K-Space Launches XRF Thin-film Metrology Tool

Publisert av Platon

Følgere: 0

17 januar 2023

k-Space Associates Inc i Dexter, MI, USA – som ble grunnlagt i 1992 og produserer tynnfilm metrologiinstrumentering og programvare for forskning og produksjon av mikroelektroniske, optoelektroniske og fotovoltaiske enheter – har lansert kSA XRF røntgenfluorescens tynnfilm metrologiverktøy, som måler filmtykkelse for materialer som er for tynne for pålitelige optiske målinger.

kSA XRF bruker en røntgenkilde, detektor og proprietær programvare for å måle røntgenstrålingsspekteret, som deretter brukes til å beregne filmtykkelse i sanntid. Den måler de riktige atomartene basert på kundens unike beleggformel og målebehov. Denne teknikken har vist seg å måle halvleder- og dielektriske lag på glasspaneler, wafere og susceptorer for bruk i solenergi, kraft og andre tynnfilmsenheter.

kSA XRF, som kan konfigureres for et frittstående benketoppsett eller over en transportør for in-line inspeksjon og produksjonsprosesskontroll (som vist her).

Bilde: kSA XRF, som kan konfigureres for et frittstående benktoppsett eller over en transportør for in-line inspeksjon og produksjonsprosesskontroll (som vist her).

"Vi utviklet kSA XRF mens vi hjalp en av våre eksisterende kunder med å måle dielektriske belegg som ikke kunne måles med tradisjonelle optiske metoder," sier administrerende direktør Darryl Barlett. "XRF måler dielektriske belegg under 100nm og kan brukes av produsenter av glasspaneler, solcellepaneler, MOCVD-bærere og andre produkter," legger han til. "Det er et overlegent og mer skalerbart alternativ enn eksisterende verktøy og kan enkelt installeres i transportbånd."

kSA XRF kan konfigureres for et frittstående benktoppsett eller over en transportør for in-line inspeksjon og produksjonsprosesskontroll.

"KSA XRF lar brukere karakterisere og overvåke sine tynnfilmbelegg under produksjon, og dermed øke utbyttet og redusere kostnadene," bemerker Barlett.

Tags: k-Space Associates

Besøk: www.k-space.com