Átfogó tanulmány a félvezetőhiba-észlelésről a SEM-képekben a SEMI-PointRend használatával
ering A félvezetőhiba-észlelés kritikus folyamat az integrált áramkörök gyártásában. Fontos a gyártási folyamat esetleges hibáinak feltárása annak érdekében, hogy a végtermék jó minőségű legyen és megfeleljen az előírt szabványoknak. A pásztázó elektronmikroszkópos (SEM) képek használata a hibák észlelésére egyre népszerűbb, mivel képes részletes képeket készíteni a félvezető felületéről. A hagyományos SEM képelemzési technikák azonban korlátozottak a hibák pontos észlelésére. A közelmúltban megjelent egy új technika, a SEMI-PointRendering.