SEMI-PointTrend: SEM-piltide pooljuhtide defektide analüüsi suurema täpsuse ja detailsuse saavutamine

Ajatempel: 10. märts 2023 kell 8
Allikasõlm: 2011071

Pooljuhtide defektide analüüs on integraallülituste tootmisprotsessi oluline osa. Defektid võivad põhjustada mitmesuguseid probleeme, alates jõudluse vähenemisest kuni seadme täieliku rikkeni. Kõrgeima kvaliteediga toodete tootmise tagamiseks on vaja usaldusväärset ja täpset meetodit defektide tuvastamiseks ja analüüsimiseks. SEMI-PointRend on uus tehnoloogia, mis võimaldab skaneeriva elektronmikroskoobi (SEM) kujutiste pooljuhtide defektide analüüsimisel suuremat täpsust ja detailsust.

SEMI-PointRend on masinõppel põhinev pilditöötlussüsteem, mis kasutab pooljuhtseadmete defektide tuvastamiseks ja analüüsimiseks süvaõppe algoritme. See on mõeldud kasutamiseks SEM-kujutistega, mis tagavad kõrgema eraldusvõime kui traditsiooniline optiline mikroskoopia. Kasutades süvaõppe algoritme, suudab SEMI-PointRend tuvastada ja klassifitseerida defekte suurema täpsuse ja detailsusega kui traditsioonilised meetodid.

Süsteem töötab nii, et esmalt eraldatakse SEM-pildist funktsioonid. Neid funktsioone kasutatakse seejärel süvaõppemudeli väljaõpetamiseks, mida seejärel kasutatakse kujutise defektide tuvastamiseks ja klassifitseerimiseks. Mudelit koolitatakse, kasutades teadaolevate defektidega SEM-piltide suurt andmekogumit, mis võimaldab defekte täpselt tuvastada ja klassifitseerida isegi madala kontrastsusega või madala signaali-müra suhtega piltidel.

SEMI-PointRendi on testitud paljude erinevate pooljuhtseadmetega, sealhulgas kiipide, vahvlite ja pakenditega. Kõigil juhtudel suutis see defekte tuvastada ja klassifitseerida suurema täpsusega kui traditsioonilised meetodid. Lisaks suutis süsteem tuvastada defekte, mis inimsilmale ei paistnud, võimaldades põhjalikumat defektide analüüsi.

Üldiselt on SEMI-PointRend tõhus vahend SEM-piltide pooljuhtide defektide analüüsi täpsuse ja detailsuse suurendamiseks. Kasutades süvaõppe algoritme, suudab see tuvastada ja klassifitseerida defekte suurema täpsusega kui traditsioonilised meetodid, võimaldades põhjalikumat defektide analüüsi. See tehnoloogia aitab tagada kõrgeima kvaliteediga toodete valmistamise, mis suurendab pooljuhtseadmete jõudlust ja töökindlust.

Ajatempel:

Veel alates Pooljuht / Veeb3