KERI transfère sa technologie d'évaluation de l'implantation ionique des semi-conducteurs de puissance SiC à la société hongroise SEMILAB

Actualités : Fournisseurs

8 Septembre 2023

L'Institut coréen de recherche en électrotechnologie (KERI), financé par le Conseil national de recherches en sciences et technologies (NST) du ministère sud-coréen des Sciences et des TIC, a transféré la technologie d'implantation et d'évaluation des ions pour les semi-conducteurs de puissance en carbure de silicium (SiC) vers des équipements de métrologie. société SEMILAB ZRT de Budapest, Hongrie.

Si les semi-conducteurs de puissance SiC présentent de nombreux avantages, le processus de fabrication est très complexe. Auparavant, la méthode consistait à créer un dispositif en formant une couche épitaxiale sur une plaquette hautement conductrice et en faisant circuler un courant à travers cette zone. Cependant, au cours de ce processus, la surface de l’épicouche devient rugueuse et la vitesse de transfert électronique diminue. Le prix de l’épiwafer lui-même est également élevé, ce qui constitue un obstacle majeur à la production de masse.

Pour résoudre ce problème, KERI a utilisé une méthode d'implantation d'ions dans une plaquette de SiC semi-isolante sans épicouche afin de rendre la plaquette conductrice.

Les matériaux SiC étant durs, ils nécessitent une implantation ionique à très haute énergie suivie d’un traitement thermique à haute température pour activer les ions, ce qui en fait une technologie difficile à mettre en œuvre. Cependant, KERI affirme que, grâce à ses 10 années d'expérience dans l'exploitation d'équipements d'implantation ionique dédiés au SiC, elle a réussi à mettre en place les technologies pertinentes.

Photo : deuxième en partant de la gauche, Dr Bahng Wook, directeur exécutif de la division de recherche sur les semi-conducteurs de puissance de KERI ; troisième en partant de la gauche, Park Su-yong, PDG de Semilab Korea Co Ltd.

"La technologie d'implantation ionique peut réduire considérablement les coûts des processus en augmentant le flux de courant dans les dispositifs semi-conducteurs et en remplaçant les épiwafers coûteux", déclare le Dr Kim Hyoung Woo, directeur du Advanced Semiconductor Research Center, KERI. "Il s'agit d'une technologie qui augmente la compétitivité des prix des semi-conducteurs de puissance SiC hautes performances et contribue grandement à la production de masse."

La technologie a été récemment transférée à SEMILAB, qui possède des usines de fabrication en Hongrie et aux États-Unis. Avec une histoire de 30 ans, SEMILAB possède des brevets pour des équipements de mesure de précision de taille moyenne et des équipements de caractérisation des matériaux, et possède une technologie pour les systèmes d'évaluation des paramètres électriques des semi-conducteurs.

Photo : plaquette de SiC semi-isolante.

Les entreprises espèrent pouvoir standardiser du SiC de haute qualité grâce au transfert de technologie. SEMILAB prévoit d'utiliser la technologie de KERI pour développer des équipements spécialisés afin d'évaluer le processus d'implantation ionique pour les semi-conducteurs de puissance SiC. "Grâce au développement d'équipements spécialisés, nous serons en mesure de progresser dans la surveillance en ligne des processus d'implantation sur des plaquettes de SiC pour un contrôle immédiat, précis et peu coûteux de la production des systèmes d'implants et une surveillance en ligne pour les implants pré-recuits", déclare Park Su-yong, président de SEMILAB Corée. "Ce sera une excellente base pour garantir de manière stable un processus de production de masse d'implantation ionique de haute qualité avec une excellente uniformité et reproductibilité."

Mots clés: Appareils SiC L'électronique de puissance implanteurs ioniques

Visite: www.semilab.com

Visite: www.keri.re.kr/html/en

• Contenu propulsé par le référencement et distribution de relations publiques. Soyez amplifié aujourd'hui.
• PlatoData.Network Ai générative verticale. Autonomisez-vous. Accéder ici.
• PlatoAiStream. Intelligence Web3. Connaissance Amplifiée. Accéder ici.
• PlatonESG. Automobile / VE, Carbone, Technologie propre, Énergie, Environnement, Solaire, La gestion des déchets. Accéder ici.
• PlatoHealth. Veille biotechnologique et essais cliniques. Accéder ici.
• GraphiquePrime. Élevez votre jeu de trading avec ChartPrime. Accéder ici.
• Décalages de bloc. Modernisation de la propriété des compensations environnementales. Accéder ici.
• La source: https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/sep/keri-semilabzrt-080923.shtml