SEMI-PointTrend: SEM-piltide pooljuhtide defektide täiustatud analüüs

Allikasõlm: 2005941

Pooljuhtide tootmise maailmas võivad defektid seadme jõudlust tohutult mõjutada. Sellisena on oluline, et oleks võimalik neid defekte täpselt tuvastada ja analüüsida, et tagada seadme nõuetekohane töö. SEMI-PointRend on uus tööriist, mis on selle ülesande täitmiseks välja töötatud.

SEMI-PointRend on täiustatud analüüsivahend skaneeriva elektronmikroskoobi (SEM) kujutiste pooljuhtide defektide jaoks. See kasutab SEM-piltide defektide tuvastamiseks ja klassifitseerimiseks masinõppe algoritme. Tööriist on loodud kiireks ja täpseks, võimaldades suure hulga piltide kiiret analüüsi. Samuti on see võimeline tuvastama defekte nii 2D- kui ka 3D-kujutistes.

Tööriist eraldab esmalt SEM-piltidest funktsioonid. Neid funktsioone kasutatakse seejärel masinõppemudeli koolitamiseks, mida seejärel kasutatakse piltide defektide tuvastamiseks ja klassifitseerimiseks. Mudel suudab tuvastada mitmesuguseid defekte, sealhulgas tühimikke, pragusid ja muid kõrvalekaldeid. Tööriist annab ka üksikasjalikku teavet iga defekti, näiteks selle suuruse ja kuju kohta.

SEMI-PointRendit on testitud mitmesuguste erinevat tüüpi pooljuhtseadmetega ja see on osutunud väga täpseks. Samuti suudab see tuvastada defekte, mis ei pruugi olla palja silmaga nähtavad, mistõttu on see pooljuhtide tootjate jaoks hindamatu tööriist.

Üldiselt on SEMI-PointRend võimas tööriist SEM-piltide pooljuhtide defektide analüüsimiseks. See on kiire, täpne ja suudab tuvastada mitmesuguseid defekte. See muudab selle hindamatuks tööriistaks pooljuhtide tootjatele, kes peavad tagama, et nende seadmed töötavad korralikult.

Ajatempel:

Veel alates Pooljuht / Veeb3