นับเป็นครั้งแรกที่ IEDM จัดเซสชั่นความยั่งยืนในการประชุมปี 2023 ฉันเป็นหนึ่งในนักเขียนที่นำเสนอบทความรับเชิญ ต่อไปนี้เป็นบทสรุปการนำเสนอของฉัน
Call to Action
จากสหประชาชาติ [1]:
“การเปลี่ยนแปลงสภาพภูมิอากาศเป็นปัญหาสำคัญในยุคสมัยของเรา และเราอยู่ในช่วงเวลาที่กำหนด”
“หากไม่มีการดำเนินการที่รุนแรงในวันนี้ การปรับตัวให้เข้ากับผลกระทบเหล่านี้ในอนาคตจะยากขึ้นและมีค่าใช้จ่ายสูง”
มีลิงก์ทางวิทยาศาสตร์พื้นฐานที่เป็นที่ยอมรับอยู่แล้ว:
- ความเข้มข้นของก๊าซเรือนกระจก (GHG) ในชั้นบรรยากาศของโลกเชื่อมโยงโดยตรงกับอุณหภูมิเฉลี่ยทั่วโลกบนโลก
- ความเข้มข้นได้เพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง และหมายถึงอุณหภูมิโลกตามไปด้วย นับตั้งแต่ช่วงการปฏิวัติอุตสาหกรรม
ปัญหาสองส่วน
เรามองว่าการลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจกเป็นปัญหาสองส่วน:
- ออกแบบกระบวนการและเทคโนโลยีในอนาคตเพื่อลดการปล่อยก๊าซคาร์บอน
- แต่... เรายังจำเป็นต้องลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนจากสิ่งอำนวยความสะดวกและกระบวนการที่มีอยู่ด้วย
การสร้างแบบจำลองโดยละเอียดของการปล่อยก๊าซคาร์บอนเป็นสิ่งจำเป็นเพื่อทำความเข้าใจทั้งความท้าทายของกระบวนการในอนาคตและวิธีการจัดการกับกระบวนการ/สิ่งอำนวยความสะดวกที่มีอยู่
โมเดลคาร์บอน
แบบจำลองคาร์บอนที่อธิบายไว้ที่นี่อิงจากแบบจำลองต้นทุนและราคาเชิงกลยุทธ์ด้านความรู้ของ IC เดิมที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมมาตั้งแต่ปี 2010 แบบจำลองเชิงกลยุทธ์ได้รับการตรวจสอบอย่างดี ณ จุดนี้ TechInsights ได้รับความรู้ด้าน IC ในเดือนพฤศจิกายน 2022
โมเดลเชิงกลยุทธ์ – จำลอง 3D NAND, DRAM และ Logic ด้วยความครอบคลุมของกระบวนการแรกสุดในระยะ 300 มม. จนถึงกระบวนการในอนาคต ปัจจุบันโมเดลนี้ครอบคลุมโรงงานขนาด 167 – 300 มม. และโฟลว์กระบวนการเฉพาะของบริษัท 220 รายการ
แบบจำลองนี้จะคำนวณชุดอุปกรณ์โดยละเอียดตามข้อกำหนดด้านไฟฟ้า น้ำ และก๊าซธรรมชาติ ปริมาณการใช้วัสดุโดยละเอียดตามประเภทวัสดุจะถูกคำนวณด้วย
โมเดลนี้มีพื้นฐานมาจาก Fab! นี่เป็นประเด็นสำคัญเมื่อพูดถึงการสอบเทียบและการตรวจสอบความถูกต้อง มีข้อมูลการปล่อยก๊าซเรือนกระจกที่หลากหลาย ในบางกรณีตามเว็บไซต์ fab ของบริษัท ในบางกรณีแยกตามประเทศสำหรับบริษัท และในบางกรณีสำหรับทั้งบริษัท ความสามารถในการจำลอง fabs ที่ประกอบขึ้นเป็นไซต์ หรือ fabs ทั้งหมดที่บริษัทมีอยู่ในประเทศ หรือ fabs ทั้งหมดที่บริษัทได้เปิดใช้งานการสอบเทียบและการตรวจสอบ
ขณะนี้โมเดลคาร์บอนมีขนาด 300 มม. เท่านั้น แม้ว่าเรากำลังตรวจสอบการเพิ่มขนาดเวเฟอร์เพิ่มเติม จากข้อมูลของ SEMI - 300 มม. คิดเป็นประมาณ 70% ของซิลิคอนหลายล้านตารางนิ้วทั่วโลกที่จัดส่งในปี 2023
โมเดลคาร์บอนครอบคลุม: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC และ YMTC บริษัททั้ง 77 แห่งนี้คิดเป็นสัดส่วนประมาณ 300% ของกำลังการผลิตการผลิตเวเฟอร์ขนาด 2 มม. ทั่วโลก [300] เรากำลังตรวจสอบการขยายความครอบคลุมของโมเดลไปยังแฟบขนาด XNUMX มม. ทั้งหมด
ในแง่ของการปล่อยก๊าซเรือนกระจก แบบจำลองคาร์บอนครอบคลุมการปล่อยก๊าซขอบเขต 1 จากการเผาไหม้เชื้อเพลิงฟอสซิลและสารเคมีในกระบวนการในไซต์งาน และการปล่อยก๊าซเรือนกระจกขอบเขต 2 จากไฟฟ้าที่ซื้อ (ในบางกรณี กระแสไฟฟ้าจะถูกสร้างขึ้นในไซต์งานจนกลายเป็นการปล่อยก๊าซขอบเขต 1)
การสร้างแบบจำลองไฟฟ้า
บริษัทเซมิคอนดักเตอร์บางแห่งอ้างว่าพวกเขาไม่มีการปล่อยก๊าซเรือนกระจกในขอบเขตที่ 2 เนื่องจากพวกเขาใช้ "พลังงานหมุนเวียน 100%" มีสองปัญหาเกี่ยวกับเรื่องนี้
- พลังงานหมุนเวียนรวมถึงการเผาไหม้ชีวมวลซึ่งถึงแม้จะถือว่าพลังงานทดแทนนั้นไม่ปราศจากคาร์บอน นี่ไม่ใช่ส่วนสำคัญของการผลิตไฟฟ้าในประเทศที่เราสนใจในขณะนี้ แต่ย้อนกลับไปในปี 2015 ไอร์แลนด์ผลิตไฟฟ้าได้มากกว่า 12% จากการเผาพีท [3]
- ปัญหาที่ใหญ่กว่ามากคือจากข้อมูลของกรีนพีซในปี 2021 84% ของ “พลังงานทดแทน” ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มาจากใบรับรองพลังงานทดแทน (REC) [4] REC เป็นเครื่องมือทางการเงินที่เป็นตัวแทนของโครงการพลังงานหมุนเวียนที่มีอยู่ การซื้อ REC ไม่ได้เพิ่มพลังงานทดแทนใหม่ให้กับโครงข่ายไฟฟ้า ด้วยเหตุนี้ REC จึงเป็นรูปแบบหนึ่งของการจัดหาพลังงานหมุนเวียนที่มีผลกระทบน้อยที่สุด
เป็นนโยบายการสร้างแบบจำลองของ TechInsights ที่จะไม่พิจารณา REC และจำลองการปล่อยก๊าซคาร์บอนตามความเข้มข้นของคาร์บอนของการจ่ายไฟฟ้า นี่เป็นการประมาณการตามประเทศ ยกเว้นโรงงานในสหรัฐฯ ซึ่งเราประมาณการตามรัฐ เราคำนึงถึงไฟฟ้าที่ปราศจากคาร์บอนหากสร้างขึ้นในสถานที่หรือผ่านข้อตกลงซื้อไฟฟ้าหากเราสามารถระบุได้ นั่นเป็นขอบเขตของการวิจัยที่กำลังดำเนินอยู่สำหรับเรา
ความเข้มข้นของคาร์บอนในอดีต ปัจจุบัน และที่คาดการณ์ไว้ตามประเทศที่เราใช้ในการสร้างแบบจำลองของเราแสดงไว้ในรูปที่ 1
รูปที่ 1 ความเข้มของคาร์บอนของไฟฟ้าแยกตามประเทศ
เส้นทึบมาจากโลกของเราในข้อมูล และเส้นโครงเส้นประมาจากการใช้การฉายภาพ IEA ตามภูมิภาคที่ไม่มีอยู่บนเว็บไซต์อีกต่อไป
เพื่อที่จะใช้ความเข้มข้นของคาร์บอน เราต้องประมาณปริมาณไฟฟ้าที่ใช้โดยโรงงานก่อน เนื่องจากโมเดลคาร์บอนทำการสร้างแบบจำลองชุดอุปกรณ์โดยละเอียด เราจึงเริ่มต้นด้วยการใช้ไฟฟ้าตามอุปกรณ์แต่ละชิ้น [5],[6],[7],[8] อุปกรณ์ EUV ได้รับความสนใจเป็นพิเศษเนื่องจากมีปริมาณผลกระทบสูงต่อปริมาณงานและดังนั้นจึงมีการใช้ไฟฟ้า การใช้ไฟฟ้าในอาคารประเมินตามกระบวนการและคุณลักษณะของอาคาร รูปที่ 2 แสดงการใช้ไฟฟ้าตามโหนดลอจิก
รูปที่ 2 การใช้ไฟฟ้าโดย Logic Node
ในรูปที่ 2 แถบสีเทาคือการใช้ไฟฟ้าในโรงงาน แถบสีน้ำเงินคือการใช้ไฟฟ้าของอุปกรณ์ซึ่งไม่รวม EUV แถบสีส้มคือระบบ 0.33NA EUV และแถบสีเหลือง-ส้มคือการใช้ไฟฟ้าของระบบ EUV 0.55NA (NA สูง) เส้นประคือเปอร์เซ็นต์การใช้ไฟฟ้าที่เกิดจากอุปกรณ์
มีสามแง่มุมที่น่าสนใจของตัวเลขที่ฉันต้องการเน้น:
- โหนดลอจิกในรูปที่ 2 ขึ้นอยู่กับ TSMC ที่ 7 นาโนเมตร TSMC ได้แนะนำกระบวนการแบบออปติคัล (7 นาโนเมตร) และกระบวนการแบบ EUV (7 นาโนเมตร+) แม้ว่าอุปกรณ์ EUV จะใช้ไฟฟ้ามากกว่าระบบ DUV มาก แต่ EUV จะแทนที่ขั้นตอนการทำหลายรูปแบบที่ซับซ้อนด้วยการสัมผัสครั้งเดียว และส่งผลให้การใช้ไฟฟ้าสุทธิลดลง
- ที่โหนด 14A เราเปรียบเทียบ 0.33NA EUV ซึ่งจะต้องมี EUV หลายรูปแบบกับ 14A+ โดยมี NA EUV สูง ซึ่งกำจัดหลายรูปแบบ และอีกครั้งหนึ่งที่ปริมาณการใช้ไฟฟ้าสุทธิลดลง
- เส้นประแสดงให้เห็นว่าตั้งแต่ 130 นาโนเมตรถึง 40 นาโนเมตร อุปกรณ์คิดเป็นประมาณ 43% ของการใช้ไฟฟ้าทั้งหมด ซึ่งสอดคล้องกับการศึกษาของ SEMATECH ก่อนที่จะเข้าสู่การใช้งาน EUV เราพบว่าอุปกรณ์คิดเป็น 40% ถึง 50% และเมื่อ EUV เข้าสู่การใช้งานอุปกรณ์คิดเป็นระหว่าง 50% ถึง 55% ของการใช้ไฟฟ้าทั้งหมด
เราได้เปรียบเทียบการใช้ไฟฟ้าตามแบบจำลองของเรากับข้อมูลการใช้ไฟฟ้าสำหรับสองบริษัท – ทั่วทั้งบริษัท (GF และ SK Hynix), TSMC สำหรับไต้หวัน และ Intel สำหรับ 4 ไซต์ และการจับคู่นั้นยอดเยี่ยมมาก ยกเว้น Intel Oregon ที่เราเชื่อว่าเราประเมินกิจกรรมของไซต์ต่ำไป ระดับ. Intel Oregon เป็นไซต์การพัฒนา และเมื่อเร็วๆ นี้เราได้รับข้อมูลใหม่ที่สอดคล้องกับกิจกรรมที่นั่นมากกว่าที่เราใช้ในการคำนวณเหล่านี้ โดยรวมแล้วทำให้เรามั่นใจในการคำนวณ
สันดาป
การเผาไหม้เชื้อเพลิงฟอสซิลที่ไซต์งานมีไว้เพื่อการใช้งาน 5 ประการ:
- การผลิตไฟฟ้าที่ไซต์งาน (โรงงานบางแห่งใช้ก๊าซธรรมชาติ)
- ความร้อนของสิ่งอำนวยความสะดวก
- เปิดน้ำอุ่นก่อนรีเวิร์สออสโมซิส รีเวอร์สออสโมซิสเป็นขั้นตอนสำคัญในการสร้างน้ำบริสุทธิ์พิเศษ และเปอร์เซ็นต์ของน้ำที่ดีเมื่อเปรียบเทียบกับการปฏิเสธน้ำจากรีเวิร์สออสโมซิสจะสูงกว่าหากน้ำอุ่น
- ระบบลดก๊าซบางระบบ – ก๊าซธรรมชาติถูกใช้ในบางระบบเพื่อเผาสารประกอบเพอร์ฟลูออริเนตเพื่อทำลายพวกมัน
- อุ่นและอุ่นอากาศแต่งหน้า โรงงานแผ่นเวเฟอร์มีระบบระบายอากาศเพื่อขจัดควันสารเคมีออกจากอุปกรณ์ และอากาศจะต้องนำเข้าจากภายนอกโรงงานเพื่อ "ชดเชย" สำหรับอากาศเสีย ในช่วงสภาพอากาศหนาวเย็น อากาศจะต้องได้รับความร้อนจนถึงอุณหภูมิห้องและเพิ่มความชื้นเพื่อการควบคุมไฟฟ้าสถิตและประสิทธิภาพการต้านทานแสง ในช่วงอากาศร้อน อากาศแต่งหน้าจะถูกทำให้เย็นลงต่ำกว่าอุณหภูมิห้อง เพื่อลดความชื้นในอากาศ จากนั้นจึงอุ่นให้อยู่ที่อุณหภูมิห้อง
เคมีภัณฑ์กระบวนการ
รูปที่ 3 แสดงให้เห็นการไหลของก๊าซในกระบวนการผ่านอุปกรณ์ในกระบวนการและสู่ชั้นบรรยากาศโดยการแปลงเป็นค่าคาร์บอนที่เท่ากัน
รูปที่ 3 กระบวนการปล่อยสารเคมี
จากรูปที่ 3:
- สารเคมีในกระบวนการผลิตจะเข้าสู่ห้องกระบวนการซึ่งมีการใช้เปอร์เซ็นต์บางส่วนโดยการแตกออกจากกันในปฏิกิริยากัดกรด หรือกลายเป็นส่วนหนึ่งของฟิล์มในปฏิกิริยาการสะสม ปริมาตรอินพุตเริ่มแรกคูณด้วยการใช้งาน 1 ครั้งคือปริมาณสารเคมีในกระบวนการในไอเสีย
- ไอเสียจากห้องกระบวนการอาจเข้าสู่ระบบลดปริมาณ โดยที่สารเคมีในกระบวนการบางส่วนถูกสลายเป็นสารเคมีที่ไม่ใช่ก๊าซเรือนกระจกหรือถูกดูดซึมในตัวกลางบางชนิด สารเคมีที่ออกจากระบบลดคืออินพุตจากไอเสียในห้องคูณด้วย 1-ลด
- สุดท้าย ศักยภาพในการทำให้เกิดภาวะโลกร้อน (GWP) จะถูกนำไปใช้เพื่อแปลงสารเคมีในกระบวนการให้เทียบเท่ากับคาร์บอนไดออกไซด์ โดยพื้นฐานแล้ว อายุการใช้งานของสารเคมีและความร้อนที่สารเคมีสะท้อนกลับจะถูกนำมารวมกันเพื่อเปรียบเทียบผลกระทบของสารเคมี 1 กรัมกับคาร์บอนไดออกไซด์ 1 กรัม
รูปที่ 4 แสดงการใช้ประโยชน์ การลด และค่า GWP สำหรับสารเคมีที่น่าสนใจสำหรับโรงงานเวเฟอร์
รูปที่ 4 ปัจจัยการปล่อยสารเคมีในกระบวนการ
ปัจจัยการใช้งานและการลดน้อยลงในรูปที่ 4 มาจากการปรับปรุง IPCC 2019 เป็นหลัก [9] ค่า GWP มาจาก IPCC AR5 เป็นหลัก [10]
คอลัมน์ผลกระทบโดยรวมในรูปที่ 4 คือค่าการใช้งาน 1 ครั้งคูณด้วยค่าการลด 1 ครั้งคูณด้วย GWP ซึ่งจะทำให้เห็นภาพรวมผลกระทบของสารเคมี สารเคมีที่มีผลกระทบโดยรวมสูงมักเป็นสารเคมีที่มีค่า GWP สูง อย่างไรก็ตาม N2O มีผลกระทบค่อนข้างสูงแม้จะมี GWP ค่อนข้างต่ำก็ตาม เอ็นส่วนใหญ่2O ใช้สำหรับการสะสมฟิล์มที่มีออกไซด์เป็นพื้นฐานที่อุณหภูมิต่ำโดยมีอัตราการใช้ประโยชน์ต่ำมาก [8] และการลดลงก็ค่อนข้างต่ำเช่นกัน
สิ่งที่น่าสนใจแม้ว่าโดยทั่วไปค่าการลดของ IPCC จะมากกว่าเก้าสิบเปอร์เซ็นต์ แต่ในสหรัฐอเมริกา ผู้ปล่อยก๊าซเรือนกระจกขนาดใหญ่จะต้องรายงานประสิทธิภาพในการลดไปยัง EPA และค่าการลดที่รายงานนั้นต่ำกว่ามาก รูปที่ 5 แสดงให้เห็นถึงประสิทธิภาพในการลดที่รายงานสำหรับไซต์ fabs ในสหรัฐอเมริกาที่ครอบคลุมในแบบจำลองคาร์บอน
รูปที่ 5 ค่าการลดที่รายงานสำหรับ Fabs Leading Edge 300 มม. ของสหรัฐอเมริกา
ควรสังเกตว่ากฎการรายงานของ EPA อาจส่งผลให้ค่าการลดที่รายงานมีค่าน้อยกว่าการลดจริง แต่ฉันจะทราบด้วยว่าเมื่อเราสร้างโมเดลเหล่านี้โดยใช้ค่าการลดที่รายงาน เราจะได้รับการปล่อยก๊าซเรือนกระจกที่สอดคล้องกับสิ่งที่พวกเขารายงานเกี่ยวกับการปล่อยก๊าซ ดังนั้น ฉันไม่คิดว่าค่าลดหย่อนจะอยู่ห่างไกลมากนัก ฉันยังจะสังเกตด้วยว่าฉันเชื่อว่าค่าการลดสำหรับโรงงานในประเทศอื่นๆ บางประเทศและทั่วโลกสำหรับโรงงานที่ครอบคลุมในแบบจำลองคาร์บอน ฉันเชื่อว่าค่าการลดโดยเฉลี่ยอยู่ที่ประมาณ 70%
การตรวจสอบแบบจำลอง
ตามที่กล่าวไว้ในส่วนโมเดลคาร์บอน ความสามารถในการสร้างแบบจำลองแต่ละโรงงานสามารถใช้เพื่อเปรียบเทียบแบบจำลองที่คำนวณการปล่อยก๊าซเรือนกระจกกับการปล่อยก๊าซเรือนกระจกตามจริงที่รายงาน
ในรูปที่ 6 ข้อมูลการปล่อยก๊าซเรือนกระจกของไซต์ EPA จากไซต์ 4 แห่งที่เป็นตัวแทนของ 3 บริษัท และโรงงานทั้งหมด 15 แห่งถูกรวมเข้าด้วยกัน และเปรียบเทียบกับข้อมูลแบบจำลองสำหรับโรงงานเดียวกันเหล่านั้น
รูปที่ 6 การตรวจสอบโมเดลตามข้อมูล EPA สำหรับไซต์ในสหรัฐฯ
ดังที่เห็นได้จากรูปที่ 6 การจับคู่ตามหมวดหมู่นั้นยอดเยี่ยมมาก ควรสังเกตว่าการจับคู่สำหรับทั้ง 4 ไซต์นั้นดีกว่าการจับคู่โดยแต่ละไซต์
ไซต์ในรูปที่ 6 แสดงถึงกระบวนการลอจิกตั้งแต่ 28 นาโนเมตรไปจนถึง 4 นาโนเมตร
ในรูปที่ 7 แบบจำลองได้รับการตรวจสอบเทียบกับการปล่อยก๊าซเรือนกระจกทั้งหมดตามสถานที่ ประเทศ หรือบริษัท
รูปที่ 7 การตรวจสอบแบบจำลองกับรายงานของบริษัท
ในรูปที่ 7 Micron Singapore เป็นตัวแทนของ 3D NAND Fabs, Micron Japan และไต้หวันคือ DRAM fabs, TSMC Taiwan เป็นตัวแทนแห่งตรรกะ, SK Hynix Company คือ 3D NAND และ DRAM fabs และ Kioxia Yokkaichi คือ 3D NAND ข้อมูลที่รายงานในพล็อตนี้มาจากรายงาน ESG ของบริษัท
เป็นอีกครั้งที่แมตช์นี้ยอดเยี่ยมมาก
ผลลัพธ์ของโมเดล
ความหนาแน่นของทรานซิสเตอร์แบบลอจิกยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง แม้ว่าจะในอัตราที่ช้ากว่าในอดีต ซึ่งสามารถทำได้โดยกระบวนการที่ซับซ้อนมากขึ้นในแง่ของจำนวนขั้นตอนของกระบวนการและเลเยอร์มาสก์ ความหนาแน่นของบิต 3D NAND เพิ่มขึ้นด้วยการเพิ่มจำนวนเลเยอร์ ส่งผลให้สแต็กหน่วยความจำสูงขึ้น ซึ่งต้องใช้สารเคมีในการสะสมและการกัดกรดมากขึ้น ความหนาแน่นบิตของ DRAM ยังเพิ่มขึ้นแม้ว่าจะช้ากว่าในอดีตอีกครั้ง ซึ่งได้แรงหนุนจากการเพิ่มขั้นตอนกระบวนการและเลเยอร์มาสก์
รูปที่ 8 แสดงการปล่อยแบบจำลองสำหรับตรรกะ, 3D NAND และ DRAM โดย "โหนด"
รูปที่ 8 การปล่อยมลพิษตามแบบจำลอง
ในรูปที่ 8 การปล่อยลอจิกจะถูกนำเสนอสำหรับกระบวนการลอจิกประเภท TSMC ที่ดำเนินการในไต้หวัน โดยมีการปล่อยก๊าซคาร์บอนทางไฟฟ้าของไต้หวันในปี 2023 และมีประสิทธิภาพในการลด 70% ค่า 3D NAND และ DRAM ที่นำเสนอเป็นค่าสำหรับกระบวนการของ Samsung ที่ทำงานในเกาหลีใต้ โดยมีการปล่อยก๊าซคาร์บอนทางไฟฟ้าของเกาหลีใต้ในปี 2023 และค่าลดลง 70%
สำหรับตรรกะ สาเหตุหลักที่สุดคือการปล่อยก๊าซคาร์บอนทางไฟฟ้าในขอบเขตที่ 2 ควรสังเกตว่าไต้หวันมีปริมาณการปล่อยก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์สูงที่สุดในประเทศใดๆ ที่มีโรงงานผลิตชั้นนำขนาด 300 มม. สำหรับ 3D NAND จำนวนเลเยอร์/ความสูงของสแต็กที่เพิ่มขึ้นผลักดันให้เกิดการใช้สารเคมีในกระบวนการผลิตขอบเขตที่ 1 และขอบเขตที่ 2 การใช้ไฟฟ้าเพิ่มขึ้น สำหรับ DRAM ขอบเขต 2 การปล่อยไฟฟ้าถือเป็นแหล่งปล่อยก๊าซคาร์บอนที่ใหญ่ที่สุด จนกว่าจะมีการนำกระบวนการ 3D DRAM ที่คาดการณ์ไว้มาใช้ กระบวนการ 3D DRAM มีสแต็กหน่วยความจำที่สูงมาก ซึ่งต้องใช้สารเคมีในการสะสมและกัดกรดจำนวนมาก
มีโอกาสมากมายที่จะลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนได้อย่างมาก:
- การปล่อยก๊าซเรือนกระจกในขอบเขตที่ 2 สามารถลดลงได้โดยการเปลี่ยนไปใช้แหล่งไฟฟ้าที่ปล่อยก๊าซคาร์บอนต่ำ เช่น ลม นิวเคลียร์ พลังน้ำ หรือแสงอาทิตย์
- มีระบบลดที่มีประสิทธิภาพในการลดสูงถึง 99% [11]
- เคมีกระบวนการปล่อยก๊าซคาร์บอนต่ำสามารถทดแทนสารเคมีที่มีการปล่อยก๊าซคาร์บอนสูงที่มีอยู่ได้ ในการประชุมเทคโนโลยี VLSI ปีนี้ โตเกียวอิเลคตรอนได้เปิดเผยเครื่องแกะสลักด้วยความเย็นที่สามารถกัด 3D NAND stacks ด้วยสารเคมีที่ไม่ใช่ GHG และอัตราการกัดกรดที่สูงขึ้น นอกจากนี้ การทำความสะอาดห้องเพาะเลี้ยงมักกระทำด้วย SF6 หรือ นฟ3 ทำหน้าที่เป็นพาหนะส่งฟลูออรีน ก๊าซทั้งสองมีค่า GHG GWP สูง แทน SF6 และ NF3, ศ2 ด้วย GWP 0 หรือ COF2 ด้วย GWP 1 สามารถทดแทนได้ ควรสังเกตว่าแม้ว่าก๊าซเหล่านี้จะมี 0 หรือ 1 สำหรับ GWP แต่ก็สามารถรวมกับสายพันธุ์อื่นในห้องเพาะเลี้ยงเพื่อสร้างโมเลกุล GWP สูงได้
รูปที่ 9 นำเสนอการปล่อยก๊าซเรือนกระจกในปี 2030 โดยอิงตามสามสถานการณ์ในแต่ละสถานการณ์สำหรับกระบวนการลอจิก 10A, กระบวนการ 1,000D NAND 3 เลเยอร์ และกระบวนการ 80D DRAM 3 เลเยอร์
รูปที่ 9 รอยเท้าคาร์บอน พ.ศ. 2030
ในแต่ละกรณี ค่าปี 2023 สมมติว่าเป็นการปล่อยก๊าซคาร์บอนทางไฟฟ้าปี 2023 และลดลง 70% ด้วยเคมีของกระบวนการในปัจจุบัน สถานการณ์ที่เป็นไปได้ในปี 2023 อิงจากการคาดการณ์รอยเท้าคาร์บอนทางไฟฟ้าในปี 2030 จากรูปที่ 1 ซึ่งลดลง 90% และระบบการจำหลัก/เคมีใหม่ ในที่สุด ปี 2030 – ความเป็นไปได้จะขึ้นอยู่กับปริมาณคาร์บอนไดออกไซด์ 24 กรัมที่เทียบเท่าต่อไฟฟ้ากิโลวัตต์ชั่วโมง (แสงอาทิตย์คือ 2 พลังน้ำ 48 พลังงานลมและนิวเคลียร์คือ 24 [12])
สรุป
โมเดล TechInsights Carbon ได้รับการพัฒนาโดยอิงจากโมเดลต้นทุนและราคาเชิงกลยุทธ์ความรู้ IC เดิม แบบจำลองคาร์บอนช่วยให้สามารถเปรียบเทียบรายละเอียดของการผลิตขนาด 300 มม. สำหรับบริษัทชั้นนำได้ แหล่งกำเนิดไฟฟ้า การเผาไหม้ และสารเคมีในกระบวนการพร้อมการใช้งาน การลดปริมาณ และ GWP ล้วนเป็นแบบจำลอง แบบจำลองคาร์บอนประกอบด้วยข้อมูลเฉพาะของบริษัทที่ครอบคลุม ขณะนี้โมเดลคาร์บอนสามารถดูได้จาก TechInsights
อ้างอิง
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] ฐานข้อมูลนาฬิกา TechInsights 300 มม.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] การปล่อยก๊าซที่มองไม่เห็น: การคาดการณ์การปล่อยก๊าซในห่วงโซ่อุปทานด้านเทคโนโลยีและปริมาณการใช้ไฟฟ้าภายในปี 2030” กรีนพีซ
[5] Bardon, et.al., “DTCO รวมถึงความยั่งยืน: การวิเคราะห์คะแนนประสิทธิภาพด้านพลังงาน-ประสิทธิภาพ-พื้นที่-ต้นทุน-สิ่งแวดล้อม (PPACE) สำหรับเทคโนโลยีลอจิก” IEDM (2020)
[6] รายงานประจำปี ASML 2022 หน้า 83
[7] Smeets, et.al., “ระบบ 0.33 NA EUV สำหรับการผลิตในปริมาณมาก” SPIE (2022)
[8] ข้อมูลเชิงลึกด้านเทคโนโลยี
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
ยังอ่าน:
บริษัท Silicon Catalyst เจ็ดแห่งจะจัดแสดงในงาน CES ซึ่งเป็นงานเทคโนโลยีที่ทรงพลังที่สุดในโลก
Buzz การประชุมสุดยอด RISC-V – Launchpad Showcase เน้นนวัตกรรมของบริษัทขนาดเล็ก
แชร์โพสต์นี้ผ่าน:
- เนื้อหาที่ขับเคลื่อนด้วย SEO และการเผยแพร่ประชาสัมพันธ์ รับการขยายวันนี้
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai เพิ่มพลังให้กับตัวเอง เข้าถึงได้ที่นี่.
- เพลโตไอสตรีม. Web3 อัจฉริยะ ขยายความรู้ เข้าถึงได้ที่นี่.
- เพลโตESG. คาร์บอน, คลีนเทค, พลังงาน, สิ่งแวดล้อม แสงอาทิตย์, การจัดการของเสีย. เข้าถึงได้ที่นี่.
- เพลโตสุขภาพ เทคโนโลยีชีวภาพและข่าวกรองการทดลองทางคลินิก เข้าถึงได้ที่นี่.
- ที่มา: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :มี
- :เป็น
- :ไม่
- :ที่ไหน
- $ ขึ้น
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- 15%
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- ความสามารถ
- ที่หมกมุ่น
- ตาม
- ลงชื่อเข้าใช้
- ประสบความสำเร็จ
- ที่ได้มา
- การแสดง
- การกระทำ
- อยากทำกิจกรรม
- ที่เกิดขึ้นจริง
- เพิ่ม
- ที่เพิ่ม
- เพิ่ม
- เพิ่มเติม
- ที่อยู่
- อีกครั้ง
- กับ
- ข้อตกลง
- จุดมุ่งหมาย
- AIR
- AL
- ทั้งหมด
- ตาม
- ด้วย
- แม้ว่า
- จำนวน
- an
- การวิเคราะห์
- และ
- ประจำปี
- ใด
- นอกเหนือ
- การใช้งาน
- ประยุกต์
- ใช้
- การประยุกต์ใช้
- ประมาณ
- เป็น
- AREA
- รอบ
- AS
- ด้าน
- At
- บรรยากาศ
- ความสนใจ
- ผู้เขียน
- ใช้ได้
- เฉลี่ย
- กลับ
- อุปสรรค
- ราว
- ตาม
- ขั้นพื้นฐาน
- เป็นพื้น
- BE
- เพราะ
- สมควร
- รับ
- เริ่ม
- กำลัง
- เชื่อ
- ด้านล่าง
- ดีกว่า
- ระหว่าง
- ที่ใหญ่ที่สุด
- ชีวมวล
- บิต
- สีน้ำเงิน
- ทั้งสอง
- ทำลาย
- แตก
- นำ
- เผา
- ร้อน
- แต่
- by
- คำนวณ
- คำนวณ
- การคำนวณ
- CAN
- ความจุ
- คาร์บอน
- ก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์
- การปล่อยก๊าซคาร์บอน
- รอยเท้าคาร์บอน
- กรณี
- กรณี
- ตัวเร่ง
- หมวดหมู่
- ใบรับรอง
- เหล่านี้
- โซ่
- ความท้าทาย
- ห้อง
- เปลี่ยนแปลง
- ลักษณะ
- สารเคมี
- สารเคมี
- อ้าง
- การทำความสะอาด
- CO
- co2
- ผู้สมัครที่ไม่รู้จัก
- คอลัมน์
- รวมกัน
- รวม
- อย่างไร
- มา
- บริษัท
- บริษัท
- เปรียบเทียบ
- เมื่อเทียบกับ
- การเปรียบเทียบ
- ซับซ้อน
- สมาธิ
- การประชุม
- ความมั่นใจ
- พิจารณา
- ถือว่า
- คงเส้นคงวา
- การบริโภค
- อย่างต่อเนื่อง
- ผู้สนับสนุน
- ควบคุม
- การแปลง
- แปลง
- ราคา
- แพง
- ประเทศ
- ประเทศ
- ความคุ้มครอง
- ปกคลุม
- ครอบคลุม
- แช่แข็ง
- ปัจจุบัน
- ขณะนี้
- ข้อมูล
- ฐานข้อมูล
- การกำหนด
- การจัดส่ง
- อธิบาย
- ออกแบบ
- แม้จะมี
- ทำลาย
- รายละเอียด
- พัฒนา
- พัฒนาการ
- ยาก
- โดยตรง
- กล่าวถึง
- do
- ทำ
- ทำ
- Dont
- ปริมาณ
- ลง
- เป็นคุ้งเป็นแคว
- ขับเคลื่อน
- ไดรฟ์
- สอง
- ในระหว่าง
- E&T
- แต่ละ
- ที่เก่าแก่ที่สุด
- โลก
- ขอบ
- ผล
- ประสิทธิภาพ
- อย่างมีประสิทธิภาพ
- ทั้ง
- ติดตั้งระบบไฟฟ้า
- กระแสไฟฟ้า
- ปริมาณการใช้ไฟฟ้า
- การใช้ไฟฟ้า
- การกำจัด
- การส่งออก
- ปล่อยก๊าซเรือนกระจก
- ช่วยให้
- พลังงาน
- โครงการพลังงาน
- เข้าสู่
- เข้า
- การป้อน
- EPA
- อุปกรณ์
- เท่ากัน
- เทียบเท่า
- ESG
- ประมาณการ
- ประมาณ
- แม้
- เหตุการณ์
- เคย
- ยอดเยี่ยม
- ยกเว้น
- แสดง
- ที่มีอยู่
- ออกจาก
- ที่ขยาย
- การเปิดรับ
- การขยาย
- กว้างขวาง
- สิ่งอำนวยความสะดวก
- สิ่งอำนวยความสะดวก
- ปัจจัย
- ไกล
- สองสาม
- รูป
- ฟิล์ม
- ในที่สุด
- ทางการเงิน
- เครื่องมือทางการเงิน
- ชื่อจริง
- ครั้งแรก
- ห้า
- ไหล
- กระแส
- ดังต่อไปนี้
- รอยพระบาท
- สำหรับ
- พยากรณ์
- อดีต
- รูปแบบ
- ฟอสซิล
- พลังงานจากถ่านหิน
- พบ
- ฟรี
- ราคาเริ่มต้นที่
- เชื้อเพลิง
- อนาคต
- GAS
- โดยทั่วไป
- สร้าง
- รุ่น
- ได้รับ
- ก๊าซเรือนกระจก
- ปล่อยก๊าซเรือนกระจก
- จะช่วยให้
- เหตุการณ์ที่
- ภาวะโลกร้อน
- ดี
- กรัม
- ก๊าซเรือนกระจก
- กรีนพีซ
- ตะแกรง
- การเจริญเติบโต
- มี
- ความสูง
- จัดขึ้น
- โปรดคลิกที่นี่เพื่ออ่านรายละเอียดเพิ่มเติม
- จุดสูง
- สูงกว่า
- ที่สูงที่สุด
- เน้น
- ไฮไลท์
- ร้อน
- ชั่วโมง
- สรุป ความน่าเชื่อถือของ Olymp Trade?
- ทำอย่างไร
- อย่างไรก็ตาม
- HTML
- HTTPS
- i
- แยกแยะ
- IEA
- if
- แสดงให้เห็นถึง
- ส่งผลกระทบ
- มีประสิทธิภาพ
- ผลกระทบ
- in
- นิ้ว
- รวมถึง
- รวมทั้ง
- เพิ่ม
- ที่เพิ่มขึ้น
- ขึ้น
- เป็นรายบุคคล
- บุคคล
- อุตสาหกรรม
- การปฏิวัติอุตสาหกรรม
- อุตสาหกรรม
- แรกเริ่ม
- นักวิเคราะห์ส่วนบุคคลที่หาโอกาสให้เป็นไปได้มากที่สุด
- อินพุต
- เครื่องมือ
- อินเทล
- อยากเรียนรู้
- สนใจ
- น่าสนใจ
- เข้าไป
- แนะนำ
- มองไม่เห็น
- เชิญ
- ไอร์แลนด์
- ปัญหา
- IT
- ประเทศญี่ปุ่น
- jpg
- คีย์
- กิโลวัตต์
- ความรู้
- เกาหลี
- ใหญ่
- ที่มีขนาดใหญ่
- ใหญ่ที่สุด
- Launchpad
- ชั้น
- ชั้น
- ชั้นนำ
- น้อยที่สุด
- น้อยลง
- ชั้น
- ตลอดชีวิต
- น่าจะ
- Line
- เส้น
- ที่เชื่อมโยง
- การเชื่อมโยง
- ที่ตั้งอยู่
- ตรรกะ
- อีกต่อไป
- Lot
- ต่ำ
- ลด
- ทำ
- แต่งหน้า
- การผลิต
- หน้ากาก
- การจับคู่
- วัสดุ
- วัสดุ
- ความกว้างสูงสุด
- อาจ..
- หมายความ
- กลาง
- หน่วยความจำ
- ไมครอน
- ล้าน
- แบบ
- การสร้างแบบจำลอง
- โมเดล
- อณู
- ขณะ
- ข้อมูลเพิ่มเติม
- มากที่สุด
- มาก
- หลาย
- คูณ
- ต้อง
- my
- เนชั่น
- โดยธรรมชาติ
- ก๊าซธรรมชาติ
- จำเป็นต้อง
- จำเป็น
- สุทธิ
- ใหม่
- ไม่
- ปม
- โหนด
- หมายเหตุ
- เด่น
- พฤศจิกายน
- นิวเคลียร์
- จำนวน
- of
- ปิด
- on
- ครั้งเดียว
- ONE
- คน
- ต่อเนื่อง
- เพียง
- โอกาส
- or
- ส้ม
- ใบสั่ง
- ออริกอน
- Osmosis
- อื่นๆ
- ของเรา
- ออก
- ด้านนอก
- เกิน
- ทั้งหมด
- หน้า
- กระดาษ
- ส่วนหนึ่ง
- ในสิ่งที่สนใจ
- อดีต
- รูปแบบไฟล์ PDF
- ต่อ
- เปอร์เซ็นต์
- เปอร์เซ็นต์
- การปฏิบัติ
- ภาพ
- ชิ้น
- สถานที่
- เพลโต
- เพลโตดาต้าอินเทลลิเจนซ์
- เพลโตดาต้า
- จุด
- นโยบาย
- ส่วน
- เป็นไปได้
- โพสต์
- ที่มีศักยภาพ
- อำนาจ
- ที่มีประสิทธิภาพ
- นำเสนอ
- การเสนอ
- นำเสนอ
- นำเสนอ
- ราคา
- ส่วนใหญ่
- ก่อน
- ปัญหา
- ปัญหาที่เกิดขึ้น
- กระบวนการ
- กระบวนการ
- จัดซื้อจัดจ้าง
- ก่อ
- การผลิต
- ที่คาดการณ์
- เงื้อม
- ประมาณการ
- โครงการ
- ซื้อ
- ซื้อ
- คะแนน
- ราคา
- ปฏิกิริยา
- อ่าน
- เหตุผล
- ที่ได้รับ
- เมื่อเร็ว ๆ นี้
- ลด
- ลดลง
- ลด
- การลดลง
- สะท้อนให้เห็นถึง
- ภูมิภาค
- สัมพัทธ์
- เอาออก
- ทดแทน
- พลังงานทดแทน
- รายงาน
- รายงาน
- การรายงาน
- รายงาน
- แสดง
- เป็นตัวแทนของ
- เป็นตัวแทนของ
- แสดงให้เห็นถึง
- ต้องการ
- ความต้องการ
- การวิจัย
- ผล
- ส่งผลให้
- ผลสอบ
- ย้อนกลับ
- การปฏิวัติ
- ที่เพิ่มขึ้น
- ห้อง
- ลวก
- กฎระเบียบ
- วิ่ง
- เดียวกัน
- ซัมซุง
- สถานการณ์
- สถานการณ์
- วิทยาศาสตร์
- ขอบเขต
- คะแนน
- Section
- เห็น
- กึ่ง
- สารกึ่งตัวนำ
- เซสชั่น
- ชุด
- ชุดอุปกรณ์
- จัดส่ง
- น่า
- แสดง
- แสดงให้เห็นว่า
- ซีเมนส์
- สำคัญ
- ซิลิคอน
- ตั้งแต่
- สิงคโปร์
- เดียว
- เว็บไซต์
- สถานที่ทำวิจัย
- ขนาด
- ช้า
- มีขนาดเล็กกว่า
- So
- โซลา
- ของแข็ง
- บาง
- แหล่ง
- แหล่งที่มา
- ภาคใต้
- เกาหลีใต้
- โดยเฉพาะ
- สี่เหลี่ยม
- กอง
- สแต็ค
- สถานะ
- สหรัฐอเมริกา
- ไม่หยุดหย่อน
- ขั้นตอน
- ขั้นตอน
- ยุทธศาสตร์
- ศึกษา
- อย่างเช่น
- สรุป
- ประชุมสุดยอด
- จัดหาอุปกรณ์
- ห่วงโซ่อุปทาน
- การพัฒนาอย่างยั่งยืน
- ระบบ
- ระบบ
- ไต้หวัน
- เทคโนโลยี
- เทคโนโลยี
- เทคโนโลยี
- เงื่อนไขการใช้บริการ
- กว่า
- ที่
- พื้นที่
- ก้าวสู่อนาคต
- ของพวกเขา
- พวกเขา
- แล้วก็
- ที่นั่น
- ดังนั้น
- ล้อยางขัดเหล่านี้ติดตั้งบนแกน XNUMX (มม.) ผลิตภัณฑ์นี้ถูกผลิตในหลายรูปทรง และหลากหลายเบอร์ความแน่นหนาของปริมาณอนุภาคขัดของมัน จะทำให้ท่านได้รับประสิทธิภาพสูงในการขัดและการใช้งานที่ยาวนาน
- พวกเขา
- คิด
- นี้
- ในปีนี้
- เหล่านั้น
- แต่?
- สาม
- ตลอด
- ปริมาณงาน
- เวลา
- ไปยัง
- ในวันนี้
- ร่วมกัน
- โตเกียว
- รวม
- ทีเอสเอ็มซี
- สอง
- ชนิด
- เป็นปกติ
- UN
- เข้าใจ
- พร้อมใจกัน
- สหประชาชาติ
- ประเทศสหรัฐอเมริกา
- จนกระทั่ง
- us
- การใช้
- ใช้
- มือสอง
- ใช้
- การใช้
- ใช้
- การตรวจสอบ
- การตรวจสอบ
- ความคุ้มค่า
- ความคุ้มค่า
- ความหลากหลาย
- ยานพาหนะ
- มาก
- ตรวจสอบแล้ว
- ผ่านทาง
- รายละเอียด
- ปริมาณ
- ต้องการ
- ผู้สมัครที่รู้จักเรา
- คือ
- นาฬิกา
- น้ำดื่ม
- we
- สภาพอากาศ
- เว็บ
- ดี
- อะไร
- เมื่อ
- ในขณะที่
- WHO
- ทั้งหมด
- อย่างกว้างขวาง
- จะ
- ลม
- กับ
- โลก
- ทั่วโลก
- จะ
- ปี
- ลมทะเล