KERI نے SiC پاور سیمی کنڈکٹر آئن امپلانٹیشن تشخیصی ٹیکنالوجی کو ہنگری کے SEMILAB میں منتقل کیا

KERI نے SiC پاور سیمی کنڈکٹر آئن امپلانٹیشن تشخیصی ٹیکنالوجی کو ہنگری کے SEMILAB میں منتقل کیا

ماخذ نوڈ: 2869633

8 ستمبر 2023

کوریا الیکٹروٹیکنالوجی ریسرچ انسٹی ٹیوٹ (KERI) - جسے جنوبی کوریا کی وزارت سائنس اور ICT کی نیشنل ریسرچ کونسل آف سائنس اینڈ ٹیکنالوجی (NST) کے تحت مالی اعانت فراہم کی جاتی ہے - نے سلیکون کاربائیڈ (SiC) پاور سیمی کنڈکٹرز کے لیے آئن امپلانٹیشن اور تشخیصی ٹیکنالوجی کو میٹرولوجی آلات میں منتقل کر دیا ہے۔ بوڈاپیسٹ، ہنگری کی فرم SEMILAB ZRT۔

جبکہ SiC پاور سیمی کنڈکٹرز کے بہت سے فوائد ہیں، مینوفیکچرنگ کا عمل بہت مشکل ہے۔ اس سے پہلے، طریقہ یہ تھا کہ ایک انتہائی کنڈکٹیو ویفر پر ایک epitaxial تہہ بنا کر اور اس علاقے میں کرنٹ بہا کر ایک ڈیوائس بنائی جائے۔ تاہم، اس عمل کے دوران، ایپلیئر کی سطح کھردری ہو جاتی ہے اور الیکٹران کی منتقلی کی رفتار کم ہو جاتی ہے۔ خود ایپی وافر کی قیمت بھی زیادہ ہے جو کہ بڑے پیمانے پر پیداوار میں بڑی رکاوٹ ہے۔

اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے، KERI نے ویفر کو کنڈکٹیو بنانے کے لیے ایپلیئر کے بغیر نیم موصل سی سی ویفر میں آئنوں کو لگانے کا طریقہ استعمال کیا۔

چونکہ SiC مواد سخت ہوتے ہیں، ان کو بہت زیادہ توانائی والے آئن امپلانٹیشن کی ضرورت ہوتی ہے جس کے بعد آئنوں کو چالو کرنے کے لیے ہائی ٹمپریچر ہیٹ ٹریٹمنٹ کی ضرورت ہوتی ہے، جس سے اسے نافذ کرنا ایک مشکل ٹیکنالوجی بن جاتا ہے۔ تاہم، KERI کا کہنا ہے کہ، SiC کے لیے وقف کردہ آئن امپلانٹیشن آلات کو چلانے میں اپنے 10 سال کے تجربے کی بنیاد پر، اس نے متعلقہ ٹیکنالوجیز کو قائم کرنے میں کامیابی حاصل کی ہے۔

بائیں سے دوسرے نمبر پر، ڈاکٹر باہنگ ووک، KERI کے پاور سیمی کنڈکٹر ریسرچ ڈویژن کے ایگزیکٹو ڈائریکٹر؛ بائیں سے تیسرے نمبر پر، پارک سو یونگ، سیمیلاب کوریا کمپنی لمیٹڈ کے سی ای او۔

تصویر: بائیں سے دوسرے، ڈاکٹر باہنگ ووک، KERI کے پاور سیمی کنڈکٹر ریسرچ ڈویژن کے ایگزیکٹو ڈائریکٹر؛ بائیں سے تیسرے نمبر پر، پارک سو یونگ، سیمیلاب کوریا کمپنی لمیٹڈ کے سی ای او۔

"آئن امپلانٹیشن ٹیکنالوجی سیمی کنڈکٹر آلات میں موجودہ بہاؤ کو بڑھا کر اور مہنگے ایپی وافرز کی جگہ لے کر عمل کی لاگت کو نمایاں طور پر کم کر سکتی ہے،" ڈاکٹر کم ہیونگ وو، ڈائریکٹر، ایڈوانسڈ سیمی کنڈکٹر ریسرچ سنٹر، KERI کہتے ہیں۔ "یہ ایک ایسی ٹیکنالوجی ہے جو اعلی کارکردگی والے SiC پاور سیمی کنڈکٹرز کی قیمت کی مسابقت کو بڑھاتی ہے اور بڑے پیمانے پر پیداوار میں بہت زیادہ حصہ ڈالتی ہے۔"

اس ٹیکنالوجی کو حال ہی میں SEMILAB کو منتقل کیا گیا، جس کے ہنگری اور USA میں مینوفیکچرنگ پلانٹس ہیں۔ 30 سالہ تاریخ کے ساتھ، SEMILAB درمیانے درجے کے درست پیمائش کے آلات اور مواد کی خصوصیت کے سازوسامان کے پیٹنٹ کا مالک ہے، اور اس کے پاس سیمی کنڈکٹر الیکٹریکل پیرامیٹر کی تشخیص کے نظام کے لیے ٹیکنالوجی ہے۔

نیم موصل سی سی ویفر۔

تصویر: نیم موصل سی سی ویفر۔

فرموں کو توقع ہے کہ ٹیکنالوجی کی منتقلی کے ذریعے، وہ اعلیٰ معیار کے SiC کو معیاری بنانے کے قابل ہو جائیں گی۔ SEMILAB SiC پاور سیمی کنڈکٹرز کے لیے آئن امپلانٹیشن کے عمل کا جائزہ لینے کے لیے خصوصی آلات تیار کرنے کے لیے KERI کی ٹیکنالوجی کو استعمال کرنے کا ارادہ رکھتا ہے۔ "خصوصی آلات کی ترقی کے ذریعے، ہم امپلانٹ سسٹم کے فوری، درست اور کم لاگت پروڈکشن کنٹرول اور پری اینیل امپلانٹ کے لیے ان لائن مانیٹرنگ کے لیے SiC ویفرز پر امپلانٹ کے عمل کی ان لائن مانیٹرنگ کو آگے بڑھانے کے قابل ہو جائیں گے،" کہتے ہیں۔ پارک سو یونگ، سیمیلاب کوریا کی صدر۔ "یہ بہترین یکسانیت اور تولیدی صلاحیت کے ساتھ اعلیٰ معیار کے آئن امپلانٹیشن بڑے پیمانے پر پیداواری عمل کو مستحکم طور پر محفوظ بنانے کے لیے ایک بہترین بنیاد ہوگی۔"

ٹیگز: SiC ڈیوائسز پاور الیکٹرانکس آئن امپلانٹرز

ملاحظہ کریں: www.semilab.com

ملاحظہ کریں: www.keri.re.kr/html/en

ٹائم اسٹیمپ:

سے زیادہ سیمی کنڈکٹر آج