KERI מעבירה טכנולוגיית הערכת השתלת יונים מוליכים למחצה כוח SiC ל- SEMILAB של הונגריה

חדשות: ספקים

8 ספטמבר 2023

המכון לחקר האלקטרוטכנולוגיה של קוריאה (KERI) - הממומן במסגרת מועצת המחקר הלאומית למדע וטכנולוגיה (NST) של משרד המדע וה-ICT של דרום קוריאה - העביר טכנולוגיית השתלת והערכה של יונים עבור מוליכים למחצה של סיליקון קרביד (SiC) לציוד מטרולוגי. חברת SEMILAB ZRT מבודפשט, הונגריה.

בעוד שלמוליכים למחצה כוח SiC יש יתרונות רבים, תהליך הייצור מאתגר מאוד. בעבר, השיטה הייתה ליצור מכשיר על ידי יצירת שכבה אפיטקסיאלית על רקיק מוליך מאוד והזרמת זרם דרך האזור הזה. עם זאת, במהלך תהליך זה, פני שכבת האפילציה הופכים מחוספסים ומהירות העברת האלקטרונים יורדת. גם המחיר של האפיוואפר עצמו גבוה, מה שמהווה מכשול עיקרי לייצור המוני.

כדי לפתור בעיה זו, KERI השתמש בשיטה של ​​השתלת יונים לתוך רקיקת SiC מבודדת למחצה ללא אפילייה על מנת להפוך את הפרוסה למוליכת.

מכיוון שחומרי SiC קשים, הם דורשים השתלת יונים באנרגיה גבוהה מאוד ולאחר מכן טיפול בחום בטמפרטורה גבוהה כדי להפעיל את היונים, מה שהופך אותה לטכנולוגיה קשה ליישום. עם זאת, KERI אומרת כי בהתבסס על 10 שנות הניסיון שלה בהפעלת ציוד להשתלת יונים המוקדש ל-SiC, היא הצליחה לבסס את הטכנולוגיות הרלוונטיות.

תמונה: שני משמאל, ד"ר בהנג ווק, מנכ"ל חטיבת מחקר מוליכים למחצה כוח של KERI; שלישי משמאל, פארק סו-יונג, מנכ"ל Semilab Korea Co Ltd.

"טכנולוגיית השתלת יונים יכולה להפחית משמעותית את עלויות התהליך על ידי הגדלת זרימת הזרם במכשירי מוליכים למחצה והחלפת אפיוואפרים יקרים", אומר ד"ר קים היוונג וו, מנהל, מרכז מחקר מוליכים למחצה מתקדמים, KERI. "זוהי טכנולוגיה שמגדילה את תחרותיות המחירים של מוליכים למחצה SiC בעלי ביצועים גבוהים ותורמת רבות לייצור המוני."

הטכנולוגיה הועברה לאחרונה ל-SEMILAB, שלה מפעלי ייצור בהונגריה ובארה"ב. עם היסטוריה של 30 שנה, SEMILAB מחזיקה בפטנטים לציוד מדידה דיוק בינוני וציוד לאפיון חומרים, ובעלת טכנולוגיה למערכות הערכת פרמטרים חשמליים מוליכים למחצה.

תמונה: פרוסות SiC מבודדות למחצה.

החברות מצפות שבאמצעות העברת הטכנולוגיה הן יוכלו לתקן SiC באיכות גבוהה. SEMILAB מתכננת להשתמש בטכנולוגיה של KERI כדי לפתח ציוד מיוחד להערכת תהליך השתלת יונים עבור מוליכים למחצה כוח SiC. "באמצעות פיתוח ציוד מיוחד, נוכל להתקדם בניטור מקוון של תהליכי השתלה על פרוסות SiC לבקרת ייצור מיידית, מדויקת ובעלות נמוכה של מערכות השתלים וניטור מקוון עבור השתלה טרום חישול", אומר פארק סו-יונג, נשיא SEMILAB קוריאה. "זה יהיה בסיס מצוין לאבטחה יציבה של תהליך ייצור המוני של השתלת יונים באיכות גבוהה עם אחידות ושחזור מצוינים."

תגיות: מכשירי SiC אלקטרוניקה כוח משתלי יונים

בקרו באתר: www.semilab.com

בקרו באתר: www.keri.re.kr/html/en

• הפצת תוכן ויחסי ציבור מופעל על ידי SEO. קבל הגברה היום.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. העצים את עצמך. גישה כאן.
• PlatoAiStream. Web3 Intelligence. הידע מוגבר. גישה כאן.
• PlatoESG. רכב / רכבים חשמליים, פחמן, קלינטק, אנרגיה, סביבה, שמש, ניהול פסולת. גישה כאן.
• PlatoHealth. מודיעין ביוטכנולוגיה וניסויים קליניים. גישה כאן.
• ChartPrime. הרם את משחק המסחר שלך עם ChartPrime. גישה כאן.
• BlockOffsets. מודרניזציה של בעלות על קיזוז סביבתי. גישה כאן.
• מקור: https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/sep/keri-semilabzrt-080923.shtml