K-Space lanserar XRF Tunnfilm Metrology Tool

Återutgiven av Platon

anhängare: 0

17 januari 2023

k-Space Associates Inc i Dexter, MI, USA – som grundades 1992 och producerar tunnfilmsmetrologisk instrumentering och programvara för forskning och tillverkning av mikroelektroniska, optoelektroniska och fotovoltaiska enheter – har lanserat kSA XRF röntgenfluorescerande tunnfilm metrologiverktyg, som mäter filmtjocklek för material som är för tunna för tillförlitliga optiska mätningar.

kSA XRF använder en röntgenkälla, detektor och proprietär programvara för att mäta röntgenstrålningsspektrat, som sedan används för att beräkna filmtjockleken i realtid. Den mäter lämplig atomart baserat på kundens unika beläggningsformel och mätbehov. Denna teknik har visat sig mäta halvledar- och dielektriska skikt på glaspaneler, wafers och susceptorer för applikationer i solenergi, kraft och andra tunnfilmsenheter.

kSA XRF, som kan konfigureras för en fristående bänkuppställning eller över en transportör för in-line inspektion och tillverkningsprocesskontroll (som visas här).

Bild: kSA XRF, som kan konfigureras för en fristående bänkuppställning eller över en transportör för in-line inspektion och tillverkningsprocesskontroll (som visas här).

"Vi utvecklade kSA XRF samtidigt som vi hjälpte en av våra befintliga kunder att mäta dielektriska beläggningar som inte gick att mäta med traditionella optiska metoder", säger VD Darryl Barlett. "XRF mäter dielektriska beläggningar under 100nm och kan användas av tillverkare av glaspaneler, solpaneler, MOCVD-bärare [metall-organisk kemisk ångdeposition] och andra produkter", tillägger han. "Det är ett överlägset och mer skalbart alternativ än befintliga verktyg och kan enkelt installeras i transportband."

kSA XRF kan konfigureras för en fristående bänkskiva eller över en transportör för in-line inspektion och tillverkningsprocesskontroll.

"KSA XRF tillåter användare att karakterisera och övervaka sina tunnfilmsbeläggningar under produktionen, vilket ökar utbytet och minskar kostnaderna", konstaterar Barlett.

Taggar: k-Space Associates

Besök: www.k-space.com