Uno studio completo sul rilevamento dei difetti dei semiconduttori nelle immagini SEM utilizzando SEMI-PointRend
eringIl rilevamento dei difetti dei semiconduttori è un processo critico nella produzione di circuiti integrati. È importante rilevare eventuali difetti nel processo di produzione per garantire che il prodotto finale sia di alta qualità e soddisfi gli standard richiesti. L'uso delle immagini al microscopio elettronico a scansione (SEM) per rilevare i difetti è diventato sempre più popolare grazie alla sua capacità di fornire immagini dettagliate della superficie del semiconduttore. Tuttavia, le tradizionali tecniche di analisi delle immagini SEM sono limitate nella loro capacità di rilevare accuratamente i difetti. Recentemente, una nuova tecnica chiamata SEMI-PointRendering è stata sviluppata