Oxford Instruments, 영국 마이크로 LED 제조업체에 ALD 시스템 공급

플라톤에 의해 재발행

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1월 24 2024

영국에 본사를 둔 Oxford Instruments는 자사의 ALD(원자층 증착) 장비가 최신 소비자 몰입형 현실 제품 및 디스플레이 장치를 지원하기 위해 "수상 경력이 있는 영국 마이크로 LED 공급업체"에 설치되었다고 밝혔습니다. 이 시스템은 소비자 증강 현실, 가상 현실, 혼합 현실 장치 및 스마트 장치를 위한 고밀도, 고휘도, 저전력 및 높은 프레임 속도의 RGB 픽셀 어레이를 위한 High-K 유전체 초박막 필름을 증착하는 데 사용됩니다. 시계.

고화질 디스플레이를 갖춘 소형 폼 팩터 웨어러블 장치에 대한 수요가 증가하면서 이 분야에 대한 연구가 크게 성장하고 있습니다. 마이크로 LED는 10μm 미만의 다이 피치 크기를 제공할 수 있으므로 높은 이미지 해상도를 유지하면서 소비자 웨어러블 디스플레이 장치의 소형화를 가능하게 합니다. 피치 크기가 감소함에 따라 주변 대 면적 비율은 비례적으로 증가하고 메사 형성 및 격리 단계에서 발생하는 손상은 성능을 제한하는 요소가 됩니다.

14월 중순 일본 후쿠오카에서 열린 제2023회 질화물 반도체 국제 컨퍼런스(ICNS XNUMX)에서는 손상 대응을 위한 플라즈마 ALD의 이점을 강조하는 수많은 발표가 이루어졌습니다. 플라즈마 ALD는 또한 외부 양자 효율을 크게 증가시키는 것으로 나타났으며, ALD는 소형 발광체에 중요한 것으로 설명됩니다.

Oxford Instruments의 전략 사업 개발 이사인 Klaas Wisniewski는 “우리의 저손상 플라즈마 ALD 기술은 우리의 200mm 가능 플랫폼에서 시장 견인력을 얻고 있습니다.”라고 말했습니다. "우리의 플라즈마 ALD high-K 패시베이션 솔루션은 더 작은 활성 영역을 가진 더 작은 다이에 최적화되어 있으며 일부 경우 ICNS 고객이 외부 양자 효율을 두 배로 늘리는 것으로 나타났습니다."라고 그는 덧붙입니다. "소형 폼 팩터 고성능 마이크로 LED는 가상 현실을 위한 헤드 마운트 디스플레이 및 스마트 시계와 같은 기타 고급 장치의 중요한 구성 요소이며, 우리의 기술은 가장 바람직하고 진보된 소비자 장치 중 일부를 가능하게 하고 있습니다."

Oxford Instruments는 샌프란시스코에서 열리는 SPIE Photonics West 2024 이벤트(30월 1일~XNUMX월 XNUMX일)에 참석하여 증강, 가상, 혼합 현실 및 양자를 위한 최신 광전자 공학 프로세스는 물론 인공 지능 및 기계를 위한 데이터 전송 애플리케이션을 공유할 예정입니다. 학습.