SEMI-PointRend:通过 SEM 图像提高半导体缺陷分析的准确性和细节

源节点: 2011071

半导体缺陷分析是集成电路制造过程的重要组成部分。缺陷可能会导致各种问题,从性能下降到设备完全故障。为了确保生产出最高质量的产品,必须有可靠且准确的方法来检测和分析缺陷。 SEMI-PointRend 是一项新技术,可提高扫描电子显微镜 (SEM) 图像的半导体缺陷分析的准确性和细节。

SEMI-PointRend 是一种基于机器学习的图像处理系统,使用深​​度学习算法来检测和分析半导体器件中的缺陷。它设计用于与 SEM 图像一起使用,提供比传统光学显微镜更高的分辨率。通过使用深度学习算法,SEMI-PointRend 能够比传统方法更准确、更详细地检测和分类缺陷。

该系统的工作原理是首先从 SEM 图像中提取特征。然后使用这些特征来训练深度学习模型,然后使用该模型来检测和分类图像中的缺陷。该模型使用具有已知缺陷的大型 SEM 图像数据集进行训练,即使在低对比度或低信噪比的图像中也能准确检测和分类缺陷。

SEMI-PointRend 已在各种不同的半导体器件上进行了测试,包括芯片、晶圆和封装。在所有情况下,它都能比传统方法更准确地检测和分类缺陷。此外,该系统能够检测人眼看不见的缺陷,从而可以进行更彻底的缺陷分析。

总体而言,SEMI-PointRend 是一种有效的工具,可提高 SEM 图像半导体缺陷分析的准确性和细节。通过使用深度学习算法,它能够比传统方法更准确地检测和分类缺陷,从而实现更彻底的缺陷分析。该技术有助于确保生产出最高质量的产品,从而提高半导体器件的性能和可靠性。

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