का प्रतिनिधित्व करते हैं। आरईसी की खरीद से ग्रिड में कोई नई नवीकरणीय ऊर्जा नहीं जुड़ती है। इस कारण से, आरईसी नवीकरणीय ऊर्जा खरीद के सबसे कम प्रभावशाली रूपों में से एक है।
आरईसी पर विचार न करना और विद्युत आपूर्ति की कार्बन तीव्रता के आधार पर कार्बन उत्सर्जन का मॉडल बनाना TechInsights की मॉडलिंग नीति है। यह यूएस आधारित फ़ैब्स को छोड़कर देश के अनुसार अनुमानित है जहां हम इसका अनुमान राज्य के आधार पर लगाते हैं। यदि हम इसकी पहचान कर सकते हैं तो हम कार्बन मुक्त बिजली का हिसाब रखते हैं यदि यह ऑन-साइट या खरीद बिजली समझौते के माध्यम से उत्पन्न होती है। यह हमारे लिए निरंतर अनुसंधान का क्षेत्र है।
हम अपने मॉडलिंग में जिस देश का अतीत, वर्तमान और अनुमानित कार्बन तीव्रता का उपयोग करते हैं उसे चित्र 1 में दर्शाया गया है।
चित्र 1. देश के अनुसार बिजली की कार्बन तीव्रता।
ठोस रेखाएँ डेटा में हमारी दुनिया से हैं और बिंदीदार रेखा प्रक्षेपण उस क्षेत्र द्वारा आईईए प्रक्षेपण को लागू करने से हैं जो अब उनकी वेब साइट पर उपलब्ध नहीं है।
कार्बन की तीव्रता को लागू करने के लिए, हमें पहले फैब द्वारा उपयोग की जाने वाली बिजली की मात्रा का अनुमान लगाना होगा। क्योंकि कार्बन मॉडल विस्तृत उपकरण सेट मॉडलिंग करता है, हम उपकरण के टुकड़े द्वारा विद्युत उपयोग लागू करके शुरू करते हैं [5], [6], [7], [8]। थ्रूपुट और इसलिए विद्युत उपयोग पर खुराक के बड़े प्रभाव के कारण ईयूवी उपकरण पर विशेष ध्यान दिया जाता है। सुविधा विद्युत उपयोग का अनुमान प्रक्रिया और सुविधा विशेषताओं के आधार पर लगाया जाता है। चित्र 2 तर्क नोड द्वारा बिजली के उपयोग को दर्शाता है।
चित्र 2. लॉजिक नोड द्वारा बिजली का उपयोग।
चित्र 2 में ग्रे बार सुविधा विद्युत उपयोग हैं, नीली बार उपकरण इलेक्ट्रिक उपयोग हैं जिनमें ईयूवी शामिल नहीं है, नारंगी बार 0.33NA ईयूवी सिस्टम हैं और पीले-नारंगी बार 0.55NA (उच्च NA) ईयूवी सिस्टम इलेक्ट्रिक उपयोग हैं। बिंदीदार रेखा उपकरण के कारण होने वाले विद्युत उपयोग का प्रतिशत है।
इस चित्र के तीन दिलचस्प पहलू हैं जिन पर मैं प्रकाश डालना चाहता हूँ:
- चित्र 2 में तर्क नोड्स टीएसएमसी पर आधारित हैं। 7nm पर TSMC ने एक ऑप्टिकल आधारित प्रक्रिया (7nm) और फिर एक EUV आधारित प्रक्रिया (7nm+) पेश की। भले ही ईयूवी उपकरण डीयूवी सिस्टम की तुलना में काफी अधिक बिजली का उपयोग करता है, ईयूवी जटिल मल्टी-पैटर्निंग चरणों को एकल एक्सपोज़र से बदल देता है और परिणामस्वरूप बिजली के उपयोग में शुद्ध कमी आती है।
- 14ए नोड पर हमने 0.33एनए ईयूवी की तुलना की जिसके लिए 14ए+ के लिए ईयूवी मल्टीपैटर्निंग की आवश्यकता होगी, उच्च एनए ईयूवी के साथ मल्टी-पैटर्निंग समाप्त हो जाएगी और एक बार फिर बिजली के उपयोग में शुद्ध कमी आएगी।
- बिंदीदार रेखा से पता चलता है कि 130nm से 40nm तक उपकरण SEMATECH अध्ययन के अनुरूप कुल विद्युत उपयोग का लगभग 43% प्रतिनिधित्व करता है। ईयूवी के उपयोग में आने से पहले हमने पाया कि उपकरण 40% से 50% के बीच प्रतिनिधित्व करते थे और फिर एक बार ईयूवी के उपयोग में आने के बाद उपकरण कुल बिजली खपत का 50% से 55% के बीच प्रतिनिधित्व करते थे।
हमने अपने मॉडल किए गए बिजली उपयोग की तुलना दो कंपनियों - कंपनीव्यापी (जीएफ और एसके हाइनिक्स), ताइवान के लिए टीएसएमसी, और 4 साइटों के लिए इंटेल के बिजली उपयोग डेटा से की है और इंटेल ओरेगॉन को छोड़कर मैच उत्कृष्ट है जहां हमारा मानना है कि हम साइट गतिविधि को कम आंक रहे हैं। स्तर। इंटेल ओरेगॉन एक विकास साइट है और हमें हाल ही में नया डेटा प्राप्त हुआ है जो इन गणनाओं में उपयोग की गई तुलना में वहां अधिक गतिविधि के अनुरूप है। कुल मिलाकर, यह हमें गणना में विश्वास दिलाता है।
दहन
जीवाश्म ईंधन का ऑन-साइट दहन पाँच अनुप्रयोगों के लिए होता है:
- ऑन-साइट विद्युत उत्पादन (कुछ फैब प्राकृतिक गैस के साथ ऐसा करते हैं)।
- सुविधा ताप.
- रिवर्स ऑस्मोसिस से पहले पानी को पहले से गर्म कर लें। अल्ट्राप्योर जल उत्पादन में रिवर्स ऑस्मोसिस एक महत्वपूर्ण कदम है और अगर पानी गर्म है तो रिवर्स ऑस्मोसिस से अस्वीकृत पानी की तुलना में अच्छे पानी का प्रतिशत अधिक होता है।
- कुछ उपशमन प्रणालियाँ - कुछ प्रणालियों में प्राकृतिक गैस का उपयोग पेरफ़्लुओरिनेटेड यौगिकों को जलाकर उन्हें नष्ट करने के लिए किया जाता है।
- मेकअप हवा को गर्म करें और दोबारा गर्म करें। वेफर फैब्स में उपकरण से रासायनिक धुएं को हटाने के लिए निकास हवा होती है और निकास हवा को "बनाने" के लिए हवा को सुविधा के बाहर से लाया जाना चाहिए। ठंड के मौसम में स्थैतिक नियंत्रण और फोटोरेसिस्ट प्रदर्शन के लिए हवा को कमरे के तापमान तक गर्म किया जाना चाहिए और आर्द्र किया जाना चाहिए। गर्म मौसम के दौरान हवा को नम करने के लिए मेकअप हवा को कमरे के तापमान से नीचे ठंडा किया जाता है और फिर कमरे के तापमान पर दोबारा गर्म किया जाता है।
प्रक्रिया रसायन
चित्र 3 प्रक्रिया उपकरण के माध्यम से और वायुमंडल में समतुल्य कार्बन मूल्यों में रूपांतरण के साथ प्रक्रिया गैसों के प्रवाह को दर्शाता है।
चित्र 3. प्रक्रिया रासायनिक उत्सर्जन।
चित्र 3 से:
- प्रक्रिया रसायन प्रक्रिया कक्ष में प्रवेश करते हैं जहां कुछ प्रतिशत का उपयोग या तो एक नक़्क़ाशी प्रतिक्रिया में अलग होकर या एक जमाव प्रतिक्रिया में एक फिल्म का हिस्सा बनकर किया जाता है। प्रारंभिक इनपुट मात्रा को 1-उपयोग से गुणा करने पर निकास में प्रक्रिया रसायनों की मात्रा प्राप्त होती है।
- प्रक्रिया कक्ष निकास एक उपशमन प्रणाली में प्रवेश कर सकता है जहां प्रक्रिया रसायन का कुछ हिस्सा या तो गैर ग्रीनहाउस गैस रसायनों में टूट जाता है या किसी माध्यम में अवशोषित हो जाता है। एबेटमेंट सिस्टम से बाहर निकलने वाले रसायनों को चैम्बर निकास से 1-एबेटमेंट से गुणा किया गया इनपुट है।
- अंत में, प्रक्रिया रसायन को कार्बन डाइऑक्साइड समकक्षों में परिवर्तित करने के लिए ग्लोबल वार्मिंग पोटेंशियल (जीडब्ल्यूपी) लागू किया जाता है। मूल रूप से, रसायन का जीवनकाल और रसायन कितनी गर्मी को वापस परावर्तित करता है, इसे एक ग्राम रसायन के प्रभाव की तुलना एक ग्राम कार्बन डाइऑक्साइड से करने के लिए किया जाता है।
चित्र 4 वेफर फैब के लिए रुचि के रसायनों के उपयोग, कमी और जीडब्ल्यूपी मूल्यों को प्रस्तुत करता है।
चित्र 4. प्रक्रिया रासायनिक उत्सर्जन कारक।
चित्र 4 में उपयोग और कमी कारक मुख्य रूप से आईपीसीसी 2019 शोधन [9] से आते हैं। GWP मान मुख्य रूप से IPCC AR5 [10] से हैं।
चित्र 4 में समग्र प्रभाव स्तंभ 1-उपयोग मान को GWP द्वारा गुणा किए गए 1-निवारक मान से गुणा किया गया है। यह किसी रसायन के प्रभाव की समग्र तस्वीर देता है। जिन रसायनों का समग्र प्रभाव अधिक होता है, वे आम तौर पर उच्च GWP मान वाले होते हैं, हालाँकि N2अपेक्षाकृत कम GWP के बावजूद O का प्रभाव अपेक्षाकृत अधिक है। अधिकांश एन2O का उपयोग बहुत कम उपयोग के साथ कम तापमान ऑक्साइड-आधारित फिल्म जमाव के लिए किया जाता है [8] और कमी भी अपेक्षाकृत कम है।
दिलचस्प बात यह है कि हालांकि आईपीसीसी कमी का मूल्य आम तौर पर नब्बे प्रतिशत से अधिक है, संयुक्त राज्य अमेरिका में बड़े ग्रीनहाउस गैस उत्सर्जकों को ईपीए को अपनी कमी क्षमता की रिपोर्ट करनी होगी और रिपोर्ट की गई कमी के मूल्य बहुत कम हैं। चित्र 5 कार्बन मॉडल में शामिल अमेरिका में फैब्स साइटों के लिए रिपोर्ट की गई कमी दक्षता को दर्शाता है।
चित्र 5. यूएस आधारित लीडिंग एज 300 मिमी फैब्स के लिए रिपोर्ट किए गए कमी मूल्य।
यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि ईपीए रिपोर्टिंग नियमों के परिणामस्वरूप रिपोर्ट किए गए कमी मूल्य हो सकते हैं जो वास्तविक कमी से कम हैं, लेकिन मैं यह भी नोट करूंगा कि जब हम रिपोर्ट किए गए कमी मूल्यों का उपयोग करके इन फैबों को मॉडल करते हैं तो हमें उत्सर्जन के लिए वे जो रिपोर्ट करते हैं उसके अनुरूप उत्सर्जन मिलता है, इसलिए मुझे नहीं लगता कि छूट के मूल्य बहुत दूर हैं। मैं यह भी नोट करूंगा कि मेरा मानना है कि कुछ अन्य देशों में फैब के लिए कमी मूल्य अधिक हैं और दुनिया भर में कार्बन मॉडल में शामिल फैब के लिए मेरा मानना है कि औसत कमी लगभग 70% है।
मॉडल सत्यापन
जैसा कि कार्बन मॉडल अनुभाग में चर्चा की गई थी, व्यक्तिगत फैब्स को मॉडल करने की क्षमता का उपयोग मॉडल की गणना किए गए उत्सर्जन की तुलना वास्तविक रिपोर्ट किए गए उत्सर्जन से करने के लिए किया जा सकता है।
चित्र 6 में 4 कंपनियों और 3 कुल फैबों का प्रतिनिधित्व करने वाली 15 साइटों से ईपीए साइट उत्सर्जन डेटा को एक साथ जोड़ा गया था और उन्हीं फैबों के लिए मॉडल किए गए डेटा की तुलना की गई थी।
चित्र 6. यूएस साइटों के लिए ईपीए डेटा पर आधारित मॉडल सत्यापन।
जैसा कि चित्र 6 से देखा जा सकता है, श्रेणी के अनुसार मैच उत्कृष्ट है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि कुल मिलाकर 4 साइटों का मिलान व्यक्तिगत साइट के मिलान से बेहतर है।
चित्र 6 में दी गई साइटें 28nm से 4nm तक की तर्क प्रक्रियाओं का प्रतिनिधित्व करती हैं।
चित्र 7 में मॉडल को साइट, देश या कंपनी द्वारा कुल जीएचजी उत्सर्जन के विरुद्ध मान्य किया गया है।
चित्र 7. कंपनी रिपोर्टों के विरुद्ध मॉडल सत्यापन।
चित्र 7 में, माइक्रोन सिंगापुर 3डी नंद फैब्स का प्रतिनिधित्व करता है, माइक्रोन जापान और ताइवान डीआरएएम फैब्स हैं, टीएसएमसी ताइवान लॉजिक फैब्स है, एसके हाइनिक्स कंपनी 3डी नंद और डीआरएएम फैब्स है, और कियॉक्सिया योक्काइची 3डी नंद है। इस प्लॉट में रिपोर्ट किया गया डेटा कंपनी ईएसजी रिपोर्ट से आया है।
एक बार फिर मैच बेहतरीन है.
मॉडल परिणाम
लॉजिक ट्रांजिस्टर घनत्व में वृद्धि जारी है, हालांकि अतीत में धीमी दर पर, यह प्रक्रिया चरणों और मुखौटा परतों की संख्या के संदर्भ में बढ़ती जटिल प्रक्रियाओं द्वारा प्राप्त किया गया है। परतों की बढ़ती संख्या के कारण 3D NAND बिट घनत्व बढ़ रहा है, जिसके परिणामस्वरूप मेमोरी स्टैक लंबा हो गया है, जिसके लिए अधिक जमाव और नक़्क़ाशी रसायनों की आवश्यकता होती है। DRAM बिट घनत्व भी बढ़ रहा है, हालांकि प्रक्रिया चरणों और मास्क परतों में वृद्धि के कारण एक बार फिर यह अतीत की तुलना में अधिक धीरे-धीरे बढ़ रहा है।
चित्र 8 "नोड" द्वारा तर्क, 3D NAND और DRAM के लिए मॉडल किए गए उत्सर्जन को प्रस्तुत करता है।
चित्र 8. प्रतिरूपित उत्सर्जन।
चित्र 8 में, 2023 ताइवान इलेक्ट्रिक कार्बन फ़ुटप्रिंट और 70% कमी दक्षता के साथ ताइवान में चलने वाली टीएसएमसी प्रकार की लॉजिक प्रक्रियाओं के लिए लॉजिक उत्सर्जन प्रस्तुत किया गया है। प्रस्तुत 3D NAND और DRAM मान दक्षिण कोरिया में 2023 दक्षिण कोरिया इलेक्ट्रिक कार्बन फ़ुटप्रिंट और 70% कमी के साथ चलने वाली सैमसंग प्रक्रियाओं के लिए हैं।
तर्क के लिए सबसे बड़ा योगदानकर्ता स्कोप 2 इलेक्ट्रिक कार्बन उत्सर्जन है, यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि ताइवान में किसी भी देश की तुलना में उच्चतम कार्बन फुटप्रिंट बिजली है जहां अग्रणी किनारे 300 मिमी फैब्स स्थित हैं। 3D NAND के लिए परत संख्या/स्टैक की ऊंचाई बढ़ने से स्कोप 1 प्रोसेस केमिकल और स्कोप 2 इलेक्ट्रिक उपयोग में वृद्धि होती है। DRAM स्कोप 2 के लिए विद्युत उत्सर्जन कार्बन उत्सर्जन का सबसे बड़ा स्रोत है जब तक कि अनुमानित 3D DRAM प्रक्रिया शुरू नहीं हो जाती। 3डी डीआरएएम प्रक्रिया में बहुत लंबा मेमोरी स्टैक होता है जिसके लिए बहुत अधिक जमाव और ईच रासायनिक उपयोग की आवश्यकता होती है।
कार्बन उत्सर्जन को नाटकीय रूप से कम करने के कई अवसर हैं:
- पवन, परमाणु, पनबिजली या सौर ऊर्जा जैसे कम कार्बन उत्सर्जन वाले बिजली स्रोतों पर स्विच करके स्कोप 2 विद्युत उत्सर्जन को कम किया जा सकता है।
- 99% तक की कमी दक्षता वाली कमी प्रणालियाँ उपलब्ध हैं [11]।
- निम्न कार्बन उत्सर्जन प्रक्रिया रसायन विज्ञान को मौजूदा उच्च उत्सर्जन रसायन विज्ञान से प्रतिस्थापित किया जा सकता है। इस साल वीएलएसआई प्रौद्योगिकी सम्मेलन में टोक्यो इलेक्ट्रॉन ने एक क्रायोजेनिक एचर का खुलासा किया जो गैर जीएचजी रसायन विज्ञान और उच्च ईच दर के साथ 3 डी नंद स्टैक को खोद सकता है। इसके अलावा, चैम्बर की सफाई आमतौर पर एसएफ के साथ की जाती है6 या एनएफ3 फ्लोरीन वितरण वाहन के रूप में कार्य करना। दोनों गैसों में उच्च GHG GWP मान हैं। एसएफ के स्थान पर6 और एनएफ3, एफ2 0 या COF के GWP के साथ2 1 के GWP के साथ प्रतिस्थापित किया जा सकता है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि भले ही इन गैसों में GWP के लिए 0 या 1 है, फिर भी वे उच्च GWP अणु का उत्पादन करने के लिए कक्ष में अन्य प्रजातियों के साथ संयोजन कर सकते हैं।
चित्र 9 2030ए लॉजिक प्रक्रिया, 10 परत 1,000डी नंद प्रक्रिया और 3 परत 80डी डीआरएएम प्रक्रिया के लिए तीन परिदृश्यों के आधार पर 3 में उत्सर्जन प्रस्तुत करता है।
चित्र 9. कार्बन पदचिह्न 2030।
प्रत्येक मामले में 2023 का मान 2023 बिजली कार्बन फ़ुटप्रिंट और वर्तमान प्रक्रिया रसायन विज्ञान के साथ 70% कमी मान रहा है। 2023 - संभावित परिदृश्य चित्र 2030 से अनुमानित 1 बिजली कार्बन फ़ुटप्रिंट, 90% कमी और एक नई मेमोरी ईच प्रणाली/रसायन विज्ञान पर आधारित है। अंत में, 2030 - संभव 24 ग्राम CO2 समतुल्य प्रति किलोवाट घंटा बिजली (सौर 48, हाइड्रो 24, पवन और परमाणु 12 [5]) पर आधारित है।
निष्कर्ष
TechInsights कार्बन मॉडल को पूर्व IC नॉलेज स्ट्रैटेजिक कॉस्ट और प्राइस मॉडल के आधार पर विकसित किया गया है। कार्बन मॉडल अग्रणी कंपनियों के लिए 300 मिमी निर्माण की विस्तृत तुलना करने में सक्षम बनाता है। विद्युत स्रोत, दहन, और उपयोग, कमी और जीडब्ल्यूपी के साथ प्रक्रिया रसायन सभी मॉडल किए गए हैं। कार्बन मॉडल में व्यापक कंपनी विशिष्ट डेटा शामिल है। कार्बन मॉडल वर्तमान में TechInsights पर उपलब्ध है।
संदर्भ
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] TechInsights 300 मिमी वॉच डेटाबेस।
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] अदृश्य उत्सर्जन: 2030 तक तकनीकी आपूर्ति श्रृंखला उत्सर्जन और बिजली की खपत का पूर्वानुमान," ग्रीनपीस।
[5] बार्डन, और अन्य, "स्थिरता सहित डीटीसीओ: लॉजिक टेक्नोलॉजीज के लिए पावर-परफॉर्मेंस-एरिया-कॉस्ट-एनवायरनमेंटल स्कोर (पीपीएसीई) विश्लेषण," आईईडीएम (2020)।
[6] एएसएमएल 2022 वार्षिक रिपोर्ट, पृष्ठ 83।
[7] स्मेट्स, एट अल., "हाई वॉल्यूम मैन्युफैक्चरिंग के लिए 0.33 एनए ईयूवी सिस्टम," एसपीआईई (2022)
[8] टेकइनसाइट्स
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
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- स्रोत: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :हैस
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