Pour la première fois, l’IEDM a organisé une session sur le développement durable lors de la conférence 2023. J'étais l'un des auteurs qui ont présenté un article invité, ce qui suit est un résumé de ma présentation.
Appel à l'action
Des Nations Unies [1] :
« Le changement climatique est le problème déterminant de notre époque, et nous nous trouvons à un moment déterminant. »
« Sans une action drastique aujourd’hui, il sera plus difficile et plus coûteux de s’adapter à ces impacts à l’avenir. »
Il existe quelques liens scientifiques fondamentaux bien établis :
- La concentration de gaz à effet de serre (GES) dans l’atmosphère terrestre est directement liée à la température moyenne mondiale sur Terre.
- La concentration n’a cessé d’augmenter, tout comme les températures mondiales moyennes, depuis l’époque de la révolution industrielle.
Problème en deux parties
Nous considérons la réduction des émissions de GES comme un problème à deux volets :
- Concevoir les futurs processus et technologies pour réduire les émissions de carbone.
- Mais… nous devons également réduire les émissions de carbone des installations et des processus existants.
Une modélisation détaillée des émissions de carbone est nécessaire pour comprendre à la fois les défis futurs des processus et la manière de répondre aux processus/installations existants.
Modèle carbone
Le modèle carbone décrit ici est basé sur l'ancien modèle stratégique de coûts et de prix d'IC Knowledge, largement utilisé dans l'industrie depuis 2010. Le modèle stratégique est bien vérifié à ce stade. TechInsights a acquis IC Knowledge en novembre 2022.
Le modèle stratégique – modélise la NAND 3D, la DRAM et la logique avec une couverture des premiers processus sur 300 mm jusqu'aux processus futurs. Actuellement, le modèle couvre 167 usines de fabrication de 300 mm et 220 flux de processus spécifiques à l'entreprise.
Le modèle calcule des ensembles d'équipements détaillés avec les besoins en électricité, en eau et en gaz naturel. Les consommations de matériaux détaillées par type de matériau sont également calculées.
Le modèle est fabuleux ! C’est un point clé en matière d’étalonnage et de validation. Il existe diverses données sur les émissions de GES disponibles, dans certains cas par site de fabrication de l'entreprise, dans d'autres cas par pays pour une entreprise et dans certains cas pour l'ensemble de l'entreprise. La possibilité de modéliser les usines qui composent un site, ou toutes les usines de fabrication d'une entreprise dans un pays, ou toutes les usines de fabrication d'une entreprise, permet l'étalonnage et la validation.
Le modèle Carbone ne mesure actuellement que 300 mm, bien que nous étudions l'ajout de tailles de plaquettes supplémentaires. Selon SEMI, 300 mm représentent environ 70 % des millions de pouces carrés de silicium expédiés dans le monde en 2023.
Le modèle Carbone couvre : GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC et YMTC. Ces huit sociétés représentent environ 77 % de la capacité mondiale de fabrication de plaquettes de 300 mm [2]. Nous étudions l'extension de la couverture des modèles à toutes les usines de fabrication de 300 mm.
En termes d'émissions de GES, le modèle carbone couvre les émissions de scope 1 provenant de la combustion sur site de combustibles fossiles et de produits chimiques de transformation, et les émissions de scope 2 provenant de l'électricité achetée (dans quelques cas, l'électricité est produite sur site et devient une émission de scope 1).
Modélisation de l'électricité
Certaines entreprises de semi-conducteurs affirment qu’elles n’ont pas d’émissions électriques de niveau 2 parce qu’elles utilisent « 100 % d’énergie renouvelable ». Il y a deux problèmes avec ceci.
- L'énergie renouvelable comprend la combustion de la biomasse qui, bien que considérée comme renouvelable, n'est pas sans carbone. Cela ne représente pas une part importante de la production d'électricité dans les pays qui nous intéressent à l'heure actuelle, mais en 2015, l'Irlande produisait plus de 12 % de son approvisionnement électrique à partir de la combustion de tourbe [3].
- Le problème bien plus important est que, selon Greenpeace, en 2021, 84 % de « l’énergie renouvelable » dans l’industrie des semi-conducteurs provenait de certificats d’énergie renouvelable (REC) [4]. Les CER sont des instruments financiers qui représentent des projets d'énergie renouvelable existants. L’achat de REC n’ajoute aucune nouvelle énergie renouvelable au réseau. Pour cette raison, les CER constituent l’une des formes d’approvisionnement en énergies renouvelables les moins efficaces.
La politique de modélisation de TechInsights consiste à ne pas prendre en compte les CER et à modéliser les émissions de carbone en fonction de l'intensité carbone de l'approvisionnement électrique. Ceci est estimé par pays, à l'exception des usines basées aux États-Unis où nous l'estimons par État. Nous prenons en compte l'électricité sans carbone si elle est produite sur place ou via un contrat d'achat d'électricité si nous pouvons l'identifier. C'est un domaine de recherche permanent pour nous.
L’intensité carbone passée, présente et projetée par pays que nous utilisons dans notre modélisation est illustrée dans la figure 1.
Figure 1. Intensité carbone de l’électricité par pays.
Les lignes pleines proviennent de Our World in Data et les projections en pointillés proviennent de l'application d'une projection de l'AIE par région qui n'est plus disponible sur leur site Web.
Afin d’appliquer l’intensité carbone, nous devons d’abord estimer la quantité d’électricité utilisée par l’usine. Étant donné que le modèle Carbone effectue une modélisation détaillée des ensembles d'équipements, nous commençons par appliquer la consommation électrique par équipement [5], [6], [7], [8]. Les équipements EUV font l’objet d’une attention particulière en raison de l’effet important de la dose sur le débit et donc sur la consommation électrique. La consommation électrique de l'installation est estimée en fonction des caractéristiques du processus et de l'installation. La figure 2 illustre la consommation d'électricité par nœud logique.
Figure 2. Consommation d'électricité par nœud logique.
Dans la figure 2, les barres grises représentent la consommation électrique de l'installation, les barres bleues représentent la consommation électrique de l'équipement sans compter l'EUV, les barres orange représentent les systèmes EUV de 0.33 NA et les barres jaune-orange représentent la consommation électrique du système EUV de 0.55 NA (NA élevé). La ligne pointillée représente le pourcentage de consommation électrique due à l’équipement.
Il y a trois aspects intéressants de la figure que je souhaite souligner :
- Les nœuds logiques de la figure 2 sont basés sur TSMC. À 7 nm, TSMC a introduit un processus basé sur l'optique (7 nm), puis un processus basé sur l'EUV (7 nm+). Même si les équipements EUV consomment beaucoup plus d'électricité que les systèmes DUV, l'EUV remplace les étapes complexes de création de modèles multiples par une seule exposition et entraîne une réduction nette de la consommation d'électricité.
- Au nœud 14A, nous avons comparé l'EUV 0.33NA qui nécessitera un multi-modèle EUV à 14A+ avec un EUV High NA éliminant le multi-modèle et encore une fois, il y a une réduction nette de la consommation d'électricité.
- La ligne pointillée montre que de 130 nm à 40 nm, l'équipement représentait environ 43 % de la consommation électrique totale, conformément à une étude SEMATECH. Avant l'entrée en service de l'EUV, nous avons constaté que les équipements représentaient 40 à 50 % et qu'une fois l'EUV entré, les équipements représentaient entre 50 et 55 % de la consommation totale d'électricité.
Nous avons comparé notre consommation électrique modélisée aux données de consommation électrique de deux sociétés : à l'échelle de l'entreprise (GF et SK Hynix), TSMC pour Taiwan et Intel pour 4 sites et la correspondance est excellente, sauf pour Intel Oregon où nous pensons sous-estimer l'activité du site. niveau. Intel Oregon est un site de développement et nous avons récemment reçu de nouvelles données qui correspondent à une activité plus importante que celle utilisée dans ces calculs. Globalement, cela nous donne confiance dans le calcul.
Combustion
La combustion sur site de combustibles fossiles répond à cinq applications :
- Production d'électricité sur site (quelques usines le font avec du gaz naturel).
- Chaleur des installations.
- Préchauffez l’eau avant l’osmose inverse. L'osmose inverse est une étape clé dans la production d'eau ultra pure et le pourcentage d'eau de bonne qualité par rapport à l'eau rejetée par l'osmose inverse est plus élevé si l'eau est chaude.
- Certains systèmes de réduction – le gaz naturel est utilisé dans certains systèmes pour brûler les composés perfluorés afin de les détruire.
- Chauffer et réchauffer l'air d'appoint. Les usines de fabrication de plaquettes disposent d'air évacué pour éliminer les vapeurs chimiques de l'équipement et l'air doit être amené de l'extérieur de l'installation pour « compenser » l'air évacué. Par temps froid, l'air doit être chauffé à température ambiante et humidifié pour le contrôle statique et les performances de la résine photosensible. Par temps chaud, l’air d’appoint est refroidi en dessous de la température ambiante pour le déshumidifier, puis réchauffé à température ambiante.
Produits chimiques de processus
La figure 3 illustre le flux de gaz de procédé à travers l'équipement de procédé et dans l'atmosphère avec la conversion en valeurs de carbone équivalentes.
Figure 3. Émissions de produits chimiques du procédé.
De la figure 3 :
- Les produits chimiques de traitement pénètrent dans la chambre de traitement où certains pourcentages sont utilisés soit en étant brisés lors d'une réaction de gravure, soit en devenant une partie d'un film lors d'une réaction de dépôt. Le volume d'entrée initial multiplié par 1 utilisation correspond à la quantité de produits chimiques de traitement dans les gaz d'échappement.
- Les gaz d'échappement de la chambre de traitement peuvent entrer dans un système de réduction dans lequel une partie du produit chimique de traitement est soit décomposée en produits chimiques ne produisant pas de gaz à effet de serre, soit absorbée dans un milieu. Les produits chimiques sortant du système de réduction correspondent à l'entrée de l'échappement de la chambre multipliée par 1-réduction.
- Enfin, le potentiel de réchauffement global (GWP) est appliqué pour convertir le produit chimique du procédé en équivalents de dioxyde de carbone. Fondamentalement, la durée de vie du produit chimique et la quantité de chaleur réfléchie par le produit chimique sont combinées pour comparer l’effet d’un gramme de produit chimique à un gramme de dioxyde de carbone.
La figure 4 présente les valeurs d'utilisation, de réduction et de PRP pour les produits chimiques d'intérêt pour les usines de fabrication de plaquettes.
Figure 4. Facteurs d’émissions chimiques du procédé.
Les facteurs d'utilisation et de réduction de la figure 4 proviennent principalement du raffinement 2019 du GIEC [9]. Les valeurs GWP proviennent principalement du GIEC AR5 [10].
La colonne d'impact global de la figure 4 correspond aux valeurs de 1 utilisation multipliées par les valeurs de 1 réduction multipliées par le GWP. Cela donne une image globale de l’impact d’un produit chimique. Les produits chimiques qui ont un impact global élevé sont généralement ceux avec des valeurs PRG élevées, mais N2L’O a un impact relativement élevé malgré un GWP relativement faible. La plupart N2O est utilisé pour le dépôt de films à base d'oxyde à basse température avec une très faible utilisation [8] et la réduction est également relativement faible.
Il est intéressant de noter que même si les valeurs de réduction du GIEC dépassent généralement quatre-vingt-dix pour cent, aux États-Unis, les grands émetteurs de gaz à effet de serre doivent déclarer leurs efficacités de réduction à l’EPA et les valeurs de réduction déclarées sont bien inférieures. La figure 5 illustre les efficacités de réduction signalées pour les sites de fabrication aux États-Unis couverts par le modèle carbone.
Figure 5. Valeurs de réduction déclarées pour les usines de fabrication de 300 mm à bord d'attaque basées aux États-Unis.
Il convient de noter que les règles de déclaration de l'EPA peuvent donner lieu à des valeurs de réduction déclarées inférieures à la réduction réelle, mais je voudrais également noter que lorsque nous modélisons ces usines de fabrication en utilisant les valeurs de réduction déclarées, nous obtenons des émissions cohérentes avec ce qu'elles déclarent pour les émissions, donc Je ne pense pas que les valeurs de réduction soient très éloignées. Je voudrais également noter que je pense que les valeurs de réduction sont plus élevées pour les usines de fabrication dans certains autres pays et dans le monde entier pour les usines couvertes par le modèle carbone. Je pense que la réduction moyenne est d'environ 70 %.
Validation du modèle
Comme cela a été discuté dans la section Modèle carbone, la capacité de modéliser des usines de fabrication individuelles peut être utilisée pour comparer les émissions calculées par le modèle aux émissions réelles déclarées.
Dans la figure 6, les données sur les émissions des sites de l'EPA de 4 sites représentant 3 entreprises et 15 usines au total ont été additionnées et comparées aux données modélisées pour ces mêmes usines.
Figure 6. Validation du modèle basée sur les données de l'EPA pour les sites américains.
Comme le montre la figure 6, l’adéquation par catégorie est excellente. Il est à noter que la correspondance pour les 4 sites au total est meilleure que la correspondance par site individuel.
Les sites de la figure 6 représentent des processus logiques allant de 28 nm à 4 nm.
Dans la figure 7, le modèle est validé par rapport aux émissions totales de GES par site, pays ou entreprise.
Figure 7. Validation du modèle par rapport aux rapports de l'entreprise.
Dans la figure 7, Micron Singapour représente les usines de fabrication NAND 3D, Micron Japon et Taïwan sont des usines de fabrication de DRAM, TSMC Taiwan est des usines de fabrication logique, SK Hynix Company est des usines de fabrication de NAND et DRAM 3D, et Kioxia Yokkaichi est une usine de fabrication de NAND 3D. Les données présentées dans ce graphique proviennent des rapports ESG des entreprises.
Encore une fois, le match est excellent.
Résultats du modèle
La densité des transistors logiques continue d'augmenter, bien qu'à un rythme plus lent dans le passé, cela soit dû à des processus de plus en plus complexes en termes de nombre d'étapes de processus et de couches de masque. La densité de bits NAND 3D augmente en raison de l'augmentation du nombre de couches, ce qui entraîne une pile de mémoire plus grande nécessitant davantage de produits chimiques de dépôt et de gravure. La densité de bits de la DRAM augmente également, bien qu'une fois de plus plus lentement que par le passé, en raison de l'augmentation des étapes de processus et des couches de masque.
La figure 8 présente les émissions modélisées pour la logique, la NAND 3D et la DRAM par « nœud ».
Figure 8. Émissions modélisées.
Dans la figure 8, les émissions logiques sont présentées pour les processus logiques de type TSMC exécutés à Taïwan avec une empreinte carbone électrique de Taïwan de 2023 et une efficacité de réduction de 70 %. Les valeurs 3D NAND et DRAM présentées concernent les processus Samsung exécutés en Corée du Sud avec une empreinte carbone électrique en Corée du Sud de 2023 et une réduction de 70 %.
Pour être logique, le principal contributeur est celui des émissions de carbone électriques de portée 2. Il convient de noter que Taïwan a l'empreinte carbone la plus élevée de tous les pays où se trouvent des usines de fabrication de pointe de 300 mm. Pour la NAND 3D, l'augmentation du nombre de couches et de la hauteur de la pile entraîne une augmentation de l'utilisation des produits chimiques de traitement de portée 1 et de l'utilisation électrique de portée 2. Pour les DRAM scope 2, les émissions électriques constituent la plus grande source d’émissions de carbone jusqu’à ce qu’un processus DRAM 3D projeté soit introduit. Le processus DRAM 3D a une très grande pile de mémoire nécessitant beaucoup de dépôts et d’utilisation de produits chimiques de gravure.
Il existe de multiples opportunités pour réduire considérablement les émissions de carbone :
- Les émissions électriques de type 2 peuvent être réduites en passant à des sources d’électricité à faibles émissions de carbone telles que l’énergie éolienne, nucléaire, hydroélectrique ou solaire.
- Des systèmes de réduction avec une efficacité de réduction allant jusqu'à 99 % sont disponibles [11].
- Des produits chimiques de traitement à faibles émissions de carbone peuvent être remplacés par des produits chimiques existants à plus fortes émissions. Lors de la conférence VLSI Technology de cette année, Tokyo Electron a dévoilé un graveur cryogénique capable de graver des piles NAND 3D avec des produits chimiques sans GES et des taux de gravure plus élevés. De plus, le nettoyage de la chambre est généralement effectué avec du SF6 ou NF3 agissant comme véhicules de livraison de fluor. Les deux gaz ont des valeurs GWP de GES élevées. À la place de SF6 et NF3, F2 avec un GWP de 0 ou COF2 avec un GWP de 1 peut être remplacé. Il convient de noter que même si ces gaz ont un GWP de 0 ou 1, ils peuvent se combiner avec d’autres espèces dans la chambre pour produire une molécule à GWP élevé.
La figure 9 présente les émissions en 2030 sur la base de trois scénarios, chacun pour un processus logique 10A, un processus NAND 1,000D à 3 80 couches et un processus DRAM 3D à XNUMX couches.
Figure 9. Empreinte carbone 2030.
Dans chaque cas, la valeur 2023 suppose une empreinte carbone de l’électricité de 2023 et une réduction de 70 % avec les procédés chimiques actuels. Le scénario probable pour 2023 est basé sur les empreintes carbone projetées de l’électricité pour 2030 à partir de la figure 1, une réduction de 90 % et un nouveau système/chimie de gravure de mémoire. Enfin, 2030 – possible est basé sur 24 g d’équivalent CO2 par kilowattheure d’électricité (le solaire est de 48, l’hydroélectricité 24, l’éolien et le nucléaire sont de 12 [5]).
Conclusion
Le modèle TechInsights Carbon a été développé sur la base de l’ancien modèle stratégique de coûts et de prix d’IC Knowledge. Le modèle carbone permet une comparaison détaillée de la fabrication de 300 mm pour les entreprises de pointe. Les sources électriques, la combustion et les produits chimiques de traitement avec utilisation, réduction et GWP sont tous modélisés. Le modèle carbone comprend de nombreuses données spécifiques à l’entreprise. Le modèle carbone est actuellement disponible auprès de TechInsights.
Bibliographie
https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] Base de données de montres TechInsights 300 mm.
https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Émissions invisibles : une prévision des émissions de la chaîne d'approvisionnement technologique et de la consommation d'électricité d'ici 2030 », Greenpeace.
[5] Bardon, et.al., « DTCO incluant la durabilité : analyse du score Power-Performance-Area-Cost-Environmental (PPACE) pour les technologies logiques », IEDM (2020).
[6] Rapport annuel ASML 2022, page 83.
[7] Smeets, et.al., « Systèmes EUV 0.33 NA pour la fabrication à haut volume », SPIE (2022)
[8] Informations techniques
https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
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- PlatoHealth. Veille biotechnologique et essais cliniques. Accéder ici.
- La source: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
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