铜的电阻率取决于其晶体结构、空隙体积、晶界和材料界面失配,这在较小的尺度上变得更加重要。传统上,铜 (Cu) 线的形成是通过使用沟槽蚀刻工艺在低 k 二氧化硅中蚀刻沟槽图案,然后通过镶嵌流用 Cu 填充沟槽来完成的。不幸的是,这种方法产生具有显着晶界和空隙的多晶结构,这增加了铜线电阻。该工艺中还使用了高电阻 TaN 衬垫材料,以防止镶嵌退火工艺期间的铜扩散。
物理气相沉积 (PVD) 可用于在高动能(10 至 100 eV 之间)沉积铜,形成低电阻、致密的单晶结构。 PVD 的一个缺点是 PVD 沉积具有视线扩散并且只能在平坦表面上均匀沉积。它不能用于填充深孔或沟槽(图 1a)。为了形成孤立的线形状,必须在平坦的表面上沉积均匀的铜层,然后通过离子束进行物理蚀刻。 Cu 不会与反应气体形成挥发性化合物,因此不能使用反应离子蚀刻工艺。如果入射角非常高,离子束蚀刻 (IBE) 过程中产生的加速 Ar 离子可以去除 Cu。不幸的是,由于掩模阴影效应,可蚀刻区域将受到限制。图 1b 显示了当掩模垂直于入射离子束时材料无法蚀刻的区域(红色)。这种蚀刻失败的发生是由于喷射原子路径的阴影或阻塞。当掩模平行于离子路径时,所有未掩模的区域都可以被蚀刻。因此,离子束蚀刻仅限于蚀刻任意长长度的线形掩模。
图1:(1a)物理气相沉积(PVD); (1b) 离子束蚀刻 (IBE)。
工艺步骤和虚拟制造过程
为了了解沉积和蚀刻对线路电阻的影响,我们现在使用 SEMulator3D 可见性沉积和蚀刻功能对 PVD 和 IBE 蚀刻工艺进行建模。 PVD 使用 SEMulator30D 中的 3 度角展度可见性沉积过程进行再现,该过程准确地模拟了 AR 离子轰击过程中喷射铜原子的随机性质。 IBE 在模型中使用具有 2 度角展度和 60 度极角倾斜的可见性蚀刻来再现,以反映具有低光束发散度的网格加速离子的行为。假设两个晶片都可以自由旋转。虚拟制造工艺中的其他工艺步骤已进行调整,以适应 IBE 和 PVD 限制。图 2 显示了使用镶嵌铜填充(图 2a)和 PVD/IBE 工艺(图 2b)创建的相同结构。还包括额外的工艺步骤,以纳入 PVD/IBE 的某些限制,并为我们所需的最终结构创建等效形状。
图2:(2a)镶嵌填充铜线制造; (2b) PVD/IBE 铜线制造。
然后,我们证明可以使用 PVD/IBE 线制造等效的 16nm SRAM 电路单元,同时遵守这些限制。由于线路中端上方的所有金属层均由平坦表面制成,因此这使其成为 PVD/IBE 线的理想候选者,这与 finFET 器件中复杂的互连拓扑不同。图 3 显示了每个金属层的隔离结构,以及使用 PVD/IBE 创建三金属层 finFET 结构所需的必要步骤。
图 3:(3a) 16nm FinFET MEOL 和 3 个金属层; (3b) 通过 PVD/IBE 逐步制造金属层。
电阻结果及结论
然后,我们针对镶嵌流和物理气相沉积测量从最顶层金属层到 finFET P 和 N 通道过孔的导线电阻。图 4 显示了 P 通道和 N 通道处电阻测量的起点和终点(所有其他绝缘材料都是透明的)。为了补偿 TaN 衬垫和铜线之间的界面电阻,通过使用 1 nm 的指数衰减常数作为距 TaN 界面最近距离的函数来增加铜的电阻率。由于镶嵌填充铜沉积预计不会完全结晶,因此铜的电阻率增加了 50%。 PVD/IBE铜工艺不使用TaN衬里,因此没有应用指数衰减函数,并且该模型中使用了铜的体电阻率。图 4 中包含比较镶嵌流与 PVD 的电阻率表。
图 4:P 和 N 通道电阻测量的起点和终点。
根据我们的模型计算出的电阻值表明,与传统的沟槽蚀刻和镶嵌沉积相比,使用 IBE/PVD 制造方法可以将电阻降低 67%。出现这种情况是因为 IBE/PVD 中不需要 TaN 衬里,并且在此过程中 CU 电阻率较低。我们的结果表明,与金属线形成过程中的镶嵌填充相比,使用 IBE/PVD 可以提高电阻率,但代价是制造工艺更加复杂。
蒂莫西·杨
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Timothy Yang 是 Lam 研究公司 Coventor 的软件应用工程师。他从事工艺开发、集成和产量提高应用领域的工作,拥有存储器技术方面的专业知识。在 Coventor 工作之前,Yang 曾在 Tokyo Electron 工作,开发蚀刻方案、光刻后图案改进技术、SADP 和 SAQP 图案化应用的工艺流程控制以及 EUV 和浸没式光刻光刻胶技术。 Yang 获得了加州大学洛杉矶分校 (UCLA) 物理学学士学位、千叶工业大学 (Chiba Institute of Technology) 材料科学硕士学位和博士学位。东北大学材料科学学士学位。
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