A K-Space elindítja az XRF vékonyrétegű metrológiai eszközt

Újra kiadta Platón

Követő: 0

17. január 2023.

Az 1992-ben alapított k-Space Associates Inc. (Dexter, MI, USA) – amely vékonyréteg-metrológiai műszereket és szoftvereket gyárt mikroelektronikai, optoelektronikai és fotovoltaikus eszközök kutatásához és gyártásához – elindította a kSA XRF röntgenfluoreszcens vékonyfilmet. metrológiai eszköz, amely olyan anyagok filmvastagságát méri, amelyek túl vékonyak a megbízható optikai mérésekhez.

A kSA XRF röntgenforrást, detektort és szabadalmaztatott szoftvert használ a röntgensugárzási spektrum mérésére, amelyet azután a filmvastagság valós idejű kiszámítására használ. Megméri a megfelelő atomfajtákat a megrendelő egyedi bevonatformula és mérési igényei alapján. Ez a technika bizonyítottan képes félvezető és dielektromos rétegek mérésére üvegpaneleken, ostyákon és szuszceptorokon szoláris, energia- és egyéb vékonyfilmes eszközökben történő alkalmazásokhoz.

A kSA XRF, amely konfigurálható önálló asztali beállításhoz vagy szállítószalagon keresztül a soron belüli ellenőrzéshez és a gyártási folyamat vezérléséhez (amint az itt látható).

Kép: A kSA XRF, amely konfigurálható önálló asztali beállításhoz vagy szállítószalagon keresztül a soron belüli ellenőrzéshez és a gyártási folyamat vezérléséhez (amint az itt látható).

„A kSA XRF-et úgy fejlesztettük ki, hogy közben segítettünk egyik meglévő ügyfelünknek olyan dielektromos bevonatok mérésében, amelyeket hagyományos optikai módszerekkel nem lehetett mérni” – mondja Darryl Barlett vezérigazgató. "Az XRF a 100 nm alatti dielektromos bevonatokat méri, és üvegpanelek, napelemek, MOCVD [fém-szerves kémiai gőzleválasztási] hordozók és más termékek gyártói használhatják" - teszi hozzá. "Ez egy kiváló és jobban méretezhető opció, mint a meglévő eszközök, és könnyen beépíthető a szállítószalagokba."

A kSA XRF konfigurálható önálló asztali beállításhoz vagy szállítószalagon keresztül a soron belüli ellenőrzéshez és a gyártási folyamat vezérléséhez.

„A kSA XRF lehetővé teszi a felhasználók számára, hogy a gyártás során jellemezzék és nyomon kövessék vékonyréteg-bevonataikat, ezáltal növelve a hozamot és csökkentve a költségeket” – jegyzi meg Barlett.

Címkék: k-Space Associates

Látogasson el: www.k-space.com