Oxford Instruments поставляет систему ALD британскому производителю микросветодиодов

Переиздано Платоном

Читают: 0

24 января 2024

Британская компания Oxford Instruments сообщает, что ее оборудование для атомно-слоевого осаждения (ALD) было установлено у «отмеченного наградами британского поставщика микросветодиодов» для поддержки новейших потребительских продуктов иммерсивной реальности и устройств отображения. Система используется для нанесения ультратонких диэлектрических пленок с высоким содержанием K для создания массивов пикселей RGB с высокой плотностью, очень высокой яркостью, низким энергопотреблением и высокой частотой кадров для потребительских устройств дополненной, виртуальной и смешанной реальности, а также интеллектуальных устройств. часы.

Увеличение спроса на носимые устройства меньшего форм-фактора с дисплеями высокой четкости способствует значительному росту исследований в этом секторе. Микро-светодиоды способны обеспечить размер шага кристалла <10 мкм и, следовательно, позволяют миниатюризировать потребительские носимые устройства отображения, сохраняя при этом высокое разрешение изображения. По мере уменьшения размера шага отношение периметра к площади пропорционально увеличивается, и повреждения, возникающие на этапе формирования и изоляции мезы, становятся фактором, ограничивающим производительность.

На 14-й Международной конференции по нитридным полупроводникам (ICNS 2023) в Фукуоке, Япония, в середине ноября, были представлены многочисленные презентации, подчеркивающие преимущества плазменного ALD для противодействия повреждениям. Также было показано, что плазменный ALD значительно увеличивает внешнюю квантовую эффективность, причем ALD описан как критически важный для миниатюрных излучателей света.

«Наша технология плазменного ALD с низким уровнем повреждений набирает обороты на рынке на нашей платформе, способной работать на расстоянии 200 мм», — говорит директор по стратегическому развитию бизнеса Oxford Instruments Клаас Вишневски. «Наше решение плазменной пассивации ALD high-K оптимизировано для меньших по размеру кристаллов с меньшими активными площадями и в некоторых случаях было продемонстрировано нашими клиентами в ICNS для удвоения внешней квантовой эффективности», — добавляет он. «Высокопроизводительные микросветодиоды малого форм-фактора являются важнейшим компонентом головных дисплеев виртуальной реальности и других продвинутых устройств, таких как умные часы, а наша технология позволяет создавать некоторые из наиболее желанных и продвинутых потребительских устройств».

Компания Oxford Instruments примет участие в мероприятии SPIE Photonics West 2024 в Сан-Франциско (30 января – 1 февраля), где поделится своими новейшими оптоэлектронными процессами для дополненной, виртуальной и смешанной реальности и квантовой реальности, а также приложениями для передачи данных для искусственного интеллекта и машин. обучение.

Смотрите связанные элементы:

Oxford Instruments запускает высокопроизводительную исследовательскую систему ALD

Теги: ОИПТ

Посетите: Plasma.oxinst.com