Aixtron משיקה פלטפורמת G10-GaN MOCVD עבור התקני חשמל ו-RF

Aixtron משיקה פלטפורמת G10-GaN MOCVD עבור התקני חשמל ו-RF

צומת המקור: 2867170

6 ספטמבר 2023

באירוע SEMICON Taiwan 2023 בטאיפיי (6-8 בספטמבר), השיקה יצרנית ציוד השקיעה Aixtron SE מהרצוגנראת, ליד אאכן, גרמניה, פלטפורמת ה-G10-GaN החדשה שלה ל-GXNUMX-GaN פלטפורמת שיקוע אדי מתכת-אורגני כימי (MOCVD) עבור גליום ניטריד (GaN) התקני הספק ותדרי רדיו (RF), המציעים את מה שנטען כביצועים הטובים ביותר מסוגו, עיצוב קומפקטי חדש לגמרי, והעלות הנמוכה ביותר לכל רקיק.

תמונה: מערכת ה-G10-GaN MOCVD החדשה של Aixtron.

"פלטפורמת ה-G10-GaN החדשה שלנו כבר הוסמכה לייצור נפח של מכשירי כוח GaN על ידי יצרן מכשירים מוביל בארה"ב", מציין המנכ"ל והנשיא ד"ר פליקס גראוורט. "הפלטפורמה החדשה מספקת פרודוקטיביות כפולה לכל אזור חדר נקי מאשר המוצר הקודם שלנו, תוך שהיא מאפשרת רמה חדשה של אחידות חומרים, ופותחת מנופים חדשים של תחרותיות עבור הלקוחות שלנו", הוא מוסיף. "התקני כוח GaN אמורים למלא תפקיד מכריע בהפחתת CO העולמי2 פליטות על ידי הצעת המרת כוח יעילה הרבה יותר מסיליקון קונבנציונלי, ומפחיתה את ההפסדים בפקטור של שניים עד שלושה. אנו מצפים שהשוק הזה יגדל ללא הרף עד סוף העשור ואילך. כיום, GaN כבר החליפה סיליקון עבור מטענים מהירים המשמשים במכשירים ניידים, ואנו רואים ביקוש הולך וגובר למרכזי נתונים או אפליקציות סולריות".

Aixtron מפתחת תהליכי GaN-on-Si וחומרה כבר יותר מ-20 שנה. הכור הפלנטרי AIX G5+C שלו היה מערכת ה-GAN MOCVD האוטומטית המלאה הראשונה עקב ניקוי במקום ואוטומציה של קלטת לקלטת. פתרון אשכולות G10-GaN החדש מבוסס על אותם יסודות תוך הרחבת כל מדד ביצועים בודד.

ארוז בפריסה חדשה וקומפקטית כדי לנצל את שטח החדר הנקי הקטן ביותר, הפלטפורמה מגיעה עם פתחי כור חדשניים, המשפרת את אחידות החומר בפקטור של שניים לתפוקת מכשירים אופטימלית. חיישנים מובנים משלימים על ידי חבילת תוכנה חדשה ופתרונות טביעות אצבע כדי להבטיח שהמערכת מספקת באופן עקבי את אותם ביצועים ריצה אחר הפעלה, בין תחזוקה לכל מודולי התהליך - מה שמאריך את זמן הפעולה של הציוד ביותר מ-5% בהשוואה לדור הקודם.

ניתן לצייד את המקבץ עם עד שלושה מודולי תהליך, המספקים קיבולת שיא של פרוסות בגודל 15x200 מ"מ הודות לטכנולוגיית כור אצווה פלנטרי - מה שמאפשר הפחתה של 25% בעלויות לכל רקיק בהשוואה למוצרים קודמים.

ראה פריטים קשורים:

Aixtron משקיעה עד 100 מיליון אירו לבניית מרכז חדשנות חדש

Aixtron משיקה מערכת G10-AsP ב-Photonic West

Aixtron משיקה מערכת G10-SiC 200mm CVD

תגיות: אייקסטרון

בקרו באתר: www.aixtron.com

בול זמן:

עוד מ מוליכים למחצה היום