オックスフォード・インスツルメンツ、英国のマイクロLEDメーカーにALDシステムを供給

オックスフォード・インスツルメンツ、英国のマイクロLEDメーカーにALDシステムを供給

タイムスタンプ：24年2024月8日午前10時XNUMX分
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ニュース： サプライヤー

24 年 １ 月 2024 日

英国に本拠を置くオックスフォード・インスツルメンツは、同社の原子層堆積（ALD）装置が「受賞歴のある英国のマイクロLEDプロバイダー」に設置され、最新の消費者向け没入型リアリティ製品とディスプレイデバイスをサポートしていると述べた。このシステムは、民生用の拡張現実、仮想現実、複合現実デバイスやスマート デバイス向けの、高密度、非常に高輝度、低電力、高フレーム レートの RGB ピクセル アレイ用の High-K 誘電体超薄膜を堆積するために使用されます。時計。

高精細ディスプレイを備えた小型フォームファクタのウェアラブル デバイスに対する需要の増加により、この分野の研究が大幅に成長しています。マイクロ LED は、10µm 未満のダイピッチサイズを提供できるため、高い画像解像度を維持しながら、消費者向けウェアラブルディスプレイデバイスの小型化が可能になります。ピッチサイズが減少すると、周囲対面積比が比例して増加し、メサ形成および分離ステップ中に導入される損傷が性能制限要因になります。

14月中旬に日本の福岡で開催された第2023回窒化物半導体国際会議（ICNS XNUMX）では、損傷を防ぐためのプラズマALDの利点を強調する多数のプレゼンテーションが行われました。プラズマ ALD は外部量子効率を大幅に向上させることも示されており、ALD は小型発光体にとって重要であるとされています。

「当社の低ダメージプラズマ ALD 技術は、200mm 対応プラットフォームで市場の注目を集めています」と、オックスフォード インスツルメンツの戦略的ビジネス開発ディレクターの Klaas Wisniewski 氏は述べています。 「当社のプラズマ ALD High-K パシベーション ソリューションは、活性領域が小さい小型のダイ向けに最適化されており、場合によっては、ICNS の顧客によって外部量子効率が XNUMX 倍になることが示されました。」と彼は付け加えました。 「小型フォームファクターの高性能マイクロ LED は、仮想現実用のヘッドマウント ディスプレイやスマート ウォッチなどのその他の先進的なデバイスにおいて重要なコンポーネントであり、当社のテクノロジーは最も望ましい先進的な消費者向けデバイスの一部を実現しています。」

オックスフォード・インスツルメンツは、サンフランシスコで開催されるSPIE Photonics West 2024イベント（30月1日～XNUMX月XNUMX日）に参加し、拡張現実、仮想現実、複合現実、量子向けの最新のオプトエレクトロニクスプロセスや、人工知能と機械向けのデータ転送アプリケーションを共有します。学ぶ。

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参照してください。 プラズマ.oxinst.com

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