Aixtron เปิดตัวแพลตฟอร์ม G10-GaN MOCVD สำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าและอุปกรณ์ RF

Aixtron เปิดตัวแพลตฟอร์ม G10-GaN MOCVD สำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าและอุปกรณ์ RF

ประทับเวลา: 6 กันยายน 2023 9:07 น.
โหนดต้นทาง: 2867170

ข่าว: ซัพพลายเออร์

6 กันยายน 2023

ในงาน SEMICON Taiwan 2023 ที่ไทเป (6-8 กันยายน) ผู้ผลิตอุปกรณ์สะสม Aixtron SE จาก Herzogenrath ใกล้เมือง Aachen ประเทศเยอรมนี ได้เปิดตัวแพลตฟอร์มการสะสมไอสารเคมีและโลหะอินทรีย์อินทรีย์ (MOCVD) คลัสเตอร์ G10-GaN ใหม่สำหรับแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) ) อุปกรณ์กำลังและความถี่วิทยุ (RF) นำเสนอสิ่งที่กล่าวกันว่ามีประสิทธิภาพที่ดีที่สุดในระดับเดียวกัน การออกแบบกะทัดรัดใหม่ทั้งหมด และต้นทุนต่อเวเฟอร์โดยรวมต่ำที่สุด

รูปภาพ: ระบบ G10-GaN MOCVD ใหม่ของ Aixtron

“แพลตฟอร์ม G10-GaN ใหม่ของเราผ่านการรับรองแล้วสำหรับการผลิตอุปกรณ์จ่ายไฟ GaN ในปริมาณมากโดยผู้ผลิตอุปกรณ์ชั้นนำของสหรัฐอเมริกา” ดร. Felix Grawert ซีอีโอและประธานกล่าว “แพลตฟอร์มใหม่นี้ให้ประสิทธิภาพการผลิตต่อพื้นที่คลีนรูมเพิ่มขึ้นเป็นสองเท่าเมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์ก่อนหน้าของเรา ในขณะเดียวกันก็ช่วยให้มีความสม่ำเสมอของวัสดุในระดับใหม่ ปลดล็อกความสามารถในการแข่งขันใหม่สำหรับลูกค้าของเรา” เขากล่าวเสริม “อุปกรณ์จ่ายไฟ GaN ได้รับการตั้งค่าให้มีบทบาทสำคัญในการลด COXNUMX ทั่วโลก2 การปล่อยก๊าซเรือนกระจกโดยนำเสนอการแปลงพลังงานที่มีประสิทธิภาพมากกว่าซิลิคอนทั่วไป ซึ่งช่วยลดการสูญเสียลงได้สองถึงสามเท่า เราคาดว่าตลาดนี้จะเติบโตอย่างต่อเนื่องภายในสิ้นทศวรรษและต่อ ๆ ไป ปัจจุบัน GaN ได้เปลี่ยนซิลิคอนเป็นเครื่องชาร์จที่รวดเร็วที่ใช้ในอุปกรณ์เคลื่อนที่แล้ว และเราเห็นความต้องการศูนย์ข้อมูลหรือแอปพลิเคชันพลังงานแสงอาทิตย์ที่เพิ่มขึ้น”

Aixtron พัฒนากระบวนการและฮาร์ดแวร์ GaN-on-Si มานานกว่า 20 ปี เครื่องปฏิกรณ์ดาวเคราะห์ AIX G5+ C เป็นระบบ GaN MOCVD อัตโนมัติเต็มรูปแบบระบบแรก เนื่องจากการทำความสะอาดในแหล่งกำเนิดและระบบอัตโนมัติจาก Cassette-to-Cassette โซลูชันคลัสเตอร์ G10-GaN ใหม่ทั้งหมดสร้างขึ้นบนพื้นฐานเดียวกันในขณะที่ขยายการวัดประสิทธิภาพแต่ละรายการ

บรรจุในรูปแบบใหม่กะทัดรัดเพื่อใช้ประโยชน์จากพื้นที่คลีนรูมที่เล็กที่สุด แพลตฟอร์มดังกล่าวมาพร้อมกับทางเข้าของเครื่องปฏิกรณ์แบบใหม่ ปรับปรุงความสม่ำเสมอของวัสดุขึ้นสองเท่าเพื่อผลผลิตอุปกรณ์ที่เหมาะสมที่สุด เซ็นเซอร์ออนบอร์ดได้รับการเสริมด้วยชุดซอฟต์แวร์ใหม่และโซลูชันลายนิ้วมือเพื่อให้แน่ใจว่าระบบให้ประสิทธิภาพการทำงานเดียวกันอย่างต่อเนื่อง ระหว่างการบำรุงรักษาสำหรับโมดูลกระบวนการทั้งหมด – ขยายเวลาทำงานของอุปกรณ์ได้มากกว่า 5% เมื่อเทียบกับรุ่นก่อนหน้า

คลัสเตอร์สามารถติดตั้งโมดูลกระบวนการได้สูงสุดสามโมดูล โดยให้ความจุบันทึกเวเฟอร์ขนาด 15x200 มม. เนื่องจากเทคโนโลยีเครื่องปฏิกรณ์แบบ Planetary ซึ่งช่วยให้ลดต้นทุนได้ 25% ต่อเวเฟอร์เมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์รุ่นก่อน

ดูรายการที่เกี่ยวข้อง:

Aixtron ลงทุนสูงถึง 100 ล้านยูโรเพื่อสร้างศูนย์นวัตกรรมใหม่

Aixtron เปิดตัวระบบ G10-AsP ที่ Photonic West

Aixtron เปิดตัวระบบ CVD G10-SiC 200 มม

คีย์เวิร์ด: เอกซ์ตรอน

เยี่ยม: www.aixtron.com

ประทับเวลา:

เพิ่มเติมจาก เซมิคอนดักเตอร์วันนี้