أطلقت شركة Taiyo Nippon Sanso نظام UR26K-CCD MOCVD لإنتاج الجاليوم الضخم

الأخبار: الموردون

12 يوليو 2023

أطلقت شركة Taiyo Nippon Sanso Corp (TNSC) في طوكيو ، اليابان نظام ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني UR26K-CCD (MOCVD) لإنتاج كميات كبيرة من نيتريد الغاليوم (GaN).
نظرًا لأن نموذج MOCVD الرائد على نطاق الإنتاج ، مع المعالجة الآلية بالكامل للرقائق وتنظيف الأجزاء ، يُعتقد أن UR26K-CCD يمكن أن يزيد من كفاءة الإنتاج بحوالي 2x مقارنة بالأنظمة التقليدية.

الصورة: نظام UR26K-CCD MOCVD الجديد من Taiyo Nippon Sanso.

بالمقارنة مع نظام GaN MOCVD للإنتاج التجاري الحالي UR26K ، لتعزيز الإنتاجية ، فإن UR26K-CCD الجديد هو نموذج مُحسَّن يقدم آلية نقل آلية مُحسَّنة "نظام معالجة رقاقة الكاسيت إلى كاسيت" و "نظام تنظيف جاف متكامل" للتجفيف - تنظيف أجزاء المفاعل.

تسمح هذه الميزات بالنقل الآلي بالكامل للرقائق داخل الوحدة. بالإضافة إلى ذلك ، نظرًا لأن الأجزاء المستخدمة داخل المفاعل يتم نقلها داخل النظام بواسطة روبوت النقل إلى غرفة التنظيف الجاف المثبتة بشكل منفصل وإعادتها إلى المفاعل بعد التنظيف ، تتم معالجة عملية النمو فوق المحور بالكامل بأجزاء نظيفة. هذه الدورة المؤتمتة تلغي الحاجة إلى مقاطعة تشغيل غرفة النمو لعملية التنظيف ، مما يزيد من كفاءة الإنتاج بحوالي 2x مقارنة بالنظام التقليدي.

يمكن أن يشكل نمو رقائق GaN-on-silicon تحديات كبيرة لتحقيق نتائج قابلة للتكرار ، وهي صعوبة تُعزى إلى تلوث الرقاقات بسبب المواد الغريبة وتزييف الرقائق. يجب أن يؤدي دمج وحدة التنظيف والحفاظ على اتساق بيئة المفاعل إلى تحسين إمكانية التكاثر وزيادة نسب العائد ، أي انخفاض التكلفة الإجمالية للملكية ، كما يقول تايو نيبون سانسو.

يستوعب حجم 10 × 6 بوصة أو 6 × 8 بوصة ، تكوين المفاعل (الوجه لأعلى ، الدوران والثورة) هو نفسه UR26K التقليدي ، والذي يستخدم فوهات الغاز الأفقية ذات التدفق الصفحي الثلاثة المملوكة للشركة ، وآلية دوران الويفر التي تحركها التروس ، وسخان مقاومة 6 مناطق لنمو فيلم موحد. تشمل المصادر TMGa و TEGa و TMAl و TMIn و NH3، سي بي2Mg و SiH4. ضغط النمو 13-100kPa. تشمل التطبيقات أجهزة الطاقة والأجهزة عالية التردد ومصابيح LED الصغيرة.

انظر البنود ذات الصلة:

يتعاون Nippon Sanso و NCSU في تركيب GaN وتقنية الجهاز

الوسوم (تاج): تايو نيبون سانسو

زيارة الموقع: www.tn-sanso.co.jp/en

• محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
• أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
• أفلاطون السيارات / المركبات الكهربائية ، كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
• BlockOffsets. تحديث ملكية الأوفست البيئية. الوصول هنا.
• المصدر https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/jul/taiyo-nippon-sanso-120723.shtml