Aixtron, güç ve RF cihazları için G10-GaN MOCVD platformunu piyasaya sürüyor

Aixtron, güç ve RF cihazları için G10-GaN MOCVD platformunu piyasaya sürüyor

Kaynak Düğüm: 2867170

6 Eylül 2023

Taipei'de (2023-6 Eylül) düzenlenen SEMICON Tayvan 8 etkinliğinde, Almanya, Aachen yakınlarındaki Herzogenrath'tan biriktirme ekipmanı üreticisi Aixtron SE, galyum nitrür (GaN) için yeni G10-GaN küme metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) platformunu piyasaya sürdü. ) tabanlı güç ve radyo frekansı (RF) cihazları, sınıfının en iyisi olduğu iddia edilen performansı, tamamen yeni bir kompakt tasarımı ve genel olarak levha başına en düşük maliyeti sunar.

Resim: Aixtron'un yeni G10-GaN MOCVD sistemi.

CEO ve başkan Dr. Felix Grawert, "Yeni G10-GaN platformumuz, ABD'nin önde gelen cihaz üreticilerinden biri tarafından GaN güç cihazlarının toplu üretimi için halihazırda onaylanmıştır" dedi. "Yeni platform, temiz oda alanı başına önceki ürünümüze kıyasla iki kat daha fazla üretkenlik sağlarken, aynı zamanda yeni bir malzeme bütünlüğü düzeyi sağlayarak müşterilerimiz için yeni rekabet gücü araçlarının kilidini açıyor" diye ekliyor. “GaN güç cihazları küresel COXNUMX'yi azaltmada belirleyici bir rol oynamaya hazırlanıyor2 geleneksel silikona göre çok daha verimli bir güç dönüşümü sunarak emisyonları iki ila üç kat azaltır. Bu pazarın on yılın sonunda ve sonrasında sürekli olarak büyümesini bekliyoruz. Bugün GaN, mobil cihazlarda kullanılan hızlı şarj cihazları için silikonun yerini çoktan aldı ve veri merkezlerine veya güneş enerjisi uygulamalarına yönelik talebin arttığını görüyoruz."

Aixtron, 20 yılı aşkın süredir GaN-on-Si süreçleri ve donanımları geliştiriyor. AIX G5+ C planet reaktörü, Yerinde Temizleme ve Kasetten Kaset'e otomasyon nedeniyle ilk tam otomatik GaN MOCVD sistemiydi. Tamamen yeni G10-GaN küme çözümü, her bir performans ölçüsünü genişletirken aynı temellere dayanıyor.

En küçük temiz oda alanından yararlanmak için yeni, kompakt bir düzende paketlenmiş olan platform, optimum cihaz verimi için malzeme tekdüzeliğini iki kat artıran yeni reaktör girişleriyle birlikte gelir. Yerleşik sensörler, sistemin tüm süreç modülleri için bakımlar arasında her çalıştırmada aynı performansı tutarlı bir şekilde sunmasını sağlamak için yeni bir yazılım paketi ve parmak izi çözümleriyle tamamlanıyor; bu da ekipmanın çalışma süresini önceki nesle kıyasla %5'ten fazla artırıyor.

Küme, Planeter toplu reaktör teknolojisi sayesinde 15x200 mm'lik rekor bir levha kapasitesi sağlayan üç adede kadar işlem modülüyle donatılabilir; önceki ürünlerle karşılaştırıldığında levha başına maliyette %25'lik bir azalma sağlar.

İlgili öğelere bakın:

Aixtron, yeni inovasyon merkezi inşa etmek için 100 milyon avroya kadar yatırım yapıyor

Aixtron, Photonic West'te G10-AsP sistemini piyasaya sürüyor

Aixtron, G10-SiC 200mm CVD sistemini piyasaya sürüyor

Etiketler: Aixtron

Ziyaret: www.aixtron.com

Zaman Damgası:

Den fazla Yarıiletken Bugün