होम > दबाएँ > फोकस्ड आयन बीम प्रौद्योगिकी: अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए एक एकल उपकरण
Physicist Gregor Hlawacek, head of the EU project FIT4NANO, is responsible for a state-of-the-art facility at the HZDR where he can produce and analyze nanostructures using a particularly finely focused ion beam.
क्रेडिट |
सार:
नैनोस्केल पर सामग्री का प्रसंस्करण, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स के लिए प्रोटोटाइप तैयार करना या जैविक नमूनों का विश्लेषण करना: बारीक केंद्रित आयन बीम के लिए अनुप्रयोगों की सीमा बहुत बड़ी है। EU सहयोग FIT4NANO के विशेषज्ञों ने अब कई विकल्पों की समीक्षा की है और भविष्य के लिए एक रोडमैप विकसित किया है। लेख, "एप्लाइड फिजिक्स रिव्यू" (डीओआई: 10.1063/5.0162597) में प्रकाशित, छात्रों, उद्योग और विज्ञान के उपयोगकर्ताओं के साथ-साथ अनुसंधान नीति निर्माताओं के लिए है।
फोकस्ड आयन बीम प्रौद्योगिकी: अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए एक एकल उपकरण
ड्रेसडेन, जर्मनी | 12 जनवरी, 2024 को पोस्ट किया गया
“हमने महसूस किया कि केंद्रित आयन बीम का उपयोग कई अलग-अलग तरीकों से किया जा सकता है, और हमने सोचा कि परियोजना की शुरुआत में हमारे पास एक अच्छा अवलोकन था। लेकिन फिर हमें पता चला कि जितना हमने सोचा था उससे कहीं अधिक एप्लिकेशन मौजूद हैं। कई प्रकाशनों में, केंद्रित आयन किरणों के उपयोग का स्पष्ट रूप से उल्लेख भी नहीं किया गया है, लेकिन विधियों अनुभाग में छिपा हुआ है। फर्डिनेंड-ब्रौन-इंस्टीट्यूट और हेल्महोल्त्ज़-ज़ेंट्रम बर्लिन (HZB) के भौतिक विज्ञानी डॉ. काटजा हॉफ्लिच कहते हैं, ''यह जासूसी का काम था, जिन्होंने व्यापक रिपोर्ट का समन्वय किया। “विशेष रूप से, हमें 1960 और 1970 के दशक का काम मिला जो अपने समय से आगे था और अन्यायपूर्वक भुला दिया गया था। आज भी, वे महत्वपूर्ण अंतर्दृष्टि प्रदान करते हैं"।
रिपोर्ट फोकस्ड आयन बीम (एफआईबी) प्रौद्योगिकी की वर्तमान स्थिति, कई उदाहरणों के साथ इसके अनुप्रयोगों, सबसे महत्वपूर्ण उपकरण विकास और भविष्य की संभावनाओं का अवलोकन प्रदान करती है। "हम एक संदर्भ कार्य प्रदान करना चाहते थे जो अकादमिक अनुसंधान और औद्योगिक अनुसंधान एवं विकास विभागों के लिए उपयोगी है, बल्कि अनुसंधान प्रबंधन को इस क्षेत्र में अपना रास्ता खोजने में भी मदद करता है," इंस्टीट्यूट ऑफ आयन बीम फिजिक्स एंड मैटेरियल्स रिसर्च के समूह नेता डॉ. ग्रेगर ह्लावासेक कहते हैं। हेल्महोल्ट्ज़-ज़ेंट्रम ड्रेसडेन-रॉसेंडॉर्फ (HZDR) में। ह्लावासेक FIT4NANO परियोजना का नेतृत्व करते हैं, जो FIB प्रौद्योगिकियों पर एक EU परियोजना है, जिसमें रिपोर्ट के लेखक शामिल हैं।
बुनियादी अनुसंधान से लेकर तैयार घटक तक
एफआईबी उपकरण आमतौर पर दो से 30 किलोइलेक्ट्रॉनवोल्ट (केवी) के केंद्रित आयन बीम का उपयोग करते हैं। नैनोमीटर और उप-नैनोमीटर रेंज में अपने छोटे व्यास के साथ, ऐसा आयन बीम नमूना स्कैन करता है और नैनोमीटर परिशुद्धता के साथ इसकी सतह को बदल सकता है। एफआईबी उपकरण विश्लेषण, मास्क रहित स्थानीय सामग्री संशोधन और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक घटकों के तेजी से प्रोटोटाइप के लिए एक सार्वभौमिक उपकरण हैं। पहले एफआईबी उपकरणों का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में केंद्रित गैलियम आयनों के साथ फोटोमास्क को सही करने के लिए किया गया था। आज, एफआईबी उपकरण कई अलग-अलग प्रकार के आयनों के साथ उपलब्ध हैं। एक महत्वपूर्ण अनुप्रयोग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप में उच्च-रिज़ॉल्यूशन, नैनोमीटर-सटीक इमेजिंग के लिए नमूने तैयार करना है। एफआईबी विधियों का उपयोग जीवन विज्ञान में भी किया गया है, उदाहरण के लिए एफआईबी-आधारित टोमोग्राफी के साथ सूक्ष्म जीवों और वायरस का विश्लेषण और छवि, सूक्ष्म संरचनाओं और उनके कार्यों में गहरी अंतर्दृष्टि प्रदान करना।
एफआईबी उपकरण लगातार अन्य ऊर्जाओं, भारी आयनों और नई क्षमताओं की ओर विकसित हो रहे हैं, जैसे कि अन्यथा पूर्ण क्रिस्टल में एकल परमाणु दोषों की स्थानिक रूप से हल की गई पीढ़ी। सामग्रियों और घटकों के ऐसे एफआईबी प्रसंस्करण में क्वांटम और सूचना प्रौद्योगिकी में भारी संभावनाएं हैं। मौलिक अनुसंधान से लेकर तैयार उपकरण तक, भौतिकी, सामग्री विज्ञान और रसायन विज्ञान से लेकर जीवन विज्ञान और यहां तक कि पुरातत्व तक, अनुप्रयोगों की सीमा बिल्कुल अद्वितीय है। ग्रेगोर ह्लावासेक कहते हैं, "हमें उम्मीद है कि यह रोडमैप वैज्ञानिक और तकनीकी सफलताओं को प्रेरित करेगा और भविष्य के विकास के लिए एक इनक्यूबेटर के रूप में कार्य करेगा।"
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डॉ. काटजा हॉफ्लिच
फर्डिनेंड-ब्रौन-इंस्टीट्यूट और हेल्महोल्त्ज़-ज़ेंट्रम बर्लिन (HZB)
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