Нанотехнології зараз - Прес-реліз: Технологія сфокусованого іонного променя: єдиний інструмент для широкого спектру застосувань

Перевидано Платоном

читають: 0

Головна > прес > Технологія сфокусованого іонного променя: єдиний інструмент для широкого спектру застосувань

Фізик Грегор Главачек, керівник проекту ЄС FIT4NANO, відповідає за сучасне обладнання в HZDR, де він може створювати та аналізувати наноструктури за допомогою особливо тонко сфокусованого пучка іонів. КРЕДИТ Олівер Кілліг/HZDR

Physicist Gregor Hlawacek, head of the EU project FIT4NANO, is responsible for a state-of-the-art facility at the HZDR where he can produce and analyze nanostructures using a particularly finely focused ion beam.

КРЕДИТ
Олівер Кілліг/HZDR

Анотація:
Обробка матеріалів на нанорозмірі, створення прототипів для мікроелектроніки або аналіз біологічних зразків: спектр застосування тонко сфокусованих іонних пучків величезний. Експерти з колаборації ЄС FIT4NANO зараз розглянули багато варіантів і розробили дорожню карту на майбутнє. Стаття, опублікована в «Applied Physics Review» (DOI: 10.1063/5.0162597), призначена для студентів, користувачів з промисловості та науки, а також для розробників наукової політики.

Технологія сфокусованого іонного променя: єдиний інструмент для широкого спектру застосувань

Дрезден, Німеччина | Опубліковано 12 січня 2024 р

«Ми зрозуміли, що сфокусовані іонні пучки можна використовувати різними способами, і ми думали, що на початку проекту ми мали хороший огляд. Але потім ми виявили, що програм набагато більше, ніж ми думали. У багатьох публікаціях використання сфокусованих іонних пучків навіть не згадується прямо, а приховано в розділі методів. Це була детективна робота», — каже доктор Катя Хефліх, фізик з Інституту Фердинанда Брауна та Берлінського центру імені Гельмгольца (HZB), яка координувала вичерпний звіт. «Зокрема, ми знайшли роботи 1960-1970-х років, які випередили свій час і були несправедливо забуті. Навіть сьогодні вони дають важливу інформацію».

У звіті представлено огляд поточного стану технології сфокусованого іонного пучка (FIB), її застосування з багатьма прикладами, найважливіші розробки обладнання та майбутні перспективи. «Ми хотіли надати довідкову роботу, яка була б корисною для академічних досліджень і промислових науково-дослідних відділів, а також допоможе керівництву досліджень знайти свій шлях у цій галузі», — говорить д-р Грегор Главачек, керівник групи в Інституті фізики іонного пучка та дослідження матеріалів. у Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR). Главачек керує проектом FIT4NANO, проектом ЄС з технологій FIB, до якого залучені автори звіту.

Від фундаментальних досліджень до готового компонента

Прилади FIB використовують сфокусований іонний промінь зазвичай від двох до 30 кілоелектронвольт (кеВ). Завдяки малому діаметру в нанометровому та субнанометровому діапазоні такий іонний промінь сканує зразок і може змінювати його поверхню з нанометровою точністю. Прилади FIB є універсальним інструментом для аналізу, безмаскової локальної модифікації матеріалу та швидкого прототипування мікроелектронних компонентів. Перші інструменти FIB використовувалися в напівпровідниковій промисловості для корекції фотошаблонів за допомогою сфокусованих іонів галію. Сьогодні інструменти FIB доступні з багатьма різними типами іонів. Важливим застосуванням є підготовка зразків для отримання зображень високої роздільної здатності з нанометровою точністю в електронному мікроскопі. Методи FIB також використовувалися в науках про життя, наприклад, для аналізу та зображення мікроорганізмів і вірусів за допомогою томографії на основі FIB, що забезпечує глибоке розуміння мікроскопічних структур та їх функції.

Інструменти FIB постійно розвиваються в напрямку інших енергій, більш важких іонів і нових можливостей, таких як просторове генерування одиничних атомних дефектів у ідеальних кристалах. Така обробка матеріалів і компонентів FIB має величезний потенціал у квантових та інформаційних технологіях. Діапазон застосувань, від фундаментальних досліджень до готового пристрою, від фізики, матеріалознавства та хімії до наук про життя та навіть археології, є абсолютно унікальним. «Ми сподіваємося, що ця дорожня карта надихне на наукові та технологічні прориви та стане інкубатором для майбутніх розробок», — говорить Грегор Главачек.

####

Для отримання додаткової інформації натисніть тут

Контакти:
Контактна інформація для ЗМІ

Саймон Шмітт
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
Офіс: 351-260-3400
Контакти експертів

Доктор Грегор Главачек
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
Офіс: ++49 351 260 3409
Доктор Катя Хьофліх
Інститут Фердинанда Брауна та Центр Гельмгольца в Берліні (HZB)

Авторське право © Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Якщо у вас є коментар, будь ласка Контакти нам.

Видавці випусків новин, а не 7th Wave, Inc. або Nanotechnology Now, несуть повну відповідальність за точність змісту.

Закладка: