田中建立了回收附着在真空成膜设备部件上的贵金属的新方法

田中建立了回收附着在真空成膜设备部件上的贵金属的新方法

时间戳记：31年2024月2日下午00:XNUMX
源节点： 3092057

东京，31 年 2024 月 XNUMX 日 – (JCN 通讯社) -　作为田中贵金属集团的核心公司之一，开发工业用贵金属产品的田中贵金属工业株式会社（总公司：东京都千代田区；集团首席执行官：田中光一郎）宣布，已建立了称为“治具清洗”的治具清洗方法。 田中绿盾。该清洗方法的特征是在半导体制造等工序中使用的真空成膜装置[1]的防粘板[2]上进行镀镍。当使用镀镍防粘板时，PGM[3]溅射薄膜（包括铂和钯）可以很容易地从板上剥离。

TANAKA 正在为此用例开发回收业务。溅射、真空蒸镀装置等真空成膜装置的以不锈钢为主体的部件上附着的溅射膜被剥离后，回收的贵金属经过精炼，与精密清洗后的部件一起返回给客户。

这种清洁方法利用了与基底电镀相关的田中独特的技术。通过在防粘板上镀镍，可以通过化学处理将PGM溅射膜剥离，而不会损坏基材。这种方法比以前的方法更容易分离PGM溅射薄膜，因此有望减少清洁设备时所需的清洁剂的用量，从而有助于减少对环境的影响。由于预期会减少研磨过程中分散的贵金属的回收损失，该方法也有望以更低的成本实现更高的铂族金属回收率。

TANAKA 的目标是开发 TANAKA Green Shield 系统，以支持各种形状和尺寸的部件，并到 2025 年将 PGM 薄膜回收率提高到目前水平的六倍。

TANAKA Green Shield 治具清洗流程
TANAKA Green Shield 治具清洗流程

治具清洗方法

真空成膜设备部件的夹具清洗方式有多种，包括物理拆卸（喷砂清洗）和热喷涂铝基成膜。物理分离，即喷射研磨剂（清洁剂）以去除粘附的薄膜，由于其成本低，是目前常用的夹具清洁方法。使用研磨剂会损坏基材的表面，从而导致基材的寿命缩短。该方法的另一个缺点是材料在处理过程中分散，导致贵金属回收损失。

另一种剥离附着膜的方法是夹具清洗的喷镀铝基膜形成方法。这需要使用热喷涂方法预先在防粘板上涂上铝，然后用化学品溶解铝。这种方法的缺点包括从缺乏铝涂层的表面回收粘附的薄膜的挑战，以及与形成铝薄膜相关的成本升高。

田中绿盾是一种在使用前对防粘板进行镀镍处理的基材制备方法。例如，在溅射工艺中使用板后，仅防粘板和PGM溅射膜之间的镍镀层被溶解。这不仅能够使PGM溅射膜，而且能够使具有各种成分的其他粘附膜从板上分离，而不会损坏基材。该基材制剂与防粘板和溅射膜具有高附着力，可防止因溅射膜剥离而产生的溅射缺陷。多种形状的元件也可以用这种方法镀镍。除了防止基材劣化之外，该清洁方法比铝膜形成方法更便宜。它还需要更少的清洁剂，使其成为环保的下一代夹具清洁方法。

使用夹具清洁方法的溅射和沉积工艺
使用夹具清洁方法的溅射和沉积工艺

田中与循环经济

田中自1885年创业以来，一直持续经营贵金属回收业务。除了多年来通过对贵金属的研究而开发出的现有贵金属回收技术外，该公司目前正在开发具有一系列新贵金属回收技术的田中绿盾（TANAKA Green Shield）。田中贵金属回收业务促进有限贵金属资源的循环利用，为实现循环经济做出贡献。

[1] 防粘板：为防止成膜室（用于发生物理或化学反应的密闭反应容器）内壁附着薄膜而安装的板
[2] 真空成膜设备：用于半导体制造中的薄膜形成工艺（包括溅射和沉积）的设备
[3] PGM：铂族金属，包括六种贵金属（铂、钯、铑、钌、铱和锇）

关于田中贵金属

自 1885 年成立以来，田中贵金属已建立了一系列产品来支持以贵金属为主的多元化业务用途。 田中贵金属处理量在日本处于领先地位。 多年来，田中不仅制造和销售工业用贵金属产品，还以珠宝和资产等形式提供贵金属。 作为贵金属专家，日本和世界各地的所有集团公司在制造、销售和技术开发方面进行协作和合作，提供全方位的产品和服务。 该集团拥有 5,355 名员工，截至 31 年 2023 月 680 日的财年综合净销售额为 XNUMX 亿日元。

全球工业商业网站
https://tanaka-preciousmetals.com/en/

产品查询
田中贵金属工业株式会社
https://tanaka-preciousmetals.com/en/inquiries-on-industrial-products/

媒体查询
田中控股有限公司
https://tanaka-preciousmetals.com/en/inquiries-for-media/

新闻稿： http://www.acnnewswire.com/docs/files/20240131EN.pdf 

时间戳记：

更多来自 JCN新闻专线