Raziskovalci pri Bruker Nano in Lam Research so objavili tehnični dokument z naslovom "Inline merology of high aspect ratio hole tilt and center line shift using small-angle x-ray scattering".
Povzetek:
»Strukture z visokim razmerjem stranic (HAR), ki jih najdemo v tridimenzionalnih pomnilniških strukturah nand, imajo edinstvene izzive pri nadzoru procesov. Jedkanje, ki se uporablja za izdelavo kanalskih lukenj globokih več mikronov z razmerji stranic nad 50:1, je posebej zahteven postopek, ki zahteva izjemno natančen in natančen nadzor. Med razvojem in proizvodnjo je ključnega pomena natančno analizirati več vidikov postopka jedkanja, kot so profil luknje, nagib, enakomernost in kakovost. Meroslovje kritične dimenzije rentgenskih žarkov (XCD), ki je znano tudi kot malokotno sipanje rentgenskih žarkov kritične dimenzije, je zmogljiva tehnika, ki lahko zagotovi dragocene vpoglede v razporeditev, obliko in velikost periodičnih nizov funkcij HAR. XCD je zmožen hitrih, nedestruktivnih meritev na območju celic proizvodnih rezin, zaradi česar je XCD idealen za in-line meroslovje. Z več študijami primerov bomo pokazali, da se XCD lahko uporablja za natančno in natančno določanje ključnih lastnosti lukenj, vgraviranih v trdo masko, večplastnih oksidnih/nitridnih filmskih skladov in zarezanih jarkov. Pokažemo, da je merjenje nagiba lukenj in rež mogoče doseči brez pomoči strukturnega modela z uporabo metodologije hitrega nagiba, ki zagotavlja subnanometrsko natančnost. Meritve so bile izvedene na več proizvodnih rezinah, da bi ugotovili enakomernost in kakovost jedkanja. Posebna pozornost je bila namenjena robu rezin, da se upoštevajo velika opažena odstopanja. Poleg tega smo uporabili podroben fizični model za karakterizacijo struktur HAR zunaj linearnega nagiba. Ta pristop zagotavlja popolnejšo sliko kakovosti jedkanja.«
Najdi tehnični papir tukaj. Objavljeno marca 2023.
Peter Gin, Matthew Wormington, Yehonatan Amasay, Inbar Grinberg, Alexander Brady, Israel Reichental, Kevin Matney, Jin Zhang in Osman Sorkhabi »Inline meroslovje nagiba luknje z visokim razmerjem stranic in premika središčne črte z uporabo rentgenskega sipanja pod majhnim kotom,« Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(3), 031205 (22. marec 2023). https://doi.org/10.1117/1.JMM.22.3.031205.
Sorodno branje:
Kako se meroslovna orodja zlagajo v naprave 3D NAND
Skrite funkcije in ponovne geometrije poganjajo meroslovne rešitve, specifične za aplikacijo.
- Distribucija vsebine in PR s pomočjo SEO. Okrepite se še danes.
- PlatoAiStream. Podatkovna inteligenca Web3. Razširjeno znanje. Dostopite tukaj.
- Kovanje prihodnosti z Adryenn Ashley. Dostopite tukaj.
- Kupujte in prodajajte delnice podjetij pred IPO s PREIPO®. Dostopite tukaj.
- vir: https://semiengineering.com/3d-memory-structures-common-hole-and-tilt-metrology-techniques-and-capabilities/
- : je
- $GOR
- 1
- 2023
- 22
- 3d
- 50
- a
- Račun
- natančna
- natančno
- doseže
- čez
- Poleg tega
- Pomoč
- Alexander
- Prav tako
- analizirati
- in
- pristop
- ureditev
- AS
- vidik
- vidiki
- At
- pozornosti
- BE
- Poleg
- by
- CAN
- Zmogljivosti
- lahko
- previdno
- primeru
- Primeri dobre prakse
- center
- izzivi
- izziv
- Channel
- karakterizira
- Skupno
- dokončanje
- nadzor
- kritično
- globoko
- podrobno
- Ugotovite,
- Razvoj
- Dimenzije
- pogon
- med
- Edge
- FAST
- Lastnosti
- Film
- za
- je pokazala,
- polno
- Gin
- dana
- Trdi
- Imajo
- visoka
- Luknja
- Luknje
- HTTPS
- idealen
- in
- vpogledi
- v
- Izrael
- IT
- Revija
- Ključne
- znano
- Lam
- velika
- vrstica
- Izdelava
- marec
- Maska
- materiali
- Matthew
- Merjenje
- meritve
- Spomin
- Metodologija
- Meroslovje
- Model
- več
- več
- nano
- of
- on
- Papir
- zlasti
- zlasti
- opravljeno
- periodično
- fizično
- slika
- platon
- Platonova podatkovna inteligenca
- PlatoData
- močan
- natančna
- Ravno
- Precision
- Postopek
- proizvodnja
- profil
- Lastnosti
- zagotavljajo
- zagotavlja
- objavljeno
- kakovost
- razmerje
- reading
- zahteva
- Raziskave
- raziskovalci
- več
- Oblikujte
- premik
- Prikaži
- Velikosti
- rešitve
- sveženj
- Skladovnice
- strukturno
- Študije
- taka
- tehnični
- tehnike
- da
- O
- ta
- Tridimenzionalni
- skozi
- z naslovom
- do
- orodja
- edinstven
- Rabljeni
- uporabo
- dragocene
- je
- we
- so bili
- ki
- bo
- z
- brez
- x-ray
- zefirnet