Впервые IEDM провел сессию по устойчивому развитию на конференции 2023 года. Я был одним из авторов, представивших приглашенный доклад. Ниже приводится краткое изложение моей презентации.
Призыв к действию
От Организации Объединенных Наций [1]:
«Изменение климата является определяющей проблемой нашего времени, и мы переживаем решающий момент».
«Без радикальных мер сегодня адаптация к этим воздействиям в будущем будет более сложной и дорогостоящей».
Есть некоторые основные устоявшиеся научные связи:
- Концентрация парниковых газов (ПГ) в земной атмосфере напрямую связана со средней глобальной температурой на Земле.
- Концентрация неуклонно растет, а вместе с ней и средняя глобальная температура со времен промышленной революции.
Задача из двух частей
Мы рассматриваем сокращение выбросов парниковых газов как проблему, состоящую из двух частей:
- Разрабатывайте будущие процессы и технологии для сокращения выбросов углекислого газа.
- Но… нам также необходимо сократить выбросы углекислого газа от существующих предприятий и процессов.
Детальное моделирование выбросов углерода необходимо для понимания как будущих проблем процесса, так и способов решения существующих процессов/объектов.
Углеродная модель
Описанная здесь углеродная модель основана на бывшей модели стратегических затрат и цен IC Knowledge, которая широко использовалась в отрасли с 2010 года. На данный момент стратегическая модель хорошо проверена. TechInsights приобрела IC Knowledge в ноябре 2022 года.
Стратегическая модель – моделирует 3D NAND, DRAM и логику с охватом как самых ранних процессов на расстоянии 300 мм, так и будущих процессов. В настоящее время модель охватывает 167–300 мм заводов и 220 технологических потоков, специфичных для компании.
Модель рассчитывает подробные комплекты оборудования с учетом требований к электричеству, воде и природному газу. Также рассчитываются подробные расходные материалы по видам материалов.
Модель просто потрясающая! Это ключевой момент, когда дело доходит до калибровки и проверки. Доступны различные данные о выбросах парниковых газов: в некоторых случаях по заводским сайтам компаний, в некоторых случаях по странам для компании, а в некоторых случаях для всей компании. Возможность моделировать фабрики, составляющие сайт, или все фабрики, которые есть у компании в стране, или все фабрики, которые есть у компании, позволяет выполнять калибровку и проверку.
Модель Carbon в настоящее время имеет размер всего 300 мм, хотя мы рассматриваем возможность добавления пластин дополнительных размеров. По данным SEMI, 300 мм составляют примерно 70% мировых поставок кремния в миллионы квадратных дюймов в 2023 году.
Углеродная модель охватывает: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC и YMTC. На эти восемь компаний приходится примерно 77% мировых мощностей по производству 300-миллиметровых пластин [2]. Мы изучаем возможность расширения охвата модели на все заводы шириной 300 мм.
Что касается выбросов парниковых газов, Углеродная модель охватывает выбросы уровня 1 от сжигания на месте ископаемого топлива и технологических химикатов, а также выбросы уровня 2 от покупной электроэнергии (в некоторых случаях электроэнергия, вырабатываемая на месте, становится выбросом уровня 1).
Моделирование электричества
Некоторые полупроводниковые компании заявляют, что у них нет электрических выбросов категории 2, поскольку они используют «100% возобновляемую энергию». С этим есть две проблемы.
- Возобновляемая энергия включает в себя сжигание биомассы, которая, хотя и считается возобновляемой, не является безуглеродной. На данный момент это незначительная часть производства электроэнергии в интересующих нас странах, но еще в 2015 году Ирландия производила >12% своей электроэнергии за счет сжигания торфа [3].
- Гораздо более серьезная проблема заключается в том, что, по данным Гринпис, в 2021 году 84% «возобновляемой энергии» в полупроводниковой промышленности приходилось на сертификаты возобновляемой энергии (REC) [4]. РЭЦ — это финансовые инструменты, которые представляют собой существующие проекты в области возобновляемых источников энергии. Покупка REC не добавляет в сеть новых возобновляемых источников энергии. По этой причине РЭЦ являются одной из наименее эффективных форм закупок возобновляемой энергии.
Политика моделирования TechInsights заключается в том, чтобы не учитывать REC и моделировать выбросы углекислого газа на основе углеродоемкости электроснабжения. Это оценивается по странам, за исключением заводов в США, где мы оцениваем по штатам. Мы учитываем безуглеродную электроэнергию, если она произведена на месте или по договору о покупке мощности, если мы можем ее идентифицировать. Для нас это область постоянных исследований.
Прошлые, настоящие и прогнозируемые углеродоемкости по странам, которые мы используем в нашем моделировании, показаны на рисунке 1.
Рисунок 1. Углеродоемкость электроэнергии по странам.
Сплошные линии взяты из проекта «Наш мир в данных», а пунктирные линии — прогнозы МЭА по регионам, которые больше не доступны на их веб-сайте.
Чтобы рассчитать интенсивность выбросов углекислого газа, нам нужно сначала оценить количество электроэнергии, потребляемой фабрикой. Поскольку углеродная модель выполняет детальное моделирование набора оборудования, мы начинаем с применения использования электроэнергии по частям оборудования [5],[6],[7],[8]. Оборудованию EUV уделяется особое внимание из-за большого влияния дозы на пропускную способность и, следовательно, на потребление электроэнергии. Потребление электроэнергии на объекте оценивается на основе характеристик процесса и объекта. На рис. 2 показано использование электроэнергии логическим узлом.
Рисунок 2. Использование электроэнергии логическим узлом.
На рисунке 2 серые столбцы обозначают потребление электроэнергии объектом, синие столбцы — потребление электроэнергии оборудованием, не включая EUV, оранжевые столбцы — системы EUV 0.33NA, а желто-оранжевые столбцы — использование электроэнергии системой EUV 0.55NA (высокая NA). Пунктирная линия — это процент потребления электроэнергии, обусловленный оборудованием.
Я хочу выделить три интересных аспекта этой фигуры:
- Логические узлы на рисунке 2 основаны на TSMC. На 7-нм техпроцессе TSMC представила оптический процесс (7 нм), а затем процесс на основе EUV (7 нм+). Несмотря на то, что оборудование EUV потребляет значительно больше электроэнергии, чем системы DUV, EUV заменяет сложные этапы с несколькими шаблонами одним воздействием и приводит к чистому сокращению потребления электроэнергии.
- В узле 14A мы сравнили EUV 0.33NA, который потребует многошаблонирования EUV, с 14A+ с High NA EUV, исключающим многошаблонирование, и снова наблюдается чистое снижение потребления электроэнергии.
- Пунктирная линия показывает, что в диапазоне от 130 до 40 нм на оборудование приходится примерно 43% общего потребления электроэнергии, что соответствует исследованию SEMATECH. Мы обнаружили, что до того, как EUV стало использоваться, оборудование составляло от 40% до 50%, а затем, как только EUV стало использоваться, оборудование составляло от 50% до 55% от общего потребления электроэнергии.
Мы сравнили наше смоделированное потребление электроэнергии с данными об потреблении электроэнергии для двух компаний – в масштабах всей компании (GF и SK Hynix), TSMC для Тайваня и Intel для 4 объектов, и совпадение отличное, за исключением Intel Oregon, где мы считаем, что недооцениваем активность сайта. уровень. Intel Oregon — это площадка для разработки, и недавно мы получили новые данные, свидетельствующие о большей активности там, чем мы использовали в этих расчетах. В целом это дает нам уверенность в расчетах.
Сжигание
Сжигание ископаемого топлива на месте предназначено для пяти целей:
- Производство электроэнергии на месте (некоторые заводы работают на природном газе).
- Отопление объекта.
- Предварительно нагрейте воду перед обратным осмосом. Обратный осмос является ключевым этапом в производстве сверхчистой воды, и процент хорошей воды по сравнению с отброшенной водой обратного осмоса выше, если вода теплая.
- Некоторые системы снижения выбросов – в некоторых системах природный газ используется для сжигания перфторированных соединений с целью их разрушения.
- Нагрейте и подогрейте подпиточный воздух. Фабрики по производству вафель имеют отработанный воздух для удаления химических паров из оборудования, и воздух должен поступать снаружи предприятия, чтобы «восполнить» отработанный воздух. В холодную погоду воздух необходимо нагреть до комнатной температуры и увлажнить для контроля статического заряда и повышения эффективности фоторезиста. В жаркую погоду подпиточный воздух охлаждается ниже комнатной температуры для осушения воздуха, а затем повторно нагревается до комнатной температуры.
Технологические химикаты
На рисунке 3 показан поток технологических газов через технологическое оборудование в атмосферу с пересчетом на эквивалентные значения углерода.
Рисунок 3. Технологические химические выбросы.
Из рисунка 3:
- Технологические химикаты поступают в технологическую камеру, где некоторые процентные количества используются либо путем разрушения в реакции травления, либо путем превращения в часть пленки в реакции осаждения. Первоначальный входной объем, умноженный на 1-коэффициент использования, представляет собой количество технологических химикатов в выхлопных газах.
- Выхлопы технологической камеры могут попадать в систему очистки выбросов, где некоторая часть технологического химиката либо расщепляется на химические вещества, не содержащие парниковых газов, либо поглощается какой-либо средой. Химические вещества, выходящие из системы очистки, представляют собой поступление из выхлопной камеры камеры, умноженное на 1-значение.
- Наконец, потенциал глобального потепления (ПГП) применяется для преобразования технологического химиката в эквиваленты диоксида углерода. По сути, время жизни химического вещества и количество тепла, которое химическое вещество отражает обратно, объединяются для сравнения эффекта одного грамма химического вещества с одним граммом углекислого газа.
На рисунке 4 представлены значения использования, снижения выбросов и ПГП для химических веществ, представляющих интерес для предприятий по производству пластин.
Рисунок 4. Коэффициенты выбросов технологических химикатов.
Коэффициенты использования и снижения выбросов на рисунке 4 в основном взяты из уточнения МГЭИК 2019 года [9]. Значения ПГП взяты в основном из IPCC AR5 [10].
Столбец общего воздействия на рисунке 4 представляет собой значения 1-использования, умноженные на 1-значения снижения выбросов, умноженные на ПГП. Это дает общую картину воздействия химического вещества. Химические вещества, оказывающие сильное общее воздействие, обычно имеют высокие значения ПГП, однако N2O оказывает относительно высокое воздействие, несмотря на относительно низкий ПГП. Большинство Н2O используется для низкотемпературного осаждения пленок на основе оксидов с очень низким коэффициентом использования [8], при этом снижение выбросов также относительно невелико.
Интересно, что хотя значения снижения выбросов IPCC обычно превышают девяносто процентов, в Соединенных Штатах крупные страны, производящие выбросы парниковых газов, должны сообщать EPA о своей эффективности снижения выбросов, а заявленные значения снижения выбросов намного ниже. Рисунок 5 иллюстрирует заявленную эффективность снижения выбросов для заводов в США, включенных в углеродную модель.
Рисунок 5. Заявленные значения снижения выбросов для передовых заводов шириной 300 мм в США.
Следует отметить, что правила отчетности Агентства по охране окружающей среды могут привести к тому, что заявленные значения снижения выбросов будут меньше фактических, но я также хотел бы отметить, что когда мы моделируем эти фабрики, используя заявленные значения снижения выбросов, мы получаем выбросы, соответствующие тем, которые они сообщают о выбросах, поэтому Я не думаю, что значения снижения выбросов очень далеки от этого. Я также хотел бы отметить, что, по моему мнению, значения снижения выбросов выше для фабрик в некоторых других странах и во всем мире для фабрик, охваченных углеродной моделью. Я считаю, что среднее снижение выбросов составляет около 70%.
Проверка модели
Как обсуждалось в разделе «Модель углерода», возможность моделирования отдельных фабрик можно использовать для сравнения расчетных выбросов модели с фактическими зарегистрированными выбросами.
На рисунке 6 данные о выбросах объектов Агентства по охране окружающей среды с 4 объектов, представляющих 3 компании и 15 заводов, были сложены вместе и сравнены с смоделированными данными для тех же самых заводов.
Рисунок 6. Проверка модели на основе данных Агентства по охране окружающей среды для объектов в США.
Как видно из рисунка 6, соответствие по категориям отличное. Следует отметить, что совпадение по 4 сайтам в целом лучше, чем совпадение по отдельным сайтам.
Участки на рисунке 6 представляют собой логические процессы от 28 до 4 нм.
На рисунке 7 модель проверена на основе общего объема выбросов парниковых газов по объектам, странам или компаниям.
Рисунок 7. Проверка модели на основе отчетов компании.
На рисунке 7 компания Micron Singapore представляет фабрики 3D NAND, Micron Japan и Тайвань — фабрики DRAM, TSMC Тайвань — фабрики логики, SK Hynix Company — фабрики 3D NAND и DRAM, а Kioxia Yokkaichi — 3D NAND. Данные, представленные на этом графике, взяты из отчетов компании ESG.
И снова матч отличный.
Результаты модели
Плотность логических транзисторов продолжает расти, хотя в прошлом это происходило более медленными темпами, это достигалось за счет все более сложных процессов с точки зрения количества этапов процесса и слоев маски. Плотность битов 3D NAND увеличивается из-за увеличения количества слоев, что приводит к увеличению размера стека памяти, требующему большего количества химикатов для осаждения и травления. Разрядность DRAM также увеличивается, хотя снова медленнее, чем в прошлом, что обусловлено увеличением этапов процесса и слоев маски.
На рисунке 8 представлены смоделированные выбросы для логики, 3D NAND и DRAM по «узлам».
Рисунок 8. Смоделированные выбросы.
На рисунке 8 представлены логические выбросы для логических процессов типа TSMC, выполняемых на Тайване с выбросами углекислого газа на Тайване в 2023 году и эффективностью снижения выбросов 70%. Представленные значения 3D NAND и DRAM относятся к процессам Samsung, выполняемым в Южной Корее, с выбросами углекислого газа в Южной Корее в 2023 году и сокращением выбросов на 70%.
Логично предположить, что наибольший вклад вносят выбросы углекислого газа категории 2. Следует отметить, что Тайвань имеет самый высокий уровень выбросов углекислого газа среди всех стран, где расположены передовые 300-миллиметровые заводы. В случае 3D NAND количество растущих слоев/высота стопки приводит к увеличению использования химических веществ первого уровня и потребления электроэнергии второго уровня. Для DRAM категории 1 электрические выбросы являются крупнейшим источником выбросов углекислого газа, пока не будет внедрен проектируемый процесс 2D DRAM. Процесс 2D DRAM имеет очень длинный стек памяти, требующий большого количества химикатов для осаждения и травления.
Существует множество возможностей значительно сократить выбросы углекислого газа:
- Электрические выбросы категории 2 можно сократить за счет перехода на источники электроэнергии с низким уровнем выбросов углерода, такие как ветер, атомная энергия, гидроэнергия или солнечная энергия.
- Доступны системы снижения выбросов с эффективностью снижения выбросов до 99% [11].
- Технологические процессы с более низким уровнем выбросов углерода могут быть заменены существующими химическими процессами с более высокими выбросами. На конференции VLSI Technology в этом году Tokyo Electron представила криогенный травитель, который может травить стопки 3D NAND с использованием химических веществ, не вызывающих парниковых газов, и с более высокими скоростями травления. Кроме того, очистка камеры обычно выполняется с помощью SF.6 или НФ3 действуют как средства доставки фтора. Оба газа имеют высокие значения ПГП. Вместо СФ6 и NF3Ж2 с ПГП 0 или COF2 с ПГП, равным 1, можно заменить. Следует отметить, что даже несмотря на то, что эти газы имеют 0 или 1 для ПГП, они могут объединяться с другими веществами в камере с образованием молекулы с высоким ПГП.
На рисунке 9 представлены выбросы в 2030 году на основе трех сценариев каждый для логического процесса 10 А, процесса 1,000D NAND с 3 слоями и процесса 80D DRAM с 3 слоями.
Рисунок 9. Углеродный след 2030 года.
В каждом случае значение на 2023 год предполагает выбросы углекислого газа в электроэнергетике в 2023 году и сокращение выбросов на 70% при нынешних химических процессах. Вероятный сценарий на 2023 год основан на прогнозируемых углеродных следах электроэнергии в 2030 году, показанных на рисунке 1, 90%-м снижении выбросов и новой системе/химическом процессе травления с памятью. Наконец, 2030 год – возможен, исходя из 24 г эквивалента CO2 на киловатт-час электроэнергии (солнечная энергия – 48, гидроэнергетика – 24, ветровая и ядерная энергия – 12 [5]).
Заключение
Модель TechInsights Carbon была разработана на основе бывшей модели стратегических затрат и цен IC Knowledge. Карбоновая модель позволяет провести детальное сравнение производства 300-мм труб ведущими компаниями. Моделируются источники электроэнергии, сжигание и технологические химикаты с использованием, снижением выбросов и ПГП. Углеродная модель включает обширные данные по конкретной компании. Углеродная модель в настоящее время доступна на сайте TechInsights.
Рекомендации
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] База данных часов TechInsights 300 мм.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Невидимые выбросы: прогноз выбросов в цепочке поставок технологий и потребления электроэнергии к 2030 году», Гринпис.
[5] Бардон и др., «DTCO, включая устойчивость: анализ показателей мощности, производительности, площади, затрат и окружающей среды (PPACE) для логических технологий», IEDM (2020).
[6] Годовой отчет ASML 2022, стр. 83.
[7] Смитс и др., «0.33 NA EUV-системы для крупносерийного производства», SPIE (2022).
[8] ТекИнсайтс
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
Читайте также:
Новости на саммите RISC-V – демонстрация Launchpad, посвященная инновациям небольших компаний
Поделитесь этим постом через:
- SEO-контент и PR-распределение. Получите усиление сегодня.
- PlatoData.Network Вертикальный генеративный ИИ. Расширьте возможности себя. Доступ здесь.
- ПлатонАйСтрим. Интеллект Web3. Расширение знаний. Доступ здесь.
- ПлатонЭСГ. Углерод, чистые технологии, Энергия, Окружающая среда, Солнечная, Управление отходами. Доступ здесь.
- ПлатонЗдоровье. Биотехнологии и клинические исследования. Доступ здесь.
- Источник: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :имеет
- :является
- :нет
- :куда
- $UP
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- 15%
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- способность
- поглощенный
- По
- Учетная запись
- достигнутый
- приобретенный
- действующий
- Действие
- деятельность
- фактического соединения
- Добавить
- добавленный
- добавить
- дополнительный
- адрес
- снова
- против
- ДОГОВОР
- Цель
- AIR
- AL
- Все
- вдоль
- причислены
- Несмотря на то, что
- количество
- an
- анализ
- и
- годовой
- любой
- кроме
- Приложения
- прикладной
- Применить
- Применение
- примерно
- МЫ
- ПЛОЩАДЬ
- около
- AS
- аспекты
- At
- Атмосфера
- внимание
- Авторы
- доступен
- в среднем
- назад
- барьеры
- бары
- основанный
- основной
- в основном
- BE
- , так как:
- становление
- было
- начинать
- не являетесь
- верить
- ниже
- Лучшая
- между
- Крупнейшая
- биомасса
- Немного
- Синии
- изоферменты печени
- Ломать
- Сломанный
- принес
- гореть
- сжигание
- но
- by
- рассчитанный
- исчисляет
- расчет
- CAN
- Пропускная способность
- углерод
- двуокись углерода
- выбросы углекислого газа
- углеродный след
- случаев
- случаев
- Катализатор
- Категории
- сертификаты
- Эти
- цепь
- проблемы
- камера
- изменение
- характеристика
- химический
- химических веществ
- заявив,
- Уборка
- CO
- co2
- холодный
- Column
- объединять
- сочетании
- как
- выходит
- Компании
- Компания
- сравнить
- сравненный
- сравнение
- комплекс
- концентрации
- Конференция
- доверие
- Рассматривать
- считается
- последовательный
- потребление
- продолжается
- участник
- контроль
- Конверсия
- конвертировать
- Цена
- дорогостоящий
- страны
- страна
- охват
- покрытый
- чехлы
- криогенный
- Текущий
- В настоящее время
- данным
- База данных
- определяющий
- поставка
- плотность
- описано
- Проект
- Несмотря на
- уничтожить
- подробный
- развитый
- Развитие
- трудный
- непосредственно
- обсуждается
- do
- приносит
- сделанный
- Dont
- дозировать
- вниз
- драматично
- управляемый
- диски
- два
- в течение
- Е & Т
- каждый
- раннее
- земля
- Edge
- эффект
- Эффективность
- затрат
- или
- Электрический
- электричество
- потребление электроэнергии
- потребление электроэнергии
- уничтожение
- излучение
- Выбросы
- позволяет
- энергетика
- энергетические проекты
- Enter
- вошел
- входящий
- EPA
- Оборудование
- Эквивалент
- эквиваленты
- ESG
- оценка
- По оценкам,
- Даже
- События
- НИКОГДА
- отлично
- Кроме
- проявлять
- существующий
- Выход
- расширяющийся
- Экспозиция
- простирающийся
- обширный
- средства
- Объект
- факторы
- далеко
- несколько
- фигура
- фильм
- в заключение
- финансовый
- Финансовые инструменты
- First
- Впервые
- 5
- поток
- Потоки
- после
- след
- Что касается
- Прогноз
- Бывший
- формы
- окаменелость
- ископаемое топливо
- найденный
- Бесплатно
- от
- топливо
- будущее
- ГАЗ
- в общем
- генерируется
- поколение
- получить
- выбросов парниковых газов
- выбросы парниковых газов
- дает
- Глобальный
- глобальное потепление
- хорошо
- Грамм
- парниковых газов
- Гринпис
- сетка
- Рост
- Есть
- высота
- Герой
- здесь
- High
- высший
- наивысший
- Выделите
- основной момент
- ГОРЯЧИЙ
- час
- Как
- How To
- Однако
- HTML
- HTTPS
- i
- определения
- МЭА
- if
- иллюстрирует
- Влияние
- эффектных
- Воздействие
- in
- дюймов
- включает в себя
- В том числе
- Увеличение
- повышение
- все больше и больше
- individual
- лиц
- промышленность
- Индустриальная революция
- промышленность
- начальный
- Инновации
- вход
- инструменты
- Intel
- интерес
- заинтересованный
- интересный
- в
- выпустили
- невидимый
- приглашенный
- Ирландия
- вопрос
- IT
- Япония
- JPG
- Основные
- Киловатт
- знания
- Корея
- большой
- больше
- крупнейших
- Launchpad
- слой
- слоев
- ведущий
- наименее
- Меньше
- уровень
- продолжительность жизни
- Вероятно
- линия
- линий
- связанный
- связи
- расположенный
- логика
- дольше
- серия
- Низкий
- ниже
- сделать
- макияж
- производство
- маска
- Совпадение
- материала
- материалы
- макс-ширина
- Май..
- значить
- средний
- Память
- микрон
- миллионы
- модель
- моделирование
- Модели
- молекула
- момент
- БОЛЕЕ
- самых
- много
- с разными
- умноженная
- должен
- my
- Наций
- натуральный
- Газ
- Необходимость
- необходимый
- сеть
- Новые
- нет
- узел
- узлы
- в своих размышлениях
- отметил,
- Ноябрь
- ядерный
- номер
- of
- от
- on
- консолидировать
- ONE
- те,
- постоянный
- только
- Возможности
- or
- Апельсин
- заказ
- Орегон
- осмос
- Другое
- наши
- внешний
- внешнюю
- за
- общий
- страница
- бумага & картон
- часть
- особый
- мимо
- для
- процент
- процент
- производительность
- картина
- кусок
- Часть
- Платон
- Платон Интеллектуальные данные
- ПлатонДанные
- Точка
- политика
- часть
- возможное
- После
- потенциал
- мощностью
- мощный
- представить
- presentation
- представлены
- разрабатывает
- цена
- в первую очередь
- Предварительный
- Проблема
- проблемам
- процесс
- Процессы
- приобретение
- производит
- Производство
- прогнозируемых
- Проекция
- Прогнозы
- проектов
- покупки
- купленный
- Обменный курс
- Стоимость
- реакция
- Читать
- причина
- получила
- недавно
- уменьшить
- Цена снижена
- снижение
- снижение
- отражает
- область
- относительно
- удаление
- Возобновляемый
- Возобновляемая энергия
- отчету
- Сообщается
- Reporting
- Отчеты
- представлять
- представленный
- представляющий
- представляет
- требовать
- Требования
- исследованиям
- результат
- в результате
- Итоги
- обратный
- Революция
- повышение
- Комната
- грубо
- условиями,
- Run
- то же
- Samsung
- сценарий
- Сценарии
- научный
- сфера
- Гол
- Раздел
- видел
- Полуприцепы
- полупроводник
- Сессия
- набор
- Наборы
- поставляется
- должен
- демонстрации
- Шоу
- Сименс
- значительный
- кремний
- с
- Сингапур
- одинарной
- сайте
- Сайтов
- Размеры
- Медленно
- меньше
- So
- солнечный
- твердый
- некоторые
- Источник
- Источники
- Южная
- Южная Корея
- конкретный
- квадраты
- стек
- Стеки
- Область
- Области
- неуклонно
- Шаг
- Шаги
- Стратегический
- Кабинет
- такие
- РЕЗЮМЕ
- Саммит
- поставка
- цепочками поставок
- Стабильность
- система
- системы
- Тайвань
- технологии
- технологии
- Технологии
- terms
- чем
- который
- Ассоциация
- Будущее
- их
- Их
- тогда
- Там.
- следовательно
- Эти
- они
- think
- этой
- В этом году
- те
- хоть?
- три
- Через
- пропускная способность
- время
- в
- сегодня
- вместе
- Токио
- Всего
- TSMC
- два
- напишите
- типично
- UN
- понимать
- Объединенный
- Объединенные Нации
- США
- до
- us
- Применение
- использование
- используемый
- использования
- через
- использовать
- подтверждено
- Проверка
- ценностное
- Наши ценности
- разнообразие
- Транспорт
- очень
- прошедшая проверка
- с помощью
- Вид
- объем
- хотеть
- теплый
- законопроект
- Смотреть
- Вода
- we
- Погода
- Web
- ЧТО Ж
- Что
- когда
- в то время как
- КТО
- все
- широко
- будете
- ветер
- Мир
- по всему миру
- бы
- год
- зефирнет