Oxford Instruments fornisce il sistema ALD al produttore di micro-LED del Regno Unito

Ripubblicato da Platone

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24 Gennaio 2024

Oxford Instruments, con sede nel Regno Unito, afferma che la sua attrezzatura per la deposizione di strati atomici (ALD) è stata installata presso un "premiato fornitore di micro-LED nel Regno Unito" per supportare i più recenti prodotti e dispositivi di visualizzazione di realtà immersiva del consumatore. Il sistema viene utilizzato per depositare pellicole ultrasottili dielettriche ad alto K per array di pixel RGB ad alta densità, altissima luminosità, basso consumo e frame rate elevato per dispositivi di realtà aumentata, virtuale e mista di consumo e dispositivi intelligenti orologi.

L’aumento della domanda di dispositivi indossabili con fattore di forma più piccolo, con display ad alta definizione, sta alimentando una crescita significativa della ricerca per questo settore. I micro-LED sono in grado di fornire dimensioni del passo del die <10 µm e quindi consentono la miniaturizzazione dei dispositivi di visualizzazione indossabili di consumo, pur mantenendo un'elevata risoluzione dell'immagine. Man mano che la dimensione del passo diminuisce, il rapporto perimetro-area aumenta proporzionalmente e il danno introdotto durante la fase di formazione e isolamento della mesa diventa un fattore limitante delle prestazioni.

Alla 14a conferenza internazionale sui semiconduttori al nitruro (ICNS 2023) tenutasi a Fukuoka, in Giappone, a metà novembre, sono state tenute numerose presentazioni che hanno evidenziato i benefici dell'ALD al plasma per contrastare i danni. È stato anche dimostrato che l'ALD al plasma aumenta significativamente l'efficienza quantistica esterna, con l'ALD descritto come fondamentale per gli emettitori di luce in miniatura.

"La nostra tecnologia ALD al plasma a basso danno sta guadagnando terreno sul mercato sulla nostra piattaforma da 200 mm", afferma Klaas Wisniewski, direttore dello sviluppo aziendale strategico di Oxford Instruments. “La nostra soluzione di passivazione al plasma ALD ad alto valore K è ottimizzata per stampi più piccoli con aree attive più piccole e, in alcuni casi, i nostri clienti presso l’ICNS hanno dimostrato di raddoppiare l’efficienza quantica esterna”, aggiunge. “I micro-LED ad alte prestazioni e di piccolo formato sono un componente fondamentale nei display montati sulla testa per la realtà virtuale e in altri dispositivi avanzati come gli orologi intelligenti, e la nostra tecnologia sta abilitando alcuni dei dispositivi consumer più desiderabili e avanzati”.

Oxford Instruments parteciperà all'evento SPIE Photonics West 2024 a San Francisco (30 gennaio-1 febbraio), dove condividerà i suoi ultimi processi optoelettronici per la realtà aumentata, virtuale e mista e quantistica, nonché le applicazioni di trasferimento dati per l'intelligenza artificiale e le macchine. apprendimento.

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