k-SpaceがXRF薄膜計測ツールを発売

k-SpaceがXRF薄膜計測ツールを発売

タイムスタンプ：17年2023月7日午前00時XNUMX分
ソースノード： 1905711

ニュース： サプライヤー

17 年 １ 月 2023 日

1992 年に設立された米国ミシガン州デクスターの k-Space Associates Inc は、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、および太陽光発電デバイスの研究と製造のための薄膜計測機器とソフトウェアを製造していますが、kSA XRF X 線蛍光薄膜を発売しました。信頼性の高い光学測定には薄すぎる材料の膜厚を測定する計測ツール。

kSA XRF は、X 線源、検出器、および独自のソフトウェアを使用して X 線放出スペクトルを測定し、これを使用してリアルタイムで膜厚を計算します。 お客様独自のコーティング処方と測定ニーズに基づいて、適切な原子種を測定します。 この技術は、ソーラー、電力、およびその他の薄膜デバイスの用途向けに、ガラスパネル、ウェーハ、およびサセプタ上の半導体および誘電体層を測定することが証明されています。

kSA XRF は、スタンドアローンのベンチトップ セットアップ用に構成することも、インライン検査および製造プロセス制御用のコンベア上に構成することもできます (ここに示すように)。

写真: kSA XRF は、スタンドアロンのベンチトップ セットアップ用に構成することも、インライン検査および製造プロセス制御用のコンベヤ上に構成することもできます (ここに示すように)。

「当社は、既存の顧客の 100 社が従来の光学的方法では測定できなかった誘電体コーティングを測定するのを支援しながら、kSA XRF を開発しました」と CEO の Darryl Barlett は言います。 「XRF は XNUMXnm 未満の誘電体コーティングを測定し、ガラス パネル、ソーラー パネル、MOCVD [有機金属化学蒸着] キャリア、その他の製品のメーカーが使用できます」と彼は付け加えます。 「これは、既存のツールよりも優れたスケーラブルなオプションであり、コンベア ラインに簡単に取り付けることができます。」

kSA XRF は、スタンドアローンのベンチトップ セットアップ用に、またはインライン検査と製造プロセス制御用のコンベア上に構成できます。

「kSA XRF を使用すると、ユーザーは製造中に薄膜コーティングの特性を調べて監視できるため、歩留まりが向上し、コストが削減されます」と Barlett 氏は述べています。

タグ： k-スペース・アソシエイツ

参照してください。 www.k-space.com

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