Oxford Instruments liefert ALD-System an britischen Mikro-LED-Hersteller

Neuauflage von Plato

Verfolger: 0

24 Januar 2024

Das in Großbritannien ansässige Unternehmen Oxford Instruments gibt an, dass seine ALD-Ausrüstung (Atomic Layer Deposition) bei einem „preisgekrönten britischen Mikro-LED-Anbieter“ installiert wurde, um die neuesten verbraucherorientierten Reality-Produkte und Anzeigegeräte zu unterstützen. Das System dient zur Abscheidung ultradünner dielektrischer High-K-Filme für RGB-Pixel-Arrays mit hoher Dichte, sehr hoher Helligkeit, geringem Stromverbrauch und hoher Bildrate für Augmented-, Virtual- und Mixed-Reality-Geräte sowie Smart-Geräte für Endverbraucher Uhren.

Die steigende Nachfrage nach tragbaren Geräten mit kleinerem Formfaktor und hochauflösenden Displays führt zu einem erheblichen Forschungswachstum in diesem Sektor. Mikro-LEDs sind in der Lage, Chip-Pitch-Größen von <10 µm zu liefern und ermöglichen so die Miniaturisierung tragbarer Anzeigegeräte für Verbraucher bei gleichzeitig hoher Bildauflösung. Mit abnehmender Pitch-Größe nimmt das Verhältnis von Umfang zu Fläche proportional zu, und der während der Mesa-Bildung und -Isolierung verursachte Schaden wird zu einem leistungsbegrenzenden Faktor.

Auf der 14. International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS 2023) Mitte November in Fukuoka, Japan, wurden in zahlreichen Vorträgen die Vorteile der Plasma-ALD bei der Schadensbekämpfung hervorgehoben. Es wurde auch gezeigt, dass Plasma-ALD die externe Quanteneffizienz erheblich steigert, wobei ALD als entscheidend für Miniatur-Lichtemitter beschrieben wird.

„Unsere schädigungsarme Plasma-ALD-Technologie gewinnt auf unserer 200-mm-Plattform auf dem Markt an Bedeutung“, sagt Klaas Wisniewski, Direktor für strategische Geschäftsentwicklung bei Oxford Instruments. „Unsere Plasma-ALD-High-K-Passivierungslösung ist für kleinere Chips mit kleineren aktiven Flächen optimiert und hat in einigen Fällen von unseren Kunden bei ICNS gezeigt, dass sie die externe Quanteneffizienz verdoppelt“, fügt er hinzu. „Hochleistungs-Mikro-LEDs mit kleinem Formfaktor sind eine entscheidende Komponente in Head-Mounted-Displays für die virtuelle Realität und anderen fortschrittlichen Geräten wie Smartwatches, und unsere Technologie ermöglicht einige der begehrtesten und fortschrittlichsten Verbrauchergeräte.“

Oxford Instruments nimmt an der SPIE Photonics West 2024-Veranstaltung in San Francisco (30. Januar bis 1. Februar) teil und stellt dort seine neuesten optoelektronischen Prozesse für erweiterte, virtuelle und gemischte Realität und Quantentechnologie sowie Datenübertragungsanwendungen für künstliche Intelligenz und Maschinen vor Lernen.

Siehe verwandte Artikel:

Oxford Instruments führt hochleistungsfähiges ALD-Forschungssystem ein

Stichworte: OIPT

Besuchen Sie: plasma.oxinst.com