Oxford Instruments fournit le système ALD au fabricant britannique de micro-LED

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24 Janvier 2024

La société Oxford Instruments, basée au Royaume-Uni, affirme que son équipement de dépôt de couche atomique (ALD) a été installé chez un « fournisseur britannique de micro-LED primé » pour prendre en charge les derniers produits et dispositifs d'affichage de réalité immersive grand public. Le système est utilisé pour déposer des films ultra-minces diélectriques à haute densité pour des matrices de pixels RVB à haute densité, très haute luminosité, faible consommation et à fréquence d'images élevée pour les appareils grand public de réalité augmentée, virtuelle et mixte et les appareils intelligents. montres.

La demande croissante d’appareils portables de plus petite taille, dotés d’écrans haute définition, alimente une croissance significative de la recherche dans ce secteur. Les micro-LED sont capables de fournir des tailles de pas de puce <10 µm et permettent donc la miniaturisation des dispositifs d'affichage portables grand public, tout en conservant une résolution d'image élevée. À mesure que la taille du pas diminue, le rapport périmètre/surface augmente proportionnellement et les dommages introduits lors de l'étape de formation et d'isolation des mesas deviennent un facteur limitant les performances.

Lors de la 14e Conférence internationale sur les semi-conducteurs au nitrure (ICNS 2023) à Fukuoka, au Japon, à la mi-novembre, de nombreuses présentations ont été faites, soulignant les avantages de l'ALD plasma pour lutter contre les dommages. Il a également été démontré que l’ALD plasma augmente considérablement l’efficacité quantique externe, l’ALD étant décrite comme essentielle aux émetteurs de lumière miniatures.

« Notre technologie ALD plasma à faibles dommages gagne du terrain sur le marché sur notre plate-forme compatible 200 mm », déclare Klaas Wisniewski, directeur du développement commercial stratégique d'Oxford Instruments. « Notre solution de passivation plasma ALD high-K est optimisée pour les puces plus petites avec des zones actives plus petites, et nos clients de l'ICNS ont démontré dans certains cas qu'elle double l'efficacité quantique externe », ajoute-t-il. « Les micro-LED hautes performances de petit format sont un composant essentiel des visiocasques destinés à la réalité virtuelle et d'autres appareils avancés tels que les montres intelligentes, et notre technologie permet de réaliser certains des appareils grand public les plus recherchés et les plus avancés.

Oxford Instruments participe à l'événement SPIE Photonics West 2024 à San Francisco (30 janvier-1er février), où il partagera ses derniers processus optoélectroniques pour la réalité augmentée, virtuelle et mixte et quantique, ainsi que des applications de transfert de données pour l'intelligence artificielle et les machines. apprentissage.

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Mots clés: OIPT

Visite: plasma.oxinst.com

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• La source: https://www.semiconductor-today.com/news_items/2024/jan/oipt-240124.shtml