Oxford Instruments levererar ALD-system till brittisk mikro-LED-tillverkare

Oxford Instruments levererar ALD-system till brittisk mikro-LED-tillverkare

Källnod: 3082708

24 januari 2024

UK-baserade Oxford Instruments säger att dess utrustning för atomskiktavlagring (ALD) har installerats hos en "prisbelönt brittisk mikro-LED-leverantör" för att stödja de senaste konsumentuppslukande verklighetsprodukterna och displayenheterna. Systemet används för att deponera hög-K dielektriska ultratunna filmer för hög densitet, mycket hög ljusstyrka, lågeffekt och hög bildhastighet RGB-pixelmatriser för konsumentförstärkta, virtuella och blandade verklighetsenheter och smarta klockor.

Ökningen i efterfrågan på bärbara enheter med mindre formfaktor, med högupplösta skärmar, underblåser en betydande tillväxt inom forskningen för denna sektor. Mikro-LED:er kan leverera pitchstorlekar på <10 µm och möjliggör därför miniatyrisering av bärbara visningsenheter för konsumenter, samtidigt som den bibehåller hög bildupplösning. När stigningsstorleken minskar, ökar förhållandet omkrets-till-area proportionellt, och skadan som introduceras under mesabildningen och isoleringssteget blir en prestationsbegränsande faktor.

Vid den 14:e internationella konferensen om nitridhalvledare (ICNS 2023) i Fukuoka, Japan i mitten av november, hölls ett flertal presentationer som lyfte fram fördelarna med plasma-ALD för att motverka skador. Plasma-ALD visade sig också avsevärt öka extern kvanteffektivitet, där ALD beskrevs som kritiskt för miniatyrljussändare.

"Vår ALD-teknik för plasma med låga skador vinner marknadsdragkraft på vår 200 mm-kapabla plattform", säger Oxford Instruments strategiska affärsutvecklingschef Klaas Wisniewski. "Vår plasma ALD high-K passiveringslösning är optimerad för mindre formar med mindre aktiva ytor, och visades i vissa fall av våra kunder på ICNS fördubbla extern kvanteffektivitet", tillägger han. "Högpresterande mikro-LED med liten formfaktor är en kritisk komponent i huvudmonterade skärmar för virtuell verklighet och andra avancerade enheter som smarta klockor, och vår teknik möjliggör några av de mest önskvärda och avancerade konsumentenheterna."

Oxford Instruments deltar i SPIE Photonics West 2024-evenemanget i San Francisco (30 januari–1 februari), där de kommer att dela sina senaste optoelektronikprocesser för förstärkt, virtuell och blandad verklighet och kvant, samt dataöverföringsapplikationer för artificiell intelligens och maskin inlärning.

Se relaterade artiklar:

Oxford Instruments lanserar höggradigt ALD-forskningssystem

Taggar: OIPT

Besök: plasma.oxinst.com

Tidsstämpel:

Mer från Halvledare idag