Inseto はカーディフ化合物半導体研究所に機器を供給

ニュース： サプライヤー

２０１８年７月１９日

英国アンドーバーの Inseto (UK) Ltd (半導体、マイクロエレクトロニクスおよび先端技術分野への機器および材料の販売会社) は、カーディフ大学化合物半導体研究所に、その新しい 16,150 フィートの半導体製造装置を供給しました。2 5月に営業を開始したトランスレーショナルリサーチハブ（TRH）に隣接するクリーンルーム。

TRHは129,000フィートです2 柔軟な実験室とオフィススペースを組み合わせた施設で、業界と専門家が協力して複雑な世界的課題を解決できます。 ICS の新しい 200 mm 製造ラインは、ICS の研究者および商業パートナーによって新しい化合物半導体デバイスの試行、開発、スケールアップに使用されています。

Inseto が提供する装置には、MCS8 手動レジスト コーティング システム、MA8 Gen4 マスク アライナー、SD12 および AD12 湿式処理システム、HMxSquare 9 フォトマスク クリーナー (すべて SUSS MicroTec 製)、PlasmaEtch PE-75 プラズマ処理システム、ADT が含まれます。 7900ウェーハダイシングソー。さらに、Inseto のエンジニアリング チームは、機器の設置とオペレーターのトレーニングを管理しました。

写真: SUSS MicroTec MA8 Gen4 マスク アライナー、Inseto によって化合物半導体研究所に供給。

「Inseto は、当社の製造ラインを 150 mm から 200 mm にスケールアップできる一連の最先端の機器を提供してくれました。これが新しいクリーンルームへの移行の中心でした」と ICS 氏は述べています。オペレーションディレクターのアンジェラ・ソビエシエルスキー博士。 「Inseto からの納入後のサポートも素晴らしく、当社のチームや関係する OEM エンジニアと緊密に連携して、設置と試運転がスムーズに進むようにしてくれました。」と彼女は付け加えました。

ICS は、英国のサウスウェールズにあるヨーロッパ初の化合物半導体クラスターである CSconnected の開発における創設メンバーおよび主要パートナーでした。この研究所は、学術的な卓越性を実用的な製造可能なデバイスおよび統合サブシステムに変換する専門知識と能力を備え、他のクラスターパートナーの活動を補完する小規模から中規模の製造能力を提供します。

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タグ： CSコネクテッド

参照してください。 www.cardiff.ac.uk/institute-compound-semiconductors

参照してください。 www.inseto.co.uk

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• 情報源： https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/jul/inseto-ics-130723.shtml