Studi Komprehensif Deteksi Cacat Semikonduktor pada Gambar SEM Menggunakan SEMI-PointRend
Deteksi cacat semikonduktor adalah proses penting dalam produksi sirkuit terpadu. Penting untuk mendeteksi setiap cacat dalam proses pembuatan untuk memastikan bahwa produk akhir berkualitas tinggi dan memenuhi standar yang dipersyaratkan. Penggunaan gambar scanning electron microscopy (SEM) untuk mendeteksi cacat telah menjadi semakin populer karena kemampuannya untuk memberikan gambar detail dari permukaan semikonduktor. Namun, teknik analisis citra SEM tradisional terbatas kemampuannya untuk mendeteksi cacat secara akurat. Baru-baru ini, teknik baru yang disebut SEMI-PointRendering telah