Нанотехнологии сейчас - Пресс-релиз: Технология сфокусированного ионного пучка: единый инструмент для широкого спектра применений

Переиздано Платоном

Читают: 0

Главная > Нажмите > Технология сфокусированного ионного луча: один инструмент для широкого спектра применений

Физик Грегор Главачек, руководитель проекта ЕС FIT4NANO, отвечает за современное оборудование в HZDR, где он может создавать и анализировать наноструктуры с использованием особо тонко сфокусированного ионного пучка.

КРЕДИТ
Оливер Киллиг/HZDR

Physicist Gregor Hlawacek, head of the EU project FIT4NANO, is responsible for a state-of-the-art facility at the HZDR where he can produce and analyze nanostructures using a particularly finely focused ion beam.

КРЕДИТ
Оливер Киллиг/HZDR

Абстрактные:
Обработка материалов на наноуровне, производство прототипов микроэлектроники или анализ биологических образцов: диапазон применения тонко сфокусированных ионных пучков огромен. Эксперты из сотрудничества ЕС FIT4NANO сейчас рассмотрели множество вариантов и разработали дорожную карту на будущее. Статья, опубликованная в журнале «Applied Physics Review» (DOI: 10.1063/5.0162597), предназначена для студентов, пользователей из промышленности и науки, а также разработчиков исследовательской политики.

Технология сфокусированного ионного луча: один инструмент для широкого спектра применений

Дрезден, Германия | Опубликовано 12 января 2024 г.

«Мы поняли, что сфокусированные ионные пучки можно использовать по-разному, и думали, что у нас есть хороший обзор в начале проекта. Но затем мы обнаружили, что приложений гораздо больше, чем мы думали. Во многих публикациях использование сфокусированных ионных пучков даже не упоминается явно, а скрывается в разделе «Методы». Это была детективная работа», — говорит доктор Катя Хёфлих, физик из Института Фердинанда Брауна и Центра Гельмгольца в Берлине (HZB), которая координировала подробный отчет. «В частности, мы нашли работы 1960-х и 1970-х годов, опередившие свое время и несправедливо забытые. Даже сегодня они по-прежнему дают важную информацию».

В отчете представлен обзор текущего состояния технологии сфокусированного ионного пучка (FIB), ее применения со многими примерами, наиболее важными разработками оборудования и перспективами на будущее. «Мы хотели предоставить справочный материал, который будет полезен для академических исследований и промышленных отделов исследований и разработок, а также поможет научно-исследовательскому руководству найти свой путь в этой области», — говорит доктор Грегор Главачек, руководитель группы в Институте ионно-лучевой физики и исследований материалов. в Центре Гельмгольца Дрезден-Россендорф (HZDR). Главачек возглавляет проект FIT4NANO, проект ЕС по технологиям FIB, в котором участвуют авторы отчета.

От фундаментальных исследований до готового компонента

В приборах FIB используется сфокусированный ионный пучок с напряжением от двух до 30 килоэлектронвольт (кэВ). Благодаря небольшому диаметру в нанометровом и субнанометровом диапазоне такой ионный луч сканирует образец и может изменять его поверхность с нанометровой точностью. Приборы FIB — универсальный инструмент для анализа, безмасковой локальной модификации материалов и быстрого прототипирования микроэлектронных компонентов. Первые приборы ФИП применялись в полупроводниковой промышленности для коррекции фотомасок сфокусированными ионами галлия. Сегодня доступны приборы FIB с множеством различных типов ионов. Важным применением является подготовка образцов для получения изображений с высоким разрешением и нанометровой точностью в электронном микроскопе. Методы FIB также использовались в науках о жизни, например, для анализа и изображения микроорганизмов и вирусов с помощью томографии на основе FIB, что обеспечивает глубокое понимание микроскопических структур и их функций.

Инструменты FIB постоянно развиваются в направлении других энергий, более тяжелых ионов и новых возможностей, таких как пространственно-разрешенная генерация одиночных атомных дефектов в идеальных кристаллах. Такая обработка материалов и компонентов ФИБ имеет огромный потенциал в квантовых и информационных технологиях. Диапазон применений – от фундаментальных исследований до готовых устройств, от физики, материаловедения и химии до наук о жизни и даже археологии – абсолютно уникален. «Мы надеемся, что эта дорожная карта вдохновит на научные и технологические прорывы и послужит инкубатором для будущих разработок», — говорит Грегор Главачек.

####

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, нажмите здесь

Контактная информация:
Контактная информация для СМИ

Саймон Шмитт
Гельмгольц-Центр Дрезден-Россендорф
Офис: 351-260-3400
Контакты экспертов

Доктор Грегор Главачек
Гельмгольц-Центр Дрезден-Россендорф
Офис: ++49 351 260 3409
Доктор Катя Хёфлих
Институт Фердинанда Брауна и Центр Гельмгольца в Берлине (HZB)

Авторское право © Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Если у вас есть комментарий, пожалуйста Контакты нас.

Издатели новостных выпусков, а не 7th Wave, Inc. или Nanotechnology Now, несут единоличную ответственность за точность содержания.

Закладка: