SEMI-PointRend: השגת דיוק ופירוט מוגברים בניתוח פגמי מוליכים למחצה מתמונות SEM

צומת המקור: 2011071

ניתוח פגמים מוליכים למחצה הוא חלק חשוב בתהליך הייצור של מעגלים משולבים. פגמים עלולים לגרום למגוון בעיות, החל מירידה בביצועים ועד לכשל מוחלט של המכשיר. כדי להבטיח את ייצור המוצרים האיכותיים ביותר, יש צורך בשיטת זיהוי וניתוח ליקויים אמינה ומדויקת. SEMI-PointRend היא טכנולוגיה חדשה המאפשרת דיוק ופרטים מוגברים בניתוח פגמים מוליכים למחצה מסריקת תמונות של מיקרוסקופ אלקטרוני (SEM).

SEMI-PointRend היא מערכת עיבוד תמונה מבוססת למידת מכונה המשתמשת באלגוריתמי למידה עמוקה כדי לזהות ולנתח פגמים בהתקני מוליכים למחצה. הוא נועד לשמש עם תמונות SEM, המספקות רזולוציה גבוהה יותר מאשר מיקרוסקופיה אופטית מסורתית. באמצעות אלגוריתמי למידה עמוקה, SEMI-PointRend מסוגל לזהות ולסווג פגמים בדיוק ופרטים גדולים יותר מאשר שיטות מסורתיות.

המערכת פועלת על ידי חילוץ תחילה של תכונות מתמונת SEM. תכונות אלו משמשות לאחר מכן לאימון מודל למידה עמוקה, המשמש לאחר מכן לאיתור ולסווג פגמים בתמונה. המודל מאומן באמצעות מערך נתונים גדול של תמונות SEM עם פגמים ידועים, מה שמאפשר לזהות ולסווג פגמים במדויק גם בתמונות עם ניגודיות נמוכה או יחס אות לרעש נמוך.

SEMI-PointRend נבדק על מגוון התקני מוליכים למחצה שונים, כולל שבבים, פרוסות וחבילות. בכל המקרים היא הצליחה לזהות ולסווג פגמים בדיוק רב יותר משיטות מסורתיות. בנוסף, המערכת הצליחה לזהות פגמים שלא נראו לעין האנושית, מה שמאפשר ניתוח פגמים יסודי יותר.

בסך הכל, SEMI-PointRend הוא כלי יעיל להגברת הדיוק והפירוט בניתוח פגמים מוליכים למחצה מתמונות SEM. באמצעות אלגוריתמי למידה עמוקה, הוא מסוגל לזהות ולסווג פגמים בדיוק רב יותר מאשר בשיטות מסורתיות, מה שמאפשר ניתוח פגמים יסודי יותר. טכנולוגיה זו יכולה לעזור להבטיח שהמוצרים האיכותיים ביותר מיוצרים, מה שמוביל לשיפור הביצועים והאמינות של התקני מוליכים למחצה.

בול זמן:

עוד מ מוליכים למחצה / Web3