Kompleksowe badanie wykrywania defektów półprzewodników na obrazach SEM przy użyciu SEMI-PointRend
Wykrywanie defektów półprzewodników to krytyczny proces w produkcji układów scalonych. Ważne jest, aby wykryć wszelkie wady w procesie produkcyjnym, aby produkt finalny był wysokiej jakości i spełniał wymagane normy. Wykorzystanie obrazów skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) do wykrywania defektów staje się coraz bardziej popularne ze względu na możliwość dostarczania szczegółowych obrazów powierzchni półprzewodnika. Jednak tradycyjne techniki analizy obrazu SEM mają ograniczone możliwości dokładnego wykrywania defektów. Ostatnio pojawiła się nowa technika o nazwie SEMI-PointRendering