Een uitgebreide studie van detectie van halfgeleiderdefecten in SEM-afbeeldingen met behulp van SEMI-PointRend
eringDefectdetectie van halfgeleiders is een cruciaal proces bij de productie van geïntegreerde schakelingen. Het is belangrijk om eventuele defecten in het fabricageproces op te sporen om ervoor te zorgen dat het eindproduct van hoge kwaliteit is en voldoet aan de vereiste normen. Het gebruik van scanning-elektronenmicroscopie (SEM)-afbeeldingen om defecten te detecteren is steeds populairder geworden vanwege het vermogen om gedetailleerde afbeeldingen van het oppervlak van de halfgeleider te leveren. Traditionele SEM-beeldanalysetechnieken zijn echter beperkt in hun vermogen om defecten nauwkeurig te detecteren. Onlangs is een nieuwe techniek genaamd SEMI-PointRendering geïntroduceerd.