Taiyo Nippon Sanso käivitab UR26K-CCD MOCVD süsteemi GaN masstootmiseks

Taiyo Nippon Sanso käivitab UR26K-CCD MOCVD süsteemi GaN masstootmiseks

Ajatempel: 12. juuli 2023 12:42
Allikasõlm: 2758893

Uudised: Tarnijad

12 juuli 2023

Jaapanis Tokyos asuv Taiyo Nippon Sanso Corp (TNSC) on galliumnitriidi (GaN) masstootmiseks käivitanud UR26K-CCD metalli-orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise süsteemi (MOCVD).
Kuna UR26K-CCD on tootmismastaabis lipulaev, millel on täielikult automatiseeritud vahvlite käitlemine ja osade puhastamine, võib see tavaliste süsteemidega võrreldes suurendada tootmise efektiivsust umbes 2 korda.

Taiyo Nippon Sanso uus UR26K-CCD MOCVD süsteem.

Pilt: Taiyo Nippon Sanso uus UR26K-CCD MOCVD süsteem.

Võrreldes olemasoleva UR26K kommertstootmissüsteemiga GaN MOCVD on tootlikkuse suurendamiseks uus UR26K-CCD täiustatud mudel, mis pakub täiustatud automaatset ülekandemehhanismi "kassett-kassetti vahvlite käsitsemise süsteem" ja "integreeritud keemilise puhastuse süsteem" kuivadele. -reaktori osade puhastamine.

Need funktsioonid võimaldavad täielikult automatiseeritud vahvlite ülekandmist seadme sees. Lisaks, kuna reaktoris olevad kasutatud osad viiakse ülekanderobotiga süsteemi sees üle eraldi paigaldatud keemilise puhastuskambrisse ja tagastatakse pärast puhastamist reaktorisse, toimub kogu epitaksiaalne kasvuprotsess puhaste osadega. See automatiseeritud tsükkel välistab vajaduse katkestada kasvukambri töö puhastusprotsessi jaoks, mis suurendab tootmise efektiivsust umbes 2 korda võrreldes tavapärase süsteemiga.

GaN-räni vahvlite kasvatamine võib tekitada olulisi väljakutseid reprodutseeritavate tulemuste saavutamisel, mis on tingitud vahvlite saastumisest võõrmaterjalide ja vahvlite väändumise tõttu. Taiyo Nippon Sanso ütleb, et puhastusüksuse integreerimine ja reaktorikeskkonna ühtluse säilitamine peaks parandama reprodutseeritavust ja suuremat tootlikkuse suhet, st madalamaid kogukulusid.

10 × 6" või 6 × 8" vahvli suurus on reaktori konfiguratsioon (küljega ülespoole, pöörlemine ja pööre) sama, mis tavalisel UR26K, mis kasutab ettevõtte patenteeritud kolme laminaarse vooluga horisontaalset gaasidüüsi ja hammasrattaga töötavat vahvli pöörlemismehhanismi. ja 6-tsooniline takistussoojendi ühtlaseks kilekasvuks. Allikate hulka kuuluvad TMGa, TEGa, TMAl, TMIn, NH3, Cp2Mg ja SiH4. Kasvurõhk on 13-100kPa. Rakendused hõlmavad toiteseadmeid, kõrgsagedusseadmeid ja mikro-LED-sid.

Vaadake seotud üksusi:

Nippon Sanso ja NCSU teevad koostööd GaN-i epitaksi ja seadmetehnoloogia alal

Sildid: Taiyo Nippon Sanso

Külasta: www.tn-sanso.co.jp/en

Ajatempel:

Veel alates Pooljuht täna