IEDM piti ensimmäistä kertaa kestävän kehityksen istunnon vuoden 2023 konferenssissa. Olin yksi kirjoittajista, jotka esittivät kutsutun esitelmän, seuraava on tiivistelmä esityksestäni.
Soita Toiminta
Yhdistyneistä Kansakunnista [1]:
"Ilmastonmuutos on aikamme ratkaiseva kysymys, ja olemme ratkaisevalla hetkellä."
"Ilman radikaaleja toimia tänään, näihin vaikutuksiin sopeutuminen on tulevaisuudessa vaikeampaa ja kalliimpaa."
On olemassa joitain vakiintuneita tieteellisiä peruslinkkejä:
- Kasvihuonekaasujen (GHG) pitoisuus maapallon ilmakehässä on suoraan yhteydessä maapallon keskilämpötilaan.
- Pitoisuus on noussut tasaisesti ja sen mukana myös maapallon keskilämpötilat teollisen vallankumouksen ajoista lähtien.
Kaksiosainen ongelma
Näemme kasvihuonekaasupäästöjen vähentämisen kaksiosaisena ongelmana:
- Suunnittele tulevaisuuden prosesseja ja teknologioita hiilidioksidipäästöjen vähentämiseksi.
- Mutta… meidän on myös vähennettävä olemassa olevien laitosten ja prosessien hiilidioksidipäästöjä.
Hiilipäästöjen yksityiskohtaista mallintamista tarvitaan sekä tulevien prosessihaasteiden ymmärtämiseksi että olemassa olevien prosessien/laitosten käsittelemiseksi.
Hiilimalli
Tässä kuvattu hiilimalli perustuu entiseen IC Knowledge Strategic Cost and Price -malliin, jota on käytetty alalla laajalti vuodesta 2010 lähtien. Strateginen malli on tässä vaiheessa hyvin tarkastettu. TechInsights hankki IC Knowledgen marraskuussa 2022.
Strateginen malli – mallit 3D NAND, DRAM ja Logic kattaen varhaisimmat prosessit 300 mm tuleviin prosesseihin. Tällä hetkellä malli kattaa 167 – 300 mm:n tehtaat ja 220 yrityskohtaista prosessivirtaa.
Malli laskee yksityiskohtaiset laitesarjat sähkö-, vesi- ja maakaasutarpeilla. Lasketaan myös yksityiskohtaiset materiaalikulut materiaalityypeittäin.
Malli on upea! Tämä on keskeinen asia kalibroinnissa ja validoinnissa. Saatavilla on monenlaisia kasvihuonekaasupäästötietoja, joissakin tapauksissa yrityksen tehdasalueittain, joissakin tapauksissa yrityksen maakohtaisesti ja joissakin tapauksissa koko yrityksen osalta. Mahdollisuus mallintaa toimipaikan muodostavia tehtaita tai kaikkia yrityksellä olevia tehtaita jossakin maassa tai kaikkia yrityksen tehtaita mahdollistaa kalibroinnin ja validoinnin.
Hiilimalli on tällä hetkellä vain 300 mm, vaikka tutkimme lisää kiekkokokoja. SEMI:n mukaan 300 mm edustaa noin 70 prosenttia maailmanlaajuisesti vuonna 2023 toimitetuista miljoonista neliötuumista piistä.
Hiilimalli kattaa: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC ja YMTC. Nämä kahdeksan yritystä edustavat noin 77 prosenttia maailmanlaajuisesta 300 mm:n kiekkojen tuotantokapasiteetista [2]. Tutkimme mallin kattavuuden laajentamista kaikkiin 300 mm:n kankaisiin.
Kasvihuonekaasupäästöjen osalta hiilimalli kattaa soveltamisalan 1 päästöt fossiilisten polttoaineiden ja prosessikemikaalien paikan päällä polttamisesta sekä ostetun sähkön päästöt 2 (joissakin tapauksissa sähköä tuotetaan paikan päällä, jolloin siitä tulee soveltamisala 1 päästö).
Sähkön mallinnus
Jotkut puolijohdeyritykset väittävät, että niillä ei ole kauko 2 -sähköpäästöjä, koska ne käyttävät "100 % uusiutuvaa energiaa". Tähän liittyy kaksi ongelmaa.
- Uusiutuvaan energiaan kuuluu biomassan polttaminen, joka uusiutuvana ei ole hiilivapaata. Tämä ei ole tällä hetkellä merkittävä osa sähköntuotannosta meitä kiinnostavissa maissa, mutta vuonna 2015 Irlanti tuottaa >12 % sähköstään polttamalla turvetta [3].
- Paljon suurempi ongelma on se, että Greenpeacen mukaan vuonna 2021 puolijohdeteollisuuden uusiutuvasta energiasta 84 prosenttia oli peräisin Renewable Energy Certificateista (REC) [4]. REC:t ovat rahoitusinstrumentteja, jotka edustavat olemassa olevia uusiutuvan energian hankkeita. REC:iden osto ei lisää verkkoon uutta uusiutuvaa energiaa. Tästä syystä REC:t ovat yksi vähiten vaikuttavista uusiutuvan energian hankintamuodoista.
TechInsightsin mallinnuspolitiikkana on olla ottamatta huomioon REC:itä ja mallintaa hiilidioksidipäästöjä sähkönsyötön hiili-intensiteetin perusteella. Tämä on arvioitu maittain paitsi Yhdysvalloissa sijaitsevien tehtaiden osalta, joissa arvioimme sen osavaltioittain. Otamme huomioon hiilivapaan sähkön, jos se on tuotettu paikan päällä tai ostovoimasopimuksella, jos voimme tunnistaa sen. Se on meille jatkuvan tutkimuksen ala.
Aiempi, nykyinen ja ennustettu hiili-intensiteetti maittain, jota käytämme mallintamisessamme, on esitetty kuvassa 1.
Kuva 1. Sähkön hiili-intensiteetti maittain.
Kiinteät viivat ovat peräisin Our World in Datasta, ja katkoviivaprojektiot ovat peräisin IEA:n aluekohtaisesta projektiosta, joka ei ole enää saatavilla heidän verkkosivuillaan.
Hiili-intensiteetin soveltamiseksi meidän on ensin arvioitava tehtaan käyttämä sähkön määrä. Koska hiilimalli tekee yksityiskohtaisen laitejoukkomallinnuksen, aloitamme soveltamalla sähkön käyttöä laitteistokohtaisesti [5],[6],[7], [8]. EUV-laitteet saavat erityistä huomiota, koska annoksella on suuri vaikutus tehoon ja siten sähkön käyttöön. Kiinteistön sähkönkäyttö on arvioitu prosessin ja laitoksen ominaisuuksien perusteella. Kuvassa 2 on esitetty sähkönkäyttö logiikkasolmuittain.
Kuva 2. Logiikkasolmun sähkönkäyttö.
Kuvassa 2 harmaat palkit ovat laitoksen sähkönkäyttöä, siniset palkit osoittavat laitteiden sähkönkäyttöä ilman EUV:tä, oranssit palkit ovat 0.33NA EUV-järjestelmiä ja kelta-oranssit palkit ovat 0.55 NA (korkea NA) EUV-järjestelmän sähkönkäyttöä. Pisteviiva on laitteiden aiheuttama sähkönkulutuksen prosenttiosuus.
Kuvassa on kolme mielenkiintoista näkökohtaa, jotka haluan korostaa:
- Kuvan 2 logiikkasolmut perustuvat TSMC:hen. Aallonpituudella 7 nm TSMC otti käyttöön optiseen perustuvan prosessin (7 nm) ja sitten EUV-pohjaisen prosessin (7 nm+). Vaikka EUV-laitteet kuluttavat huomattavasti enemmän sähköä kuin DUV-järjestelmät, EUV korvaa monimutkaiset monikuviointivaiheet yhdellä valotuksella ja johtaa nettovähennykseen sähkönkulutuksessa.
- 14A solmussa verrattiin EUV-monikuviointia vaativaa 0.33NA EUV:tä 14A+:aan High NA EUV:hen, joka eliminoi monikuvioinnin, ja jälleen kerran sähkönkulutus pienenee.
- Katkoviiva osoittaa, että 130 nm - 40 nm laitteet edustivat noin 43 % sähkön kokonaiskulutuksesta SEMATECH-tutkimuksen mukaisesti. Ennen EUV:n käyttöönottoa havaitsimme, että laitteiden osuus sähkön kokonaiskulutuksesta oli 40–50 % ja sitten EUV:n käyttöönoton jälkeen 50–55 %.
Olemme vertailleet mallinnettua sähkönkäyttöämme kahden yrityksen sähkönkäyttötietoihin – koko yrityksen (GF ja SK Hynix), TSMC:n Taiwanissa ja Intelin neljässä toimipaikassa, ja vastaavuus on erinomainen Intel Oregonia lukuun ottamatta, jossa uskomme aliarvioivamme toimipaikan toimintaa. taso. Intel Oregon on kehityssivusto, ja olemme äskettäin saaneet uusia tietoja, jotka vastaavat enemmän toimintaa kuin näissä laskelmissa käytimme. Kaiken kaikkiaan se antaa meille luottamusta laskelmaan.
palaminen
Fossiilisten polttoaineiden poltto paikan päällä on tarkoitettu viiteen käyttötarkoitukseen:
- Paikan päällä tapahtuva sähköntuotanto (muutamat tehtaat tekevät tämän maakaasulla).
- Tilan lämpö.
- Esilämmitä vesi ennen käänteisosmoosia. Käänteisosmoosi on avainvaihe ultrapuhtaan veden tuotannossa, ja hyvän veden prosenttiosuus käänteisosmoosista peräisin olevaan rejektiveteen on suurempi, jos vesi on lämmintä.
- Jotkut torjuntajärjestelmät – joissakin järjestelmissä käytetään maakaasua perfluorattujen yhdisteiden polttamiseen niiden tuhoamiseksi.
- Meikkiilman lämmitys ja lämmitys. Kiekkokankaissa on poistoilma kemiallisten höyryjen poistamiseksi laitteista ja ilma on tuotava sisään laitoksen ulkopuolelta poistoilman "korjaamiseksi". Kylmällä säällä ilma on lämmitettävä huoneenlämpöiseksi ja kostutettava staattisen hallinnan ja valonkestävyyden varmistamiseksi. Kuumalla säällä meikkiilma jäähdytetään huoneenlämpötilan alapuolelle ilman kosteuden poistamiseksi ja lämmitetään sitten uudelleen huoneenlämpötilaan.
Prosessikemikaalit
Kuvassa 3 on havainnollistettu prosessikaasujen virtausta prosessilaitteiston läpi ja ilmakehään muunnettuina ekvivalentteiksi hiiliarvoiksi.
Kuva 3. Prosessin kemialliset päästöt.
Kuvasta 3:
- Prosessikemikaalit tulevat prosessikammioon, jossa jotkin prosenttiosuudet hyödynnetään joko hajoamalla etsausreaktiossa tai muuttumalla osaksi kalvoa kerrostusreaktiossa. Alkuperäinen syöttötilavuus kerrottuna 1-käytöllä on pakokaasussa olevien prosessikemikaalien määrä.
- Prosessikammion pakokaasu voi päästä torjuntajärjestelmään, jossa osa prosessikemikaalista joko hajoaa ei-kasvihuonekaasukemikaaleiksi tai imeytyy johonkin väliaineeseen. Puhdistusjärjestelmästä poistuvat kemikaalit ovat kammion pakokaasun syöttö kerrottuna 1-puhdistuksella.
- Lopuksi globaalia lämpenemispotentiaalia (GWP) käytetään muuttamaan prosessikemikaali hiilidioksidiekvivalentteiksi. Periaatteessa kemikaalin käyttöikä ja se, kuinka paljon lämpöä kemikaali heijastaa takaisin, yhdistetään vertaamaan yhden kemikaaligramman vaikutusta yhteen grammaan hiilidioksidia.
Kuvassa 4 on esitetty kiekkojen kudosten kiinnostavien kemikaalien käyttö-, vähennys- ja GWP-arvot.
Kuva 4. Prosessin kemialliset päästökertoimet.
Kuvan 4 käyttö- ja vähennyskertoimet tulevat pääasiassa IPCC 2019 -tarkistuksesta [9]. GWP-arvot ovat pääasiassa peräisin IPCC AR5:stä [10].
Kuvan 4 kokonaisvaikutussarake on 1-käyttöarvot kerrottuna 1-vähennysarvoilla kerrottuna GWP:llä. Tämä antaa yleiskuvan kemikaalin vaikutuksesta. Kemikaalit, joilla on suuri kokonaisvaikutus, ovat yleensä sellaisia, joiden GWP-arvot ovat korkeat, mutta N2O:lla on suhteellisen suuri vaikutus suhteellisen alhaisesta GWP:stä huolimatta. Suurin osa N2O:ta käytetään alhaisen lämpötilan oksidipohjaiseen kalvopinnoitukseen erittäin alhaisella käyttöasteella [8], ja vähennys on myös suhteellisen alhainen.
Mielenkiintoista on, että vaikka IPCC:n vähentämisarvot ovat yleensä yli 5 prosenttia, Yhdysvalloissa suurten kasvihuonekaasupäästöjen tuottajien on raportoitava päästöjen vähentämistehokkuudestaan EPA:lle, ja raportoidut vähennysarvot ovat paljon alhaisempia. Kuva XNUMX havainnollistaa raportoituja päästöjen vähentämistehokkuuksia hiilimallin piirissä olevilla tehtailla Yhdysvalloissa.
Kuva 5. Raportoidut vähennysarvot yhdysvaltalaisille etureunaisille 300 mm:n kankaille.
On huomattava, että EPA-raportointisäännöt voivat johtaa ilmoitettuihin vähennysarvoihin, jotka ovat pienempiä kuin todellinen vähennys, mutta huomautan myös, että kun mallinnamme nämä fabit käyttämällä raportoituja vähennysarvoja, saamme päästöt yhdenmukaisiksi niiden raportoimien päästöjen kanssa. En usko, että vähennysarvot ovat kovin kaukana. Haluan myös huomauttaa, että uskon, että päästöjen vähentämisarvot ovat korkeammat joissakin muissa maissa ja maailmanlaajuisesti hiilimallin kattamien fabs-tuotteiden osalta. Uskon, että keskimääräinen vähennys on noin 70 %.
Mallin validointi
Kuten hiilimalli-osiossa todettiin, yksittäisten tehtaiden mallintamista voidaan käyttää vertaamaan mallin laskettuja päästöjä todellisiin raportoituihin päästöihin.
Kuvassa 6 EPA-laitosten päästötiedot neljältä toimipaikalta, jotka edustivat kolmea yritystä ja 4:tä tuotantolaitosta, on laskettu yhteen ja niitä verrattiin samojen tehtaiden mallinnettuihin tietoihin.
Kuva 6. Mallin validointi, joka perustuu EPA-tietoihin yhdysvaltalaisille sivustoille.
Kuten kuvasta 6 voidaan nähdä, osuma kategorioittain on erinomainen. On huomattava, että neljän sivuston yhteensopivuus on parempi kuin yksittäisten sivustojen vastaavuus.
Kuvan 6 kohdat edustavat loogisia prosesseja 28 nm:stä 4 nm:iin.
Kuvassa 7 malli on validoitu kasvihuonekaasujen kokonaispäästöjen suhteen toimipaikan, maan tai yrityksen mukaan.
Kuva 7. Mallin validointi yritysraportteja vastaan.
Kuvassa 7 Micron Singapore edustaa 3D NAND Fabs, Micron Japan ja Taiwan ovat DRAM fabs, TSMC Taiwan on logic fabs, SK Hynix Company on 3D NAND ja DRAM fabs ja Kioxia Yokkaichi on 3D NAND. Tämän juonen raportoidut tiedot ovat peräisin yrityksen ESG-raporteista.
Jälleen kerran ottelu on erinomainen.
Mallin tulokset
Loogisten transistorien tiheys kasvaa edelleen, vaikka aiemmin hitaammin, tämä saavutettiin yhä monimutkaisemmilla prosesseilla prosessivaiheiden ja maskikerrosten lukumäärän suhteen. 3D NAND -bittiheys kasvaa lisääntyvien kerrosten määrän vuoksi, mikä johtaa korkeampaan muistipinoon, joka vaatii enemmän pinnoitus- ja syövytyskemikaaleja. Myös DRAM-bittitiheys kasvaa, vaikkakin jälleen hitaammin kuin aikaisemmin, mikä johtuu kasvavista prosessivaiheista ja maskikerroksista.
Kuva 8 esittää mallinnetut päästöt logiikalle, 3D NAND:lle ja DRAM:lle "solmun" mukaan.
Kuva 8. Mallinnetut päästöt.
Kuvassa 8 on esitetty Taiwanissa ajettavien TSMC-tyyppisten logiikkaprosessien logiikkapäästöt vuoden 2023 Taiwanin sähköisellä hiilijalanjäljellä ja 70 %:n vähennysteholla. Esitetyt 3D NAND- ja DRAM-arvot koskevat Samsungin prosesseja, joita ajetaan Etelä-Koreassa vuoden 2023 Etelä-Korean sähköisellä hiilijalanjäljellä ja 70 %:n vähennyksellä.
Logiikkaan suurin vaikuttaja on Scope 2 -sähköiset hiilidioksidipäästöt. On huomattava, että Taiwanilla on suurin hiilijalanjälki sähkö kaikista maista, joissa etureunaisia 300 mm:n tehtaita sijaitsevat. 3D NAND:issa kasvava kerrosmäärä/pinon korkeus lisää kentän 1 prosessikemikaalien ja 2:n sähkön käyttöä. DRAM-alueelle 2 sähköpäästöt ovat suurin hiilidioksidipäästöjen lähde, kunnes ennakoitu 3D DRAM -prosessi otetaan käyttöön. 3D DRAM -prosessissa on erittäin korkea muistipino, joka vaatii paljon pinnoitusta ja etsauskemikaalien käyttöä.
On useita mahdollisuuksia vähentää merkittävästi hiilidioksidipäästöjä:
- Scope 2 -sähköpäästöjä voidaan vähentää vaihtamalla vähäpäästöisiin sähkönlähteisiin, kuten tuuli-, ydin-, vesi- tai aurinkovoimaan.
- Saatavilla on päästöjen vähentämisjärjestelmiä, joiden torjuntateho on jopa 99 % [11].
- Pienemmät hiilidioksidipäästöt aiheuttavat prosessikemiat voidaan korvata olemassa olevilla korkeampipäästöisillä kemikaaleilla. VLSI Technology -konferenssissa tänä vuonna Tokyo Electron esitteli kryogeenisen syövyttimen, joka pystyy syövyttämään 3D-NAND-pinoja, joissa on ei-GHG-kemiaa ja korkeampi etsausnopeus. Myös kammion puhdistus tehdään tyypillisesti SF:llä6 tai NF3 toimivat fluorin jakeluvälineinä. Molemmilla kaasuilla on korkeat kasvihuonekaasujen GWP-arvot. SF:n tilalle6 ja NF3, F2 joiden GWP on 0 tai COF2 GWP:llä 1 voidaan korvata. On huomattava, että vaikka näillä kaasuilla on 0 tai 1 GWP:lle, ne voivat yhdistyä muiden lajien kanssa kammiossa tuottaakseen korkean GWP-molekyylin.
Kuvassa 9 on esitetty päästöt vuonna 2030 kolmen skenaarion pohjalta kullekin 10A logiikkaprosessille, 1,000 kerroksen 3D NAND -prosessille ja 80 kerroksen 3D DRAM -prosessille.
Kuva 9. Hiilijalanjälki 2030.
Kussakin tapauksessa vuoden 2023 arvo on oletuksena vuoden 2023 sähkön hiilijalanjälki ja 70 prosentin vähennys nykyisillä prosessikemioilla. Vuoden 2023 todennäköinen skenaario perustuu ennustettuun vuoden 2030 sähkön hiilijalanjälkiin kuvasta 1, 90 %:n vähennykseen ja uuteen muistin syövytysjärjestelmään/kemiaan. Lopuksi, 2030 – mahdollista perustuu 24 g CO2 ekvivalenttiin kilowattituntia kohden sähköä (aurinkoenergia on 48, vesivoima 24, tuuli ja ydinvoima ovat 12 [5]).
Yhteenveto
TechInsights Carbon -malli on kehitetty aiemman IC Knowledge Strategic Cost and Price -mallin pohjalta. Hiilimalli mahdollistaa 300 mm:n valmistuksen yksityiskohtaisen vertailun johtaville yrityksille. Sähkölähteet, poltto- ja prosessikemikaalit sekä hyödyntäminen, vähentäminen ja GWP ovat kaikki mallinnettuja. Hiilimalli sisältää kattavat yrityskohtaiset tiedot. Hiilimalli on tällä hetkellä saatavilla TechInsightsilta.
Viitteet
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] TechInsights 300 mm kellotietokanta.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Invisible Emissions: Ennuste teknisten toimitusketjujen päästöistä ja sähkönkulutuksesta vuoteen 2030 mennessä, Greenpeace.
[5] Bardon et.al., "DTCO sisältäen Sustainability: Power-Performance-Area-Cost-Environmental Score (PPACE) Analysis for Logic Technologies", IEDM (2020).
[6] ASML 2022 -vuosikertomus, sivu 83.
[7] Smeets et.al., "0.33 NA EUV systems for High Volume Manufacturing", SPIE (2022)
[8] TechInsights
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
Lue myös:
RISC-V Summit Buzz – Launchpad Showcase korostaa pienempien yritysten innovaatioita
Jaa tämä viesti:
- SEO-pohjainen sisällön ja PR-jakelu. Vahvista jo tänään.
- PlatoData.Network Vertical Generatiivinen Ai. Vahvista itseäsi. Pääsy tästä.
- PlatoAiStream. Web3 Intelligence. Tietoa laajennettu. Pääsy tästä.
- PlatoESG. hiili, CleanTech, energia, ympäristö, Aurinko, Jätehuolto. Pääsy tästä.
- PlatonHealth. Biotekniikan ja kliinisten kokeiden älykkyys. Pääsy tästä.
- Lähde: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :on
- :On
- :ei
- :missä
- $ YLÖS
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- 15%
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- kyky
- imeytyy
- Mukaan
- Tili
- saavutettu
- hankittu
- toimiva
- Toiminta
- toiminta
- todellinen
- lisätä
- lisä-
- lisää
- lisä-
- osoite
- uudelleen
- vastaan
- sopimus
- tavoitteet
- AIR
- AL
- Kaikki
- pitkin
- Myös
- Vaikka
- määrä
- an
- analyysi
- ja
- vuotuinen
- Kaikki
- erilleen
- sovellukset
- sovellettu
- käyttää
- Hakeminen
- suunnilleen
- OVAT
- ALUE
- noin
- AS
- näkökohdat
- At
- Tunnelma
- huomio
- Tekijät
- saatavissa
- keskimäärin
- takaisin
- esteet
- baarit
- perustua
- perustiedot
- Pohjimmiltaan
- BE
- koska
- tulossa
- ollut
- alkaa
- ovat
- Uskoa
- alle
- Paremmin
- välillä
- Suurimmat
- biomassan
- Bitti
- sininen
- sekä
- Tauko
- Rikki
- toi
- polttaa
- polttava
- mutta
- by
- laskettu
- laskee
- laskeminen
- CAN
- Koko
- hiili
- hiilidioksidi
- hiilidioksidipäästöjä
- hiilijalanjälki
- tapaus
- tapauksissa
- Katalysaattori
- Kategoria
- todistukset
- nämä
- ketju
- haasteet
- kammio
- muuttaa
- ominaisuudet
- kemiallinen
- kemikaalit
- väittäen
- Siivous
- CO
- co2
- kylmä
- Sarake
- yhdistää
- yhdistetty
- Tulla
- tulee
- Yritykset
- yritys
- verrata
- verrattuna
- vertailu
- monimutkainen
- keskittyminen
- Konferenssi
- luottamus
- Harkita
- harkittu
- johdonmukainen
- kulutus
- jatkuu
- avustaja
- ohjaus
- Muuntaminen
- muuntaa
- Hinta
- kallis
- maahan
- maa
- kattavuus
- katettu
- kannet
- kryogeeniset
- Nykyinen
- Tällä hetkellä
- tiedot
- tietokanta
- määrittelemällä
- toimitus
- tiheys
- on kuvattu
- Malli
- Huolimatta
- tuhota
- yksityiskohtainen
- kehitetty
- Kehitys
- vaikea
- suoraan
- keskusteltiin
- do
- ei
- tehty
- Dont
- annos
- alas
- dramaattisesti
- ajanut
- asemat
- kaksi
- aikana
- E&T
- kukin
- varhaisin
- maa
- reuna
- vaikutus
- hyötysuhteet
- tehokkuus
- myöskään
- sähköinen
- sähkö
- sähkönkulutus
- sähkön käyttö
- poistamalla
- päästö
- Päästöt
- mahdollistaa
- energia
- energiahankkeet
- enter
- astui sisään
- kirjoittamalla
- EPA
- laitteet
- Vastaava
- ekvivalenttia
- ON G
- arvio
- arvioidaan
- Jopa
- tapahtuma
- EVER
- erinomainen
- Paitsi
- näyttely
- olemassa
- poistuminen
- laajenee
- Valotus
- ulottuu
- laaja
- laitteet
- Laitos
- tekijät
- paljon
- harvat
- Kuva
- Elokuva
- Vihdoin
- taloudellinen
- Rahoitusvälineet
- Etunimi
- ensimmäistä kertaa
- viisi
- virtaus
- virrat
- jälkeen
- Jalanjälki
- varten
- Ennuste
- Entinen
- lomakkeet
- fossiili
- fossiiliset polttoaineet
- löytyi
- Ilmainen
- alkaen
- polttoaineet
- tulevaisuutta
- GAS
- yleensä
- syntyy
- sukupolvi
- saada
- kasvihuonekaasupäästöjen
- kasvihuonekaasupäästöjen
- antaa
- Global
- lämpenemisen
- hyvä
- Gramma
- kasvihuonekaasu
- Greenpeace
- ruudukko
- Kasvava
- Olla
- korkeus
- sankari
- tätä
- Korkea
- korkeampi
- suurin
- Korostaa
- raidat
- KUUMA
- tunti
- Miten
- Miten
- Kuitenkin
- HTML
- HTTPS
- i
- tunnistaa
- IEA
- if
- havainnollistaa
- Vaikutus
- vaikuttavia
- Vaikutukset
- in
- tuumaa
- sisältää
- Mukaan lukien
- Kasvaa
- lisää
- yhä useammin
- henkilökohtainen
- henkilöt
- teollinen
- Teollinen vallankumous
- teollisuus
- ensimmäinen
- Innovaatio
- panos
- välineet
- Intel
- korko
- kiinnostunut
- mielenkiintoinen
- tulee
- käyttöön
- näkymätön
- kutsuttu
- Irlanti
- kysymys
- IT
- Japani
- jpg
- avain
- Kilowatti
- tuntemus
- Korea
- suuri
- suurempi
- suurin
- Launchpad
- kerros
- kerrokset
- johtava
- vähiten
- vähemmän
- Taso
- elinikäinen
- Todennäköisesti
- linja
- linjat
- liittyvät
- linkit
- sijaitsevat
- logiikka
- kauemmin
- Erä
- Matala
- alentaa
- tehdä
- meikki
- valmistus
- naamio
- ottelu
- materiaali
- tarvikkeet
- max-width
- Saattaa..
- tarkoittaa
- keskikokoinen
- Muisti
- mikroni
- miljoonia
- malli
- mallintaminen
- mallit
- molekyyli
- hetki
- lisää
- eniten
- paljon
- moninkertainen
- kerrottuna
- täytyy
- my
- Nations
- Luonnollinen
- Maakaasu
- Tarve
- tarvitaan
- netto
- Uusi
- Nro
- solmu
- solmut
- huomata
- huomattava
- marraskuu
- ydin-
- numero
- of
- pois
- on
- kerran
- ONE
- yhdet
- jatkuva
- vain
- Mahdollisuudet
- or
- Oranssi
- tilata
- Oregon
- Osmosis
- Muut
- meidän
- ulos
- ulkopuolella
- yli
- yleinen
- sivulla
- Paperi
- osa
- erityinen
- Ohi
- varten
- prosentti
- osuus
- suorituskyky
- kuva
- kappale
- Paikka
- Platon
- Platonin tietotieto
- PlatonData
- Kohta
- politiikka
- osa
- mahdollinen
- Kirje
- mahdollinen
- teho
- voimakas
- esittää
- esitys
- esitetty
- lahjat
- hinta
- pääasiallisesti
- Aikaisempi
- Ongelma
- ongelmia
- prosessi
- Prosessit
- hankinta
- tuottaa
- tuotanto
- ennustetaan
- Projektio
- ennusteet
- hankkeet
- osto
- osti
- hinta
- Hinnat
- reaktio
- Lue
- reason
- sai
- äskettäin
- vähentää
- Vähentynyt
- vähentämällä
- vähentäminen
- heijastaa
- alue
- suhteellisesti
- poistaa
- Uusiutuva
- uusiutuva energia
- raportti
- raportoitu
- Raportointi
- Raportit
- edustaa
- edustettuina
- edustavat
- edustaa
- edellyttää
- vaatimukset
- tutkimus
- johtua
- Saatu ja
- tulokset
- käänteinen
- Vallankumous
- nouseva
- Huone
- karkeasti
- säännöt
- ajaa
- sama
- Samsung
- skenaario
- skenaariot
- tieteellinen
- laajuus
- pisteet
- Osa
- nähneet
- Puoliperävaunu
- puolijohde
- Istunto
- setti
- Setit
- toimitetaan
- shouldnt
- näyteikkuna
- Näytä
- Siemens
- merkittävä
- Pii
- koska
- Singapore
- single
- paikka
- Sivustot
- koot
- Hitaasti
- pienempiä
- So
- aurinko-
- vankka
- jonkin verran
- lähde
- Lähteet
- Etelä
- Etelä-Korea
- erityinen
- neliöitä
- pino
- Stacks
- Osavaltio
- Valtiot
- tasaisesti
- Vaihe
- Askeleet
- Strateginen
- tutkimus
- niin
- YHTEENVETO
- Huippukokous
- toimittaa
- toimitusketju
- kestävyys
- järjestelmä
- järjestelmät
- Taiwan
- teknologia
- Technologies
- Elektroniikka
- ehdot
- kuin
- että
- -
- Tulevaisuus
- heidän
- Niitä
- sitten
- Siellä.
- siksi
- Nämä
- ne
- ajatella
- tätä
- Tämä vuosi
- ne
- vaikka?
- kolmella
- Kautta
- suoritusteho
- aika
- että
- tänään
- yhdessä
- Tokio
- Yhteensä
- tsmc
- kaksi
- tyyppi
- tyypillisesti
- UN
- ymmärtää
- Yhtenäinen
- Yhdistyneet kansakunnat
- Yhdysvallat
- asti
- us
- Käyttö
- käyttää
- käytetty
- käyttötarkoituksiin
- käyttämällä
- hyödynnetty
- validoitu
- validointi
- arvo
- arvot
- lajike
- Ajoneuvot
- hyvin
- seulottu
- kautta
- Näytä
- tilavuus
- haluta
- lämmin
- oli
- Katso
- vesi
- we
- Sää
- verkko
- HYVIN
- Mitä
- kun
- vaikka
- KUKA
- koko
- laajalti
- tulee
- tuuli
- with
- maailman-
- maailmanlaajuisesti
- olisi
- vuosi
- zephyrnet