Esimest korda korraldas IEDM 2023. aasta konverentsil jätkusuutlikkuse sessiooni. Olin üks kutsutud ettekande esitajatest, alljärgnev on minu ettekande kokkuvõte.
Üleskutse
Ühinenud Rahvaste Organisatsioonist [1]:
"Kliimamuutus on meie aja määrav probleem ja me oleme otsustaval hetkel."
"Ilma tänaste drastiliste meetmeteta on nende mõjudega kohanemine tulevikus keerulisem ja kulukam."
Seal on mõned põhilised väljakujunenud teaduslikud seosed:
- Kasvuhoonegaaside (KHG) kontsentratsioon maakera atmosfääris on otseselt seotud Maa keskmise globaalse temperatuuriga.
- Kontsentratsioon on alates tööstusrevolutsioonist pidevalt tõusnud ja koos sellega ka globaalne keskmine temperatuur.
Kaheosaline probleem
Näeme kasvuhoonegaaside heitkoguste vähendamist kaheosalise probleemina:
- Kavandage tulevased protsessid ja tehnoloogiad süsinikdioksiidi heitkoguste vähendamiseks.
- Kuid… peame ka vähendama olemasolevate rajatiste ja protsesside süsinikdioksiidi heitkoguseid.
Süsinikdioksiidi heitkoguste üksikasjalik modelleerimine on vajalik nii tulevaste protsessiprobleemide kui ka olemasolevate protsesside/rajatiste käsitlemiseks.
Süsinikmudel
Siin kirjeldatud süsinikumudel põhineb endisel IC teadmiste strateegilisel kulu- ja hinnamudelil, mida on tööstuses laialdaselt kasutatud alates 2010. aastast. Strateegiline mudel on praegu hästi kontrollitud. TechInsights omandas IC Knowledge'i 2022. aasta novembris.
Strateegiline mudel – mudelid 3D NAND, DRAM ja Logic, mis hõlmavad kõige varasemaid protsesse 300 mm kaugusel tulevastest protsessidest. Praegu hõlmab mudel 167–300 mm fabisid ja 220 ettevõttepõhist protsessivoogu.
Mudel arvutab välja üksikasjalikud seadmete komplektid elektri-, vee- ja maagaasivajadustega. Arvutatakse ka üksikasjalikud materjalikulud materjali liikide kaupa.
Mudel on fantastiline! See on kalibreerimise ja valideerimise võtmepunkt. Saadaval on mitmesuguseid kasvuhoonegaaside heitkoguste andmeid, mõnel juhul ettevõtte tootmiskoha, mõnel juhul riigi ja mõnel juhul kogu ettevõtte kohta. Võimalus modelleerida saidi moodustavaid tehaseid või kõiki ettevõttel ühes riigis asuvaid tehaseid või kõiki ettevõttes olevaid tehaseid võimaldab kalibreerimist ja valideerimist.
Süsinikmudel on praegu ainult 300 mm, kuigi uurime täiendavate vahvlisuuruste lisamist. SEMI andmetel moodustab 300 mm ligikaudu 70% 2023. aastal tarnitud räni miljonitest ruuttollidest maailmas.
Süsinikmudel hõlmab: GLOBALFOUNDRIES, Intel, Kioxia, Micron Technology, SK Hynix, Samsung, TSMC ja YMTC. Need kaheksa ettevõtet moodustavad ligikaudu 77% kogu maailma 300 mm vahvlite võimsusest [2]. Uurime mudeli ulatuse laiendamist kõigile 300 mm fabidele.
Kasvuhoonegaaside heitkoguste osas hõlmab süsinikumudel fossiilkütuste ja protsessikemikaalide kohapealsest põletamisest tulenevat 1. ulatuse heidet ning ostetud elektrienergiast pärinevat 2. ulatuse heidet (mõnel juhul toodetakse elekter kohapeal, muutudes 1. ulatuse heitkoguseks).
Elektri modelleerimine
Mõned pooljuhtide ettevõtted väidavad, et neil ei ole 2. kategooria elektriheitmeid, kuna nad kasutavad "100% taastuvenergiat". Sellega on kaks probleemi.
- Taastuvenergia hõlmab biomassi põletamist, mida peetakse taastuvaks, kuigi see ei ole süsinikuvaba. See ei ole praegu meile huvipakkuvate riikide elektritootmises oluline osa, kuid 2015. aastal toodab Iirimaa >12% oma elektrivarustusest turba põletamisest [3].
- Palju suurem probleem on see, et Greenpeace'i andmetel pärines 2021. aastal 84% pooljuhtide tööstuse taastuvenergiast taastuvenergia sertifikaatidest (REC) [4]. RECid on finantsinstrumendid, mis esindavad olemasolevaid taastuvenergiaprojekte. REC-ide ostmine ei lisa võrku uut taastuvenergiat. Sel põhjusel on REC-d üks kõige vähem mõjukamaid taastuvenergia hankimise vorme.
TechInsightsi modelleerimispoliitika on mitte võtta arvesse REC-sid ja modelleerida süsinikuheidet elektrivarustuse süsinikuintensiivsuse alusel. Seda hinnatakse riigiti, välja arvatud USA-s asuvate tehaste puhul, kus hindame seda osariigi järgi. Arvestame süsinikuvaba elektriga, kui see toodetakse kohapeal või kui suudame seda tuvastada, sõlmime elektrienergia ostulepingu. See on meie jaoks käimasoleva uurimistöö valdkond.
Minevik, praegune ja prognoositav süsinikuintensiivsus riikide kaupa, mida kasutame oma modelleerimisel, on kujutatud joonisel 1.
Joonis 1. Elektrienergia süsinikusisaldus riigiti.
Pidevad jooned pärinevad meie maailmast andmetes ja punktiirjoonega projektsioonid on tehtud IEA piirkondade projektsiooni abil, mis pole nende veebisaidil enam saadaval.
Süsiniku intensiivsuse rakendamiseks peame esmalt hindama tehase poolt kasutatava elektrienergia kogust. Kuna süsinikumudel modelleerib üksikasjalikult seadmete komplekti, alustame elektrikasutuse rakendamisest seadmete kaupa [5], [6], [7], [8]. EUV seadmed saavad erilist tähelepanu, kuna doosil on suur mõju läbilaskevõimele ja seega ka elektrikasutusele. Rajatise elektrikasutust hinnatakse protsessi ja rajatise omaduste põhjal. Joonis 2 illustreerib elektritarbimist loogikasõlmede kaupa.
Joonis 2. Elektrikasutus loogikasõlme järgi.
Joonisel 2 on hallid tulbad seadmete elektrikasutus, sinised tulbad näitavad seadmete elektritarbimist, mis ei sisalda EUV-d, oranžid tulbad on 0.33 NA EUV süsteemid ja kollakasoranžid tulbad on 0.55 NA (kõrge NA) EUV süsteemi elektrikasutus. Punktiirjoon on seadmest tingitud elektritarbimise protsent.
Joonisel on kolm huvitavat aspekti, mida tahan esile tõsta:
- Loogikasõlmed joonisel 2 põhinevad TSMC-l. 7 nm juures võttis TSMC kasutusele optilise protsessi (7 nm) ja seejärel EUV-põhise protsessi (7 nm+). Kuigi EUV-seadmed kasutavad tunduvalt rohkem elektrit kui DUV-süsteemid, asendab EUV keerulised mitme mustriga etapid ühe kokkupuutega ja tulemuseks on elektritarbimise netovähenemine.
- Võrdlesime 14A sõlmes 0.33 NA EUV-d, mis nõuavad EUV multimustrit, 14A+ kõrge NA EUV-ga, mis välistab mitme mustri ja taaskord väheneb elektritarbimine.
- Punktiirjoon näitab, et vahemikus 130 nm kuni 40 nm moodustasid seadmed ligikaudu 43% kogu elektritarbimisest, mis on kooskõlas SEMATECHi uuringuga. Enne EUV kasutuselevõttu avastasime, et seadmed moodustasid 40% kuni 50% ja seejärel, kui EUV kasutusele võeti, moodustasid seadmed 50% kuni 55% kogu elektritarbimisest.
Võrrelsime oma modelleeritud elektrikasutust kahe ettevõtte elektrikasutuse andmetega – kogu ettevõtte (GF ja SK Hynix), TSMC Taiwani jaoks ja Intel 4 saidi puhul ning vaste on suurepärane, välja arvatud Intel Oregoni puhul, kus usume, et alahindame saidi tegevust. tasemel. Intel Oregon on arendussait ja oleme hiljuti saanud uusi andmeid, mis vastavad suuremale tegevusele, kui nendes arvutustes kasutasime. Üldiselt annab see meile arvutuses kindlustunde.
Põlemine
Fossiilkütuste kohapealne põletamine on mõeldud viieks rakenduseks:
- Kohapealne elektritootmine (mõned tootjad teevad seda maagaasiga).
- Rajatise soojus.
- Eelsoojendage vett enne pöördosmoosi. Pöördosmoos on ülipuhta vee tootmise võtmeetapp ja hea vee protsent võrreldes pöördosmoosist eraldatud veest on suurem, kui vesi on soe.
- Mõned saastetõrjesüsteemid – mõnes süsteemis kasutatakse maagaasi perfluoritud ühendite põletamiseks nende hävitamiseks.
- Kuumutage ja soojendage meigiõhku. Vahvlifabidel on väljatõmbeõhk, et eemaldada seadmetest keemiaaurud, ja õhk tuleb väljastpoolt rajatist sisse tuua, et heitõhk "kompenseerida". Külma ilmaga tuleb õhku soojendada toatemperatuurini ja niisutada, et tagada staatiline kontroll ja fotoresistentsus. Kuuma ilmaga jahutatakse meigiõhk alla toatemperatuuri, et kuivatada õhk ja soojendatakse seejärel uuesti toatemperatuurini.
Protsessi kemikaalid
Joonisel 3 on kujutatud protsessigaaside voogu läbi protsessiseadmete ja atmosfääri koos ekvivalentsete süsinikuväärtuste teisendamisega.
Joonis 3. Protsessi keemilised heitmed.
Jooniselt 3:
- Protsessi kemikaalid sisenevad protsessikambrisse, kus mõned protsendid kasutatakse ära kas söövitusreaktsiooni käigus lagunedes või sadestusreaktsioonis kile osaks saades. Algne sisendmaht korrutatuna 1-kasutusega on protsessikemikaalide kogus heitgaasis.
- Protsessikambri heitgaasid võivad siseneda saastetõrjesüsteemi, kus osa protsessikemikaalist laguneb mittekasvuhoonegaasideks või imendub mõnda keskkonda. Heitgaasisüsteemist väljuvad kemikaalid on kambri heitgaasi sisend, mis on korrutatud 1-ga.
- Lõpuks rakendatakse globaalset soojenemispotentsiaali (GWP), et muundada protsessikemikaal süsinikdioksiidi ekvivalentideks. Põhimõtteliselt kombineeritakse kemikaali eluiga ja see, kui palju soojust see tagasi peegeldab, et võrrelda ühe grammi kemikaali ja ühe grammi süsinikdioksiidi mõju.
Joonisel 4 on esitatud vahvlifabide jaoks huvipakkuvate kemikaalide kasutus-, vähendamise- ja GWP väärtused.
Joonis 4. Protsessi keemilised emissioonitegurid.
Joonisel 4 olevad kasutus- ja vähendustegurid pärinevad peamiselt IPCC 2019. aasta täpsustusest [9]. GWP väärtused pärinevad peamiselt IPCC AR5-st [10].
Üldmõju veerg joonisel 4 on 1-kasutusväärtused, mis on korrutatud 1-vähenduse väärtustega, korrutatud GWP-ga. See annab üldpildi kemikaali mõjust. Suure üldise mõjuga kemikaalid on tavaliselt kõrge GWP väärtusega kemikaalidel, kuid N2Vaatamata suhteliselt madalale GWP-le on O-l suhteliselt suur mõju. Enamik N2O-d kasutatakse madala temperatuuriga oksiidipõhise kile sadestamise jaoks väga madala kasutusega [8] ja ka vähendamine on suhteliselt madal.
Huvitav on, et kuigi IPCC heitkoguste vähendamise väärtused on üldiselt üle üheksakümne protsendi, peavad suured kasvuhoonegaaside tekitajad USA-s teatama oma vähendamise tõhususest EPA-le ja teatatud vähendamise väärtused on palju madalamad. Joonis 5 illustreerib süsinikumudeliga hõlmatud USA tootmisettevõtete teatatud vähendamise tõhusust.
Joonis 5. USAs asuvate esiserva 300 mm fabide teatatud vähenemisväärtused.
Tuleb märkida, et EPA aruandlusreeglite tulemuseks võivad olla teatatud vähendamisväärtused, mis on väiksemad tegelikust vähendamisest, kuid tahaksin märkida ka seda, et kui modelleerime neid fab-sid kasutades teatatud vähendamisväärtusi, saame heitkogused, mis on kooskõlas sellega, mida nad teatavad heitkoguste kohta. Ma ei usu, et vähendamise väärtused on väga kaugel. Tahaksin ka märkida, et minu arvates on süsinikumudeliga hõlmatud fabide heitkoguste vähendamise väärtused mõnes teises riigis ja kogu maailmas kõrgemad. Usun, et keskmine vähendamine on umbes 70%.
Mudeli valideerimine
Nagu arutleti süsinikumudeli jaotises, saab üksikute tehaste modelleerimise võimalust kasutada mudeli arvutatud heitkoguste võrdlemiseks tegelike teatatud heitkogustega.
Joonisel 6 liideti EPA tegevuskoha heitkoguste andmed neljast kohas, mis esindavad 4 ettevõtet ja 3 tehast kokku ja võrreldi samade tehaste modelleeritud andmetega.
Joonis 6. Mudeli valideerimine USA saitide EPA andmetel.
Nagu on näha jooniselt 6, on sobivus kategooriate kaupa suurepärane. Tuleb märkida, et 4 saidi vaste kokku on parem kui üksiksaidi vaste.
Joonisel fig 6 olevad kohad esindavad loogilisi protsesse vahemikus 28 nm kuni 4 nm.
Joonisel 7 on mudel kinnitatud kasvuhoonegaaside koguheite suhtes tegevuskoha, riigi või ettevõtte lõikes.
Joonis 7. Mudeli valideerimine ettevõtte aruannete alusel.
Joonisel 7 esindab Micron Singapore 3D NAND-i, Micron Japan ja Taiwan on DRAM-i, TSMC Taiwan on loogikatootjad, SK Hynix Company on 3D-NAND- ja DRAM-i tootjad ning Kioxia Yokkaichi on 3D-NAND. Sellel joonisel esitatud andmed pärinevad ettevõtte ESG aruannetest.
Taaskord on matš suurepärane.
Mudeli tulemused
Loogikatransistori tihedus kasvab jätkuvalt, kuigi varem aeglasemalt, saavutati see protsessietappide arvu ja maskikihtide osas järjest keerukamate protsesside abil. 3D NAND-bititihedus suureneb kihtide arvu suurenemise tõttu, mille tulemuseks on kõrgem mälupinn, mis nõuab rohkem sadestus- ja söövituskemikaale. DRAM-i bititihedus suureneb samuti, kuigi taas aeglasemalt kui varem, mida ajendasid protsessi sammud ja maskikihid.
Joonisel 8 on kujutatud loogika, 3D NAND ja DRAM modelleeritud emissioonid „sõlme” kaupa.
Joonis 8. Modelleeritud heitkogused.
Joonisel 8 on esitatud loogikaheitmed TSMC-tüüpi loogikaprotsesside kohta, mida kasutatakse Taiwanis 2023. aasta Taiwani elektrilise süsiniku jalajälje ja 70% vähendamise efektiivsusega. Esitatud 3D NAND-i ja DRAM-i väärtused kehtivad Samsungi protsesside kohta, mida käitatakse Lõuna-Koreas 2023. aasta Lõuna-Korea elektrilise süsiniku jalajälje ja 70% vähendamisega.
Loogika seisukohalt on kõige suurem panus 2. valdkonna elektriliste süsinikuheitmete hulka. Tuleb märkida, et Taiwanil on suurim süsinikujalajälg elektrienergia kõigist riikidest, kus asuvad 300 mm esiservaga fabs. 3D NAND-i puhul suurendab kasvav kihtide arv/virna kõrgus 1. ulatuses protsessikemikaalide ja 2. ulatuse elektritarbimist. DRAM-i ulatuse 2 puhul on elektriheitmed suurim süsinikuheite allikas kuni kavandatud 3D DRAM-i protsessi kasutuselevõtuni. 3D DRAM-i protsessil on väga suur mälupinn, mis nõuab palju sadestamist ja söövitamist.
Süsinikdioksiidi heitkoguste vähendamiseks on mitmeid võimalusi:
- 2. ulatusega elektriheidet saab vähendada, kui minna üle madala süsinikuheitega elektriallikatele, nagu tuule-, tuuma-, hüdro- või päikeseenergia.
- Saadaval on kuni 99% saastetõrjesüsteemid [11].
- Väiksema süsinikuheitega protsesside keemilisi aineid saab asendada olemasolevate suurema heitkogustega kemikaalidega. Tänavusel VLSI tehnoloogia konverentsil Tokyo Electron avalikustas krüogeense söövitaja, mis suudab söövitada 3D NAND-virnasid, millel on mitte kasvuhoonegaaside keemia ja suurem söövitusmäär. Ka kambri puhastamine toimub tavaliselt SF-ga6 või NF3 toimivad fluori edastavate sõidukitena. Mõlemal gaasil on kõrged kasvuhoonegaaside GWP väärtused. SF asemel6 ja NF3, F2 mille GWP on 0 või COF2 GWP-ga 1 võib asendada. Tuleb märkida, et kuigi nende gaaside GWP väärtus on 0 või 1, võivad nad kombineerida kambris teiste liikidega, et tekitada kõrge GWP molekul.
Joonisel 9 on kujutatud 2030. aasta heitkogused, mis põhinevad kolmel stsenaariumil 10A loogikaprotsessi, 1,000-kihilise 3D NAND-protsessi ja 80-kihilise 3D-DRAM-protsessi jaoks.
Joonis 9. Süsiniku jalajälg 2030.
Kõigil juhtudel eeldatakse 2023. aasta väärtuseks 2023. aasta elektri süsiniku jalajälge ja 70% vähenemist praeguse protsessi keemiaga. 2023. aasta tõenäoline stsenaarium põhineb 2030. aasta prognoositud elektrilise süsiniku jalajäljel joonisel 1, 90% vähendamisel ja uuel mälusöövitussüsteemil/keemial. Lõpuks 2030 – võimalik põhineb 24g CO2 ekvivalendil elektri kilovatt-tunni kohta (päikeseenergia on 48, hüdroenergia 24, tuule- ja tuumaenergia 12 [5]).
Järeldus
TechInsights Carboni mudel on välja töötatud endise IC Knowledge Strategic Cost and Price mudeli alusel. Süsinikmudel võimaldab 300 mm toodangut üksikasjalikult võrrelda juhtivate ettevõtete jaoks. Elektriallikad, põlemis- ja protsessikemikaalid koos kasutamise, vähendamise ja GWP-ga on kõik modelleeritud. Süsiniku mudel sisaldab ulatuslikke ettevõttepõhiseid andmeid. Süsinikmudel on praegu saadaval TechInsightsist.
viited
[1] https://www.un.org/en/global-issues/climate-change
[2] TechInsightsi 300 mm kellade andmebaas.
[3] https://www.seai.ie/data-and-insights/seai-statistics/key-statistics/electricity/
[4] Invisible Emissions: Tehnoloogilise tarneahela heitkoguste ja elektritarbimise prognoos aastaks 2030, Greenpeace.
[5] Bardon jt, „DTCO, sealhulgas jätkusuutlikkus: võimsus-jõudlus-ala-kulu-keskkonnaskoor (PPACE) Analysis for Logic Technologies“, IEDM (2020).
[6] ASML 2022 aastaaruanne, lk 83.
[7] Smeets jt, "0.33 NA EUV Systems for High Volume Manufacturing", SPIE (2022)
[8] TechInsights
[9] https://www.ipcc-nggip.iges.or.jp/public/2019rf/pdf/3_Volume3/19R_V3_Ch06_Electronics.pdf
[10] https://www.ipcc.ch/report/ar5/wg1/
[11] https://www.ebara.co.jp/en/products/details/FDS.html
Samuti loe:
Seitse silikoonkatalüsaatorite ettevõtet eksponeerivad maailma võimsaimal tehnikasündmusel CES
RISC-V tippkohtumise buzz – käivitamisplaadi esitus toob esile väiksema ettevõtte uuendustegevuse
Jaga seda postitust:
- SEO-põhise sisu ja PR-levi. Võimenduge juba täna.
- PlatoData.Network Vertikaalne generatiivne Ai. Jõustage ennast. Juurdepääs siia.
- PlatoAiStream. Web3 luure. Täiustatud teadmised. Juurdepääs siia.
- PlatoESG. Süsinik, CleanTech, Energia, Keskkond päikeseenergia, Jäätmekäitluse. Juurdepääs siia.
- PlatoTervis. Biotehnoloogia ja kliiniliste uuringute luureandmed. Juurdepääs siia.
- Allikas: https://semiwiki.com/events/340325-iedm-2023-modeling-300mm-wafer-fab-carbon-emissions/
- :on
- :on
- :mitte
- : kus
- $ UP
- 000
- 1
- 10
- 11
- 12
- 15%
- 167
- 2010
- 2015
- 2019
- 2020
- 2021
- 2022
- 2023
- 2030
- 220
- 24
- 33
- 3d
- 7
- 8
- 80
- 9
- a
- võime
- imendub
- Vastavalt
- konto
- saavutada
- omandatud
- kohusetäitja
- tegevus
- tegevus
- tegelik
- lisama
- lisatud
- lisades
- Täiendavad lisad
- aadress
- jälle
- vastu
- Kokkulepe
- Eesmärgid
- AIR
- AL
- Materjal: BPA ja flataatide vaba plastik
- mööda
- Ka
- Kuigi
- summa
- an
- analüüs
- ja
- aastane
- mistahes
- lahus
- rakendused
- rakendatud
- kehtima
- Rakendades
- umbes
- OLEME
- PIIRKOND
- ümber
- AS
- aspektid
- At
- Atmosfäär
- tähelepanu
- autorid
- saadaval
- keskmine
- tagasi
- tõkked
- baarid
- põhineb
- põhiline
- Põhimõtteliselt
- BE
- sest
- saada
- olnud
- alustama
- on
- Uskuma
- alla
- Parem
- vahel
- suurim
- biomass
- Natuke
- sinine
- mõlemad
- Murdma
- Katki
- tõi kaasa
- põlema
- põletamine
- kuid
- by
- arvutatud
- arvutab
- arvutus
- CAN
- Võimsus
- süsinik
- süsinikdioksiid
- süsinikdioksiidi heitkoguseid
- süsiniku jalajälg
- juhul
- juhtudel
- Katalüsaator
- Kategooria
- tunnistused
- need
- kett
- väljakutseid
- kamber
- muutma
- omadused
- keemiline
- kemikaalide
- väites,
- puhastamine
- CO
- co2
- külm
- Veerg
- ühendama
- kombineeritud
- Tulema
- tuleb
- Ettevõtted
- ettevõte
- võrdlema
- võrreldes
- võrdlus
- keeruline
- kontsentratsioon
- Konverents
- usaldus
- Arvestama
- kaaluda
- järjepidev
- tarbimine
- pidev
- toetaja
- kontrollida
- Konverteerimine
- muutma
- Maksma
- kulukas
- riikides
- riik
- katmine
- kaetud
- kaaned
- krüogeenne
- Praegune
- Praegu
- andmed
- andmebaas
- määratlemisel
- tarne
- Tihedus
- kirjeldatud
- Disain
- Vaatamata
- hävitama
- üksikasjalik
- arenenud
- & Tarkvaraarendus
- raske
- otse
- arutatud
- do
- ei
- tehtud
- Ära
- annus
- alla
- dramaatiliselt
- ajendatud
- kõvakettad
- kaks
- ajal
- E&T
- iga
- varem
- maa
- serv
- mõju
- kasutegur
- efektiivsus
- kumbki
- Starter
- elekter
- elektritarbimine
- elektrienergia kasutamine
- kõrvaldades
- emissioon
- Heitkoguste
- võimaldab
- energia
- energiaprojektid
- sisene
- sisenes
- Sisse
- EPA
- seadmed
- Samaväärne
- ekvivalendid
- ESG
- hinnata
- Hinnanguliselt
- Isegi
- sündmus
- KUNAGI
- suurepärane
- Välja arvatud
- näitama
- olemasolevate
- Väljudes
- laiendades
- Säritus
- laiendades
- ulatuslik
- rajatised
- Rajatise
- tegurid
- kaugele
- vähe
- Joonis
- Film
- Lõpuks
- finants-
- Finantsinstrumendid
- esimene
- Esimest korda
- viis
- voog
- Voolud
- Järel
- Jalajälg
- eest
- Ennustus
- endine
- vormid
- Fossiilsete
- fossiilsete kütuste
- avastatud
- tasuta
- Alates
- kütused
- tulevik
- GAS
- üldiselt
- loodud
- põlvkond
- saama
- kasvuhoonegaaside
- kasvuhoonegaaside heitkoguste
- annab
- Globaalne
- globaalse soojenemise
- hea
- Gramm
- kasvuhoonegaas
- Greenpeace
- võre
- Kasvavad
- Olema
- kõrgus
- Held
- siin
- Suur
- rohkem
- kõrgeim
- Esile tõstma
- rõhutab
- KUUM
- tund
- Kuidas
- Kuidas
- aga
- HTML
- HTTPS
- i
- identifitseerima
- IEA
- if
- illustreerib
- mõju
- mõjuv
- Mõjud
- in
- tolli
- hõlmab
- Kaasa arvatud
- Suurendama
- kasvav
- üha rohkem
- eraldi
- inimesed
- tööstus-
- Tööstusrevolutsioon
- tööstus
- esialgne
- Innovatsioon
- sisend
- instrumendid
- Intel
- huvi
- huvitatud
- huvitav
- sisse
- sisse
- nähtamatu
- kutsutud
- Iirimaa
- probleem
- IT
- Jaapan
- jpg
- Võti
- Kilovatt
- teadmised
- Korea
- suur
- suurem
- suurim
- Launchpad
- kiht
- kihid
- juhtivate
- kõige vähem
- vähem
- Tase
- elu
- Tõenäoliselt
- joon
- liinid
- seotud
- lingid
- asub
- loogika
- enam
- Partii
- Madal
- vähendada
- tegema
- meik
- tootmine
- mask
- Vastama
- materjal
- materjalid
- max laiuse
- mai..
- keskmine
- keskmine
- Mälu
- mikron
- miljonid
- mudel
- modelleerimine
- mudelid
- molekul
- hetk
- rohkem
- kõige
- palju
- mitmekordne
- korrutatakse
- peab
- my
- Rahvaste
- Natural
- Maagaas
- Vajadus
- vaja
- neto
- Uus
- ei
- sõlme
- sõlmed
- meeles
- märkida
- November
- tuuma-
- number
- of
- maha
- on
- kunagi
- ONE
- ones
- jätkuv
- ainult
- Võimalused
- or
- oranž
- et
- Oregon
- Osmoos
- Muu
- meie
- välja
- väljaspool
- üle
- üldine
- lehekülg
- Paber
- osa
- eriline
- minevik
- kohta
- protsent
- protsent
- jõudlus
- pilt
- tükk
- Koht
- Platon
- Platoni andmete intelligentsus
- PlatoData
- Punkt
- poliitika
- osa
- võimalik
- post
- potentsiaal
- võim
- võimas
- esitada
- esitlus
- esitatud
- kingitusi
- hind
- eelkõige
- Eelnev
- Probleem
- probleeme
- protsess
- Protsessid
- hange
- tootma
- Produktsioon
- Prognooside
- Projektsioon
- prognoosid
- projektid
- ostma
- ostetud
- määr
- Rates
- reaktsioon
- Lugenud
- põhjus
- saadud
- hiljuti
- vähendama
- Lühendatud
- vähendamine
- vähendamine
- peegeldab
- piirkond
- suhteliselt
- kõrvaldama
- Taastuv
- taastuv energia
- aru
- Teatatud
- Aruandlus
- Aruanded
- esindama
- esindatud
- esindavad
- esindab
- nõudma
- Nõuded
- teadustöö
- kaasa
- tulemuseks
- Tulemused
- tagasikäik
- Revolutsioon
- tõusev
- ruum
- ligikaudu
- eeskirjade
- jooks
- sama
- Samsung
- stsenaarium
- stsenaariumid
- teaduslik
- ulatus
- skoor
- Osa
- nähtud
- Semi
- pooljuht
- istung
- komplekt
- Komplektid
- veetud
- peaks
- presentatsioon
- Näitused
- Siemens
- märkimisväärne
- Räni
- alates
- Singapur
- ühekordne
- site
- Saidid
- suurused
- Aeglaselt
- väiksem
- So
- päikese-
- tahke
- mõned
- allikas
- Allikad
- Lõuna
- Lõuna-Korea
- konkreetse
- väljakud
- Kestab
- Hoidla
- riik
- Ühendriigid
- püsivalt
- Samm
- Sammud
- Strateegiline
- Uuring
- selline
- KOKKUVÕTE
- Summit
- varustama
- tarneahelas
- Jätkusuutlikkus
- süsteem
- süsteemid
- Taiwan
- tech
- Tehnoloogiad
- Tehnoloogia
- tingimused
- kui
- et
- .
- Tulevik
- oma
- Neile
- SIIS
- Seal.
- seetõttu
- Need
- nad
- mõtlema
- see
- Sel aastal
- need
- kuigi?
- kolm
- Läbi
- läbilaskevõime
- aeg
- et
- täna
- kokku
- Tokyo
- Summa
- tsmc
- kaks
- tüüp
- tüüpiliselt
- UN
- mõistma
- Ühendatud
- Ühendrahvad
- Ühendriigid
- kuni
- us
- Kasutus
- kasutama
- Kasutatud
- kasutusalad
- kasutamine
- kasutatud
- kinnitatud
- kinnitamine
- väärtus
- Väärtused
- sort
- Sõidukid
- väga
- kontrollitud
- kaudu
- vaade
- maht
- tahan
- soe
- oli
- Watch
- Vesi
- we
- ilm
- web
- Hästi
- M
- millal
- kuigi
- WHO
- kogu
- laialdaselt
- will
- tuul
- koos
- maailm
- ülemaailmne
- oleks
- aasta
- sephyrnet