Oxford Instruments จัดหาระบบ ALD ให้กับ UK Micro-LED Maker

เผยแพร่ซ้ำโดยเพลโต

ผู้ติดตาม: 0

24 มกราคม 2024

Oxford Instruments จากสหราชอาณาจักรกล่าวว่าอุปกรณ์ atomic layer deposition (ALD) ได้รับการติดตั้งที่ "ผู้ให้บริการ micro-LED ที่ได้รับรางวัลในสหราชอาณาจักร" เพื่อรองรับผลิตภัณฑ์และอุปกรณ์แสดงผลความเป็นจริงที่ผู้บริโภคดื่มด่ำล่าสุด ระบบนี้ใช้ในการฝากฟิล์มบางเฉียบไดอิเล็กตริก high-K สำหรับอาร์เรย์พิกเซล RGB ที่มีความหนาแน่นสูง ความสว่างสูงมาก พลังงานต่ำ และอัตราเฟรมสูงสำหรับอุปกรณ์เสริมความเป็นจริงเสมือนจริงและผสมและอัจฉริยะสำหรับผู้บริโภค นาฬิกา

ความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับอุปกรณ์สวมใส่ที่มีฟอร์มแฟกเตอร์ขนาดเล็กซึ่งมีจอแสดงผลความละเอียดสูง กำลังกระตุ้นให้เกิดการเติบโตอย่างมากในการวิจัยสำหรับภาคส่วนนี้ ไมโคร LED สามารถให้ขนาด Die Pitch ที่ <10µm ได้ ดังนั้นจึงช่วยให้อุปกรณ์แสดงผลแบบสวมใส่ของผู้บริโภคมีขนาดเล็กลงได้ ในขณะที่ยังคงรักษาความละเอียดของภาพในระดับสูงไว้ได้ เมื่อขนาดพิตช์ลดลง อัตราส่วนปริมณฑลต่อพื้นที่จะเพิ่มขึ้นตามสัดส่วน และความเสียหายที่เกิดขึ้นระหว่างขั้นตอนการสร้างเมซ่าและการแยกออกจะกลายเป็นปัจจัยจำกัดประสิทธิภาพ

ในการประชุมนานาชาติครั้งที่ 14 เกี่ยวกับไนไตรด์เซมิคอนดักเตอร์ (ICNS 2023) ที่เมืองฟุกุโอกะ ประเทศญี่ปุ่น ในช่วงกลางเดือนพฤศจิกายน มีการนำเสนอผลงานจำนวนมากโดยเน้นถึงประโยชน์ของพลาสมา ALD ในการต่อต้านความเสียหาย นอกจากนี้ พลาสมา ALD ยังแสดงให้เห็นว่าเพิ่มประสิทธิภาพควอนตัมภายนอกอย่างมีนัยสำคัญ โดยที่ ALD อธิบายว่ามีความสำคัญอย่างยิ่งต่อตัวปล่อยแสงขนาดเล็ก

“เทคโนโลยี ALD พลาสมาที่สร้างความเสียหายต่ำของเรากำลังได้รับความสนใจจากตลาดบนแพลตฟอร์มที่รองรับขนาด 200 มม.” Klaas Wisniewski ผู้อำนวยการฝ่ายพัฒนาธุรกิจเชิงกลยุทธ์ของ Oxford Instruments กล่าว “โซลูชันการสร้างฟิล์มทู่ด้วยพลาสมา ALD high-K ของเราได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับแม่พิมพ์ขนาดเล็กที่มีพื้นที่ทำงานน้อยกว่า และในบางกรณีก็แสดงให้เห็นโดยลูกค้าของเราที่ ICNS เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของควอนตัมภายนอกเป็นสองเท่า” เขากล่าวเสริม “ไมโคร LED ประสิทธิภาพสูงที่มีฟอร์มแฟกเตอร์ขนาดเล็กเป็นส่วนประกอบที่สำคัญในจอแสดงผลแบบสวมศีรษะสำหรับความเป็นจริงเสมือน และอุปกรณ์ขั้นสูงอื่นๆ เช่น นาฬิกาอัจฉริยะ และเทคโนโลยีของเราได้เปิดใช้งานอุปกรณ์ผู้บริโภคที่ทันสมัยและเป็นที่ต้องการมากที่สุด”

Oxford Instruments กำลังเข้าร่วมงาน SPIE Photonics West 2024 ในซานฟรานซิสโก (30 มกราคม - 1 กุมภาพันธ์) ซึ่งจะแบ่งปันกระบวนการออปโตอิเล็กทรอนิกส์ล่าสุดสำหรับความเป็นจริงเสริม ความเป็นจริงเสมือนและความเป็นจริงผสม และควอนตัม รวมถึงแอปพลิเคชันการถ่ายโอนข้อมูลสำหรับปัญญาประดิษฐ์และเครื่องจักร การเรียนรู้.

ดูรายการที่เกี่ยวข้อง:

Oxford Instruments เปิดตัวระบบการวิจัย ALD อัตราสูง

คีย์เวิร์ด: อปท

เยี่ยม: plasma.oxinst.com