केईआरआई ने हंगरी के सेमिलाब को SiC पावर सेमीकंडक्टर आयन इम्प्लांटेशन मूल्यांकन तकनीक हस्तांतरित की

समाचार: आपूर्तिकर्ता

8 सितम्बर 2023

कोरिया इलेक्ट्रोटेक्नोलॉजी रिसर्च इंस्टीट्यूट (केईआरआई) - जिसे दक्षिण कोरिया के विज्ञान और आईसीटी मंत्रालय के राष्ट्रीय विज्ञान और प्रौद्योगिकी अनुसंधान परिषद (एनएसटी) के तहत वित्त पोषित किया जाता है - ने सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) पावर सेमीकंडक्टर्स के लिए आयन प्रत्यारोपण और मूल्यांकन तकनीक को मेट्रोलॉजी उपकरण में स्थानांतरित कर दिया है। बुडापेस्ट, हंगरी की फर्म सेमिलाब ZRT।

जबकि SiC पावर सेमीकंडक्टर्स के कई फायदे हैं, विनिर्माण प्रक्रिया बहुत चुनौतीपूर्ण है। पहले, विधि अत्यधिक प्रवाहकीय वेफर पर एक एपिटैक्सियल परत बनाकर और उस क्षेत्र के माध्यम से प्रवाहित धारा बनाकर एक उपकरण बनाना था। हालाँकि, इस प्रक्रिया के दौरान, एपिलेयर की सतह खुरदरी हो जाती है और इलेक्ट्रॉन स्थानांतरण की गति कम हो जाती है। एपिवेफर की कीमत भी अधिक है, जो बड़े पैमाने पर उत्पादन में एक बड़ी बाधा है।

इस समस्या को हल करने के लिए, केईआरआई ने वेफर को प्रवाहकीय बनाने के लिए एक एपिलेयर के बिना अर्ध-इन्सुलेटिंग सीआईसी वेफर में आयनों को प्रत्यारोपित करने की एक विधि का उपयोग किया।

चूंकि SiC सामग्रियां कठोर होती हैं, इसलिए उन्हें आयनों को सक्रिय करने के लिए बहुत उच्च-ऊर्जा आयन प्रत्यारोपण के बाद उच्च तापमान ताप उपचार की आवश्यकता होती है, जिससे इसे लागू करना एक कठिन तकनीक बन जाती है। हालाँकि, KERI का कहना है कि, SiC को समर्पित आयन इम्प्लांटेशन उपकरण के संचालन में अपने 10 वर्षों के अनुभव के आधार पर, यह प्रासंगिक प्रौद्योगिकियों को स्थापित करने में सफल रहा है।

चित्र: बाएं से दूसरे, केईआरआई के पावर सेमीकंडक्टर रिसर्च डिवीजन के कार्यकारी निदेशक डॉ. बाहंग वूक; बाएं से तीसरे, सेमीलैब कोरिया कंपनी लिमिटेड के सीईओ पार्क सु-योंग।

केईआरआई के एडवांस्ड सेमीकंडक्टर रिसर्च सेंटर के निदेशक डॉ. किम ह्योंग वू कहते हैं, "आयन इम्प्लांटेशन तकनीक सेमीकंडक्टर उपकरणों में वर्तमान प्रवाह को बढ़ाकर और महंगे एपिवेफर्स को बदलकर प्रक्रिया लागत को काफी कम कर सकती है।" "यह एक ऐसी तकनीक है जो उच्च-प्रदर्शन वाले SiC पावर सेमीकंडक्टर्स की कीमत प्रतिस्पर्धात्मकता को बढ़ाती है और बड़े पैमाने पर उत्पादन में बहुत योगदान देती है।"

प्रौद्योगिकी को हाल ही में सेमिलाब को हस्तांतरित किया गया था, जिसके हंगरी और संयुक्त राज्य अमेरिका में विनिर्माण संयंत्र हैं। 30 साल के इतिहास के साथ, SEMILAB के पास मध्यम आकार के सटीक माप उपकरण और सामग्री लक्षण वर्णन उपकरण के लिए पेटेंट हैं, और सेमीकंडक्टर विद्युत पैरामीटर मूल्यांकन प्रणालियों के लिए प्रौद्योगिकी है।

चित्र: अर्ध-इन्सुलेटिंग SiC वेफर।

कंपनियों को उम्मीद है कि, प्रौद्योगिकी हस्तांतरण के माध्यम से, वे उच्च गुणवत्ता वाले SiC को मानकीकृत करने में सक्षम होंगे। SEMILAB ने SiC पावर सेमीकंडक्टर्स के लिए आयन इम्प्लांटेशन प्रक्रिया का मूल्यांकन करने के लिए विशेष उपकरण विकसित करने के लिए KERI की तकनीक का उपयोग करने की योजना बनाई है। "विशेष उपकरणों के विकास के माध्यम से, हम इम्प्लांट सिस्टम के तत्काल, सटीक और कम लागत वाले उत्पादन नियंत्रण और प्री-एनील इम्प्लांट के लिए इन-लाइन निगरानी के लिए SiC वेफर्स पर इम्प्लांट प्रक्रियाओं की इन-लाइन निगरानी में प्रगति करने में सक्षम होंगे," कहते हैं। पार्क सु-योंग, सेमिलाब कोरिया के अध्यक्ष। "यह उत्कृष्ट एकरूपता और प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्यता के साथ उच्च गुणवत्ता वाले आयन आरोपण बड़े पैमाने पर उत्पादन प्रक्रिया को सुरक्षित रूप से सुरक्षित करने के लिए एक महान आधार होगा।"

टैग: SiC उपकरण बिजली के इलेक्ट्रॉनिक्स आयन प्रत्यारोपण

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