מחקר מקיף של זיהוי פגמים במוליכים למחצה בתמונות SEM באמצעות SEMI-PointRend
זיהוי פגמים של eringSemiconductor הוא תהליך קריטי בייצור מעגלים משולבים. חשוב לאתר כל ליקוי בתהליך הייצור על מנת להבטיח שהמוצר הסופי יהיה איכותי ועומד בתקנים הנדרשים. השימוש בתמונות מיקרוסקופיית אלקטרונים סורקת (SEM) לזיהוי פגמים הפך לפופולרי יותר ויותר בשל יכולתו לספק תמונות מפורטות של פני השטח של המוליך למחצה. עם זאת, טכניקות ניתוח תמונת SEM מסורתיות מוגבלות ביכולתן לזהות במדויק פגמים. לאחרונה, טכניקה חדשה בשם SEMI-PointRendering הוקמה